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1. 发明申请

WO2008050327A3 METHOD & SYSTEM FOR DETECTING NITROGENOUS MATERIALS VIA GAMMA-RESONANCE ABSORPTION (GRA) 审中-公开
标题翻译：通过伽马共振吸收（GRA）检测硝酸材料的方法和系统
公开(公告)号：WO2008050327A3
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：PCT/IL2007001275
申请日：2007-10-24
申请人： SOREQ NUCLEAR RES CT , GOLDBERG MARK , VARTSKY DAVID
发明人： GOLDBERG MARK , VARTSKY DAVID
IPC分类号： G01N23/06 , G01V5/00
CPC分类号： G01N23/066 , G01N2223/1013 , G01N2223/204 , G01N2223/643 , G01N2223/66
摘要： A method for detecting nitrogenous materials within an object by means of Gamma-Resonance Absorption (GRA), including placing on one side of an object a target containing 13C for bombardment with a proton beam of approximately 1.75 MeV energy, to produce a source of 9.172 MeV gamma-rays for scanning the object, reading from the gamma-ray detector the total and the non-resonant attenuations of the incident photon flux, and deriving from the attenuations the net resonant attenuation and the spatial distribution thereof; wherein scanning the object includes: I. performing a rapid pre-scan to classify the overall gamma-ray-attenuation regime and locate regions of high physical density, in which longer scanning times might be required; II. performing a full scan to identify and locate regions that contain nitrogenous materials; and III. performing a plurality of scans in same or different segments to establish presence of explosives.
摘要翻译：通过伽马共振吸收（GRA）检测物体内的含氮物质的方法，包括将物体的一侧放置在含有13C的靶上，用约1.75MeV能量的质子束进行轰击以产生9.172的来源用于扫描物体的MeV伽马射线，从伽马射线检测器读取入射光子通量的总和非共振衰减，并从衰减得出净谐振衰减及其空间分布; 其中扫描对象包括：I.执行快速预扫描以分类总体伽马射线衰减状态并定位高物理密度的区域，其中可能需要更长的扫描时间; II。执行全面扫描以识别和定位含有含氮材料的区域; 和III。在相同或不同的段执行多个扫描以建立爆炸物的存在。

2. 发明申请

WO2017050303A1 A METHOD OF ANALYSIS OF MATERIALS BY MEANS OF A FOCUSED ELECTRON BEAM USING CHARACTERISTIC X-RAYS AND BACK-SCATTERED ELECTRONS 审中-公开
标题翻译：使用特征X射线和反向散射电子的聚焦电子束的材料分析方法
公开(公告)号：WO2017050303A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/CZ2016/000107
申请日：2016-09-22
申请人： TESCAN BRNO, S.R.O.
发明人： MOTL, David
IPC分类号： G01N23/225 , G01N23/22 , G01N23/203
CPC分类号： G01N23/2252 , G01N23/203 , G01N23/2206 , G01N2223/616 , G01N2223/66
摘要： The invention relates to a method of analysis of materials by means of a focused electron beam and a device thereof, where the electron beam is gradually deflected into a number of points on a sample arranged in a regular grid, creating an electron map. A set of temporary particles and a set of new measuring points are determined by means of the electron map, wherein the set of new measuring points comprises less elements than the set of the initial measuring points, and the set of new measuring points comprises at least one measuring point for each particle from the set of temporary particles. The electron beam is deflected along the set of new measuring points, the emitted X-rays are measured and an X-ray spectrum is created, a set of particles is determined, and accumulated spectrums of X-ray radiation for a particle based on the spectrums measured in the points, which are not part of the particle, are created.
摘要翻译：本发明涉及通过聚焦电子束及其装置对材料进行分析的方法，其中电子束逐渐偏转到以规则网格布置的样品上的多个点，从而产生电子图。通过电子图确定一组临时粒子和一组新的测量点，其中新的测量点的集合包括比初始测量点的集合少的元素，并且新的测量点的集合至少包括从一组临时粒子中的每个粒子的一个测量点。电子束沿着新的测量点偏转，测量发射的X射线，并且产生X射线光谱，确定一组粒子，并且基于粒子的X射线辐射累积谱在不是颗粒的一部分的点上测量的光谱被创建。

3. 发明申请

WO2016165828A1 VERFAHREN ZUM PRÜFEN EINES ELEKTRONISCHEN BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：检验方法的电子元件
公开(公告)号：WO2016165828A1
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/EP2016/000612
申请日：2016-04-14
申请人： YXLON INTERNATIONAL GMBH
发明人： BRYANT, Keith , MÜRKENS, Bernhard , WIENTAPPER, Matthias
IPC分类号： G01N23/18 , G06T7/00 , H05K13/08 , G01N21/956
CPC分类号： G01N23/18 , G01N21/95 , G01N2021/95638 , G01N2223/6113 , G01N2223/66 , G06K7/1413 , G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10116 , G06T2207/30141
摘要： Die Erfindung befasst sich mit einem Verfahren zum Prüfen eines elektronischen Bauteils auf Defekte mit folgenden Schritten: Untersuchung des elektronischen Bauteils in einer Produktionslinie mittels Automatischer Optischer Inspektion; Bestimmung der Koordinaten von Gebieten, in denen keine Untersuchung mit der Automatischen Optischen Inspektion möglich ist; Übertragung der Koordinaten dieser Gebiete von der Produktionslinie an einen Computer; Überführung des elektronischen Bauteils von der Produktionslinie in eine Röntgen-Vorrichtung, die außerhalb der Produktionslinie angeordnet ist, zur zerstörungsfreien Materialuntersuchung; Übertragung der Koordinaten der Gebiete vom Computer an diese Röntgen-Vorrichtung; Untersuchung des elektronischen Bauteils mittels der Röntgen-Vorrichtung nur in den Gebieten, in denen keine Untersuchung mit der Automatischen Optischen Inspektion möglich ist; Übertragung der Ergebnisse der Untersuchung in der Röntgen-Vorrichtung an den Computer; RückÜberführung des elektronischen Bauteils in die Produktionslinie bei einem Ergebnis, dass es nicht defekt ist.
摘要翻译：本发明涉及用于对包含缺陷测试的电子部件的方法，包括：在生产线中的电子部件的检查用自动光学检测的装置; 确定的，其中与自动光学检查测试是可能的区域中的坐标; 把从生产线到电脑，这些区域的坐标; 从在X射线装置的生产线，其设置在生产线的非破坏性材料测试外传送电子元件; 传送从计算机到该X射线装置中的区域的坐标; 通过仅在其中具有自动光学检测没有调查是可能的区域中的X射线摄影装置的装置中的电子部件的检查; 发送在X射线设备到计算机的调查结果; 与结果，生产线的电子部件的遣返它没有缺陷。

4. 发明申请

WO2015175894A1 DEFECT SAMPLING FOR ELECTRON BEAM REVIEW BASED ON DEFECT ATTRIBUTES FROM OPTICAL INSPECTION AND OPTICAL REVIEW 审中-公开
标题翻译：基于光学检测和光学检查缺陷属性的电子束检测缺陷采样
公开(公告)号：WO2015175894A1
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：PCT/US2015/031002
申请日：2015-05-15
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION
发明人： GOSAIN, Rohan , JOSHI, Somit
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/88 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6466 , G01N2223/66 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J2237/063 , H01J2237/24592 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要： Various embodiments for generating a defect sample for electron beam review are provided. One method includes combining, on a defect-by-defect basis, one or more first attributes for defects determined by optical inspection of a wafer on which the defects were detected with one or more second attributes for the defects determined by optical review of the wafer thereby generating combined attributes for the defects. The method also includes separating the defects into bins based on the combined attributes for the defects. The bins correspond to different defect classifications. In addition, the method includes sampling one or more of the defects for the electron beam review based on the bins into which the defects have been separated thereby generating a defect review sample for the electron beam review.
摘要翻译：提供了用于产生用于电子束检查的缺陷样本的各种实施例。一种方法包括在缺陷缺陷的基础上组合一个或多个第一属性，用于通过对其上检测到缺陷的晶片进行光学检查而确定的缺陷，所述缺陷用于通过晶片的光学审查确定的缺陷的一个或多个第二属性从而为缺陷生成组合属性。该方法还包括基于缺陷的组合属性将缺陷分离成箱体。箱对应于不同的缺陷分类。此外，该方法包括基于已经分离缺陷的箱体对用于电子束检查的一个或多个缺陷进行采样，从而产生用于电子束检查的缺陷评估样本。

5. 发明申请

WO2010094774A2 VERFAHREN ZUM MESSEN EINES OBJEKTS 审中-公开
标题翻译：方法用于测量对象
公开(公告)号：WO2010094774A2
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：PCT/EP2010/052145
申请日：2010-02-19
申请人： WERTH MESSTECHNIK GMBH , CHRISTOPH, Ralf , SCHMIDT, Ingomar , HAMMER, Michael , WIEDENHÖFER, Thomas
发明人： CHRISTOPH, Ralf , SCHMIDT, Ingomar , HAMMER, Michael , WIEDENHÖFER, Thomas
IPC分类号： G06T5/00 , G06T11/00
CPC分类号： G01N23/046 , G01N2223/33 , G01N2223/419 , G01N2223/66 , G06T5/001 , G06T11/005

6. 发明申请

WO2008050327A2 METHOD & SYSTEM FOR DETECTING NITROGENOUS MATERIALS VIA GAMMA-RESONANCE ABSORPTION (GRA) 审中-公开
标题翻译：通过γ-共振吸收（GRA）检测氮化物材料的方法和系统
公开(公告)号：WO2008050327A2
公开(公告)日：2008-05-02
申请号：PCT/IL2007/001275
申请日：2007-10-24
申请人： SOREQ NUCLEAR RESEARCH CENTER , GOLDBERG, Mark , VARTSKY, David
发明人： GOLDBERG, Mark , VARTSKY, David
IPC分类号： G01N23/06 , G01V5/00
CPC分类号： G01N23/095 , G01N2223/1013 , G01N2223/204 , G01N2223/643 , G01N2223/66
摘要： A method for detecting nitrogenous materials within an object by means of Gamma-Resonance Absorption (GRA), including placing on one side of an object a target containing 13C for bombardment with a proton beam of approximately 1.75 MeV energy, to produce a source of 9.172 MeV gamma-rays for scanning the object, reading from the gamma-ray detector the total and the non-resonant attenuations of the incident photon flux, and deriving from the attenuations the net resonant attenuation and the spatial distribution thereof; wherein scanning the object includes: I. performing a rapid pre-scan to classify the overall gamma-ray-attenuation regime and locate regions of high physical density, in which longer scanning times might be required; II. performing a full scan to identify and locate regions that contain nitrogenous materials; and III. performing a plurality of scans in same or different segments to establish presence of explosives.
摘要翻译：通过γ-共振吸收（GRA）检测物体内的含氮物质的方法，包括在物体的一侧放置包含13C的目标用于轰击约1.75MeV的质子束能量，以产生用于扫描物体的9.172MeV伽马射线源，从伽玛射线探测器读取入射光子通量的总共振和非共振衰减，并且从衰减导出净共振衰减和空间分发; 其中扫描所述物体包括：I.执行快速预扫描以对整个伽马射线衰减区域进行分类并且定位高物理密度的区域，其中可能需要更长的扫描时间; II。执行全面扫描以识别和定位含有含氮物质的区域; 和三。在相同或不同的部分进行多次扫描以确定爆炸物的存在。

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