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1. 发明申请

WO2013125387A1 基板処理システム、管理装置、及び表示方法审中-公开
标题翻译：基板处理系统，管理装置和显示方法
公开(公告)号：WO2013125387A1
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：PCT/JP2013/053205
申请日：2013-02-12
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：山本　一良
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B23/0267 , G05B2219/24068 , G05B2219/2602 , H01J37/32082 , H01J37/32926 , H01L21/02 , H01L21/6719 , H01L21/67201 , H01L21/67288 , Y02P90/14
摘要：　障害に至るまでの経緯の把握及び障害発生箇所の特定を容易にすることができる基板処理システム、管理装置、及び表示方法を提供する。　基板処理システム１は、ウエハ４を処理する基板処理装置１０と、この基板処理装置１０から所定の情報を表示装置１４に表示する管理装置１２と、有し、基板処理装置１０は、ウエハ４の処理環境に関する情報を経時的に測定する処理環境測定部と、該基板処理装置の障害に関する情報を通知する障害情報通知部と、を備え、管理装置１２は、処理環境測定部が測定した測定情報と、障害情報通知部が通知した通知情報とを格納する格納部３２、を備え、表示装置１４は、格納部３２に格納された測定情報と通知情報とを対応付けて表示する表示装置１４とを備える。
摘要翻译：提供了便于确定导致故障的情况和识别发生故障的基板处理系统，管理装置和显示方法。基板处理系统（1）包括用于处理晶片（4）的基板处理装置（10）和在显示装置（14）上从基板处理装置（10）显示预定信息的管理装置。基板处理装置（10）设置有：随着时间的推移测量与晶片（4）的处理环境有关的信息的处理环境测量单元，以及故障信息通知单元，其将关于故障的信息的通知发送到基板处理装置。管理装置（12）具备：存储单元（32），用于存储由处理环境测量单元测量的测量信息和由故障信息通知单元发送的通知信息。显示装置（14）具有显示装置（14），显示装置（14）相互关联地显示存储在存储单元（32）中的测量信息和通知信息。

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