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    • 4. 发明申请
    • X線計測装置の画像再構成方法、構造物の製造方法、X線計測装置の画像再構成プログラムおよびX線計測装置
    • 用于X射线测量装置的图像重建方法,用于制造结构的方法,用于X射线测量装置的图像重建程序和X射线测量装置
    • WO2016129035A1
    • 2016-08-18
    • PCT/JP2015/053518
    • 2015-02-09
    • 株式会社ニコン
    • 山田 篤志
    • G01N23/04
    • G01N23/04G01N2223/401
    •  画像生成方法は、被測定物の回転および/またはX線の照射方向の変更により、被測定物に対して複数の異なる照射方向にX線を照射し、複数の異なる照射方向ごとに被測定物を透過したX線を検出して、被測定物の透過X線強度に関する複数の検出データを生成することと、被測定物の形状情報に基づいて形状を推定した推定構造物に複数の異なる照射方向からX線を照射する場合の、複数の異なる照射方向ごとの透過X線の強度を推定して、複数の推定データを生成することと、複数の検出データのそれぞれに対して、X線の照射方向に関して互いに対応する検出データと推定データとを用いて、推定データと検出データとの間の差異を示す差異データを検出データから抽出することと、を有する。
    • 该图像重建方法包括:通过旋转物体和/或改变X射线照射方向,使来自多个不同照射方向的X射线被照射,检测通过物体的X射线 多个不同的照射方向,并且生成与通过物体的X射线的强度有关的多个检测数据项; 当从多个不同的照射方向照射由X射线估计的结构,并且生成多个估计数据时,估计通过多个不同的照射方向中的每一个中的估计结构的X射线的强度,所估计的结构的形状具有 根据关于物体的形状信息估计; 并且对于多个检测数据项中的每一个,使用相互对应的检测数据并估计与X射线照射方向相关的数据,从检测数据中提取指示估计数据与检测之间的差分的差分数据 数据。
    • 5. 发明申请
    • X線検査方法及び装置
    • X射线检测方法和装置
    • WO2016098795A1
    • 2016-06-23
    • PCT/JP2015/085155
    • 2015-12-16
    • 株式会社日立ハイテクノロジーズ
    • 中尾 敏之浦野 雄太帳 開鋒笹澤 秀明
    • G01N23/04G01N23/083G01N23/18G01B15/00G01B15/08
    • G01N23/04G01N23/044G01N23/083G01N23/18G01N2223/3306G01N2223/401G01N2223/408G01N2223/6116G01N2223/646G01N2223/6462
    •  半導体ウエハに形成されたTSVの内部欠陥をX線透過像で検査する際、隣接するTSVの透過像の重なりを発生させず、内部欠陥を高精度に検出するために、X線源から発射したX線を試料に照射して検出しX線透過像を処理して試料に形成されたTSVの内部の欠陥を検出する方法において、試料を透過したX線をX線検出器で検出することを、試料に形成された構造物の配列間隔、深さ、及び平面形状の情報に基づいてX線検出器で検出する試料を透過したX線の試料に対する検出方位角及びX線源に対する検出仰角を決定し、決定した検出方位角に応じて試料を載置する回転ステージの回転角度を調整し、決定した検出仰角に検出器の位置を設定した状態で試料を透過したX線を検出するようにした。
    • 在这种方法中,为了在检查时,以高精度检测内部缺陷并且不引起相邻TSV透射图像的重叠,使用X射线透射图像,形成在半导体晶片中的TSV中的内部缺陷,形成TSV内部的缺陷 通过从X射线源发射的X射线照射样品,检测X射线和处理X射线透射图像来检测样品。 其中,使用X射线检测器检测通过样本透射的X射线的方式被配置为:通过X射线检测器检测的X射线透过的X射线的检测方位相对 基于样品中形成的结构的布置间隔,深度和平面形状的信息来确定X射线相对于X射线源的检测仰角, 根据已经确定的检测方位来调整安装样品的旋转台的旋转角度; 并且通过检测器的位置被设置为已经确定的检测仰角来检测已经透过样品的X射线。
    • 8. 发明申请
    • Method of Analysing a Drill Core Sample
    • 分析钻芯样品的方法
    • WO2015150825A1
    • 2015-10-08
    • PCT/GB2015/051041
    • 2015-04-02
    • COREX (UK) LIMITED
    • CLARK, Brett LouisMAITLAND, John Alexander CummingPATEY, Ian Thomas Maurice
    • G01N33/24G01N15/08G01N23/04
    • G01N33/24G01N15/08G01N23/046G01N2223/305G01N2223/401G01N2223/616G06F17/5009
    • A method of analysing a subterranean drilled core sample 10 is disclosed. The steps followed are:- a) providing a drill core sample 10 taken from a subterranean formation; b) producing high-resolution data of at least a section of the drill core sample 10 and creating a 3D before test skeleton of the sample 10 using that data; c) mimic wellbore operations using reservoir conditions core floods; d) producing high-resolution data of at least a section of the drill core sample 10 and creating a 3D after test skeleton of the sample using that data; e) identifying and/or segregating one or more formation damage mechanisms 12 by subtracting the 3D before test skeleton from the 3D after test skeleton to create a 3D change skeleton which shows all the formation damage mechanisms 12; and f) 1) identify one or more individual formation damage mechanisms 12, by conducting segmentation including performing one or more diagnostic analysis techniques on at least a section of the drill core sample 10 and generating individual or combinations of simulated 3D skeletons; and 2) determining the effect of said formation damage mechanism(s) 12 on a chosen characteristic of interest of said drill core sample 10.
    • 公开了一种分析地下钻芯试样10的方法。 所采取的步骤是:a)提供从地下地层取出的钻芯样品10; b)产生钻芯样品10的至少一部分的高分辨率数据,并使用该数据在样品10的测试骨架之前创建3D; c)使用水库条件核心洪水模拟井眼作业; d)产生钻芯样品10的至少一部分的高分辨率数据,并使用该数据创建样品的3D后测试骨架; e)通过从测试骨架之后的3D中减去测试骨架之前的3D,以创建显示所有形成损伤机构12的3D变化骨架来识别和/或分离一个或多个地层损伤机构12; 和f)1)通过进行分段来识别一个或多个单独的地层损伤机制12,包括在钻芯样品10的至少一个部分上执行一个或多个诊断分析技术,并且生成模拟的3D骨架的个体或组合; 以及2)确定所述地层损伤机理12对所述钻芯样品10的选定特征的影响。
    • 9. 发明申请
    • 弾性材料の変形の観察方法及び弾性材料の投影像撮影装置
    • 用于弹性材料投影图像的弹性材料和成像装置的变形监测方法
    • WO2015072387A1
    • 2015-05-21
    • PCT/JP2014/079419
    • 2014-11-06
    • 住友ゴム工業株式会社
    • 間下 亮岸本 浩通
    • G01N23/04G01M17/02
    • G01N23/046G01B15/06G01M17/027G01M17/028G01N23/04G01N2223/401G01N2223/419G01N2223/627
    •  動的な変形状態にある弾性材料を観察する。 【解決手段】ゴム又はエラストマーを含む弾性材料1の変形を観察するための方法及びそれに好適に用いられる弾性材料の投影像撮影装置である。観察方法は、弾性材料1の任意の軸線と直交する方向から、弾性材料1の少なくとも一部の投影像を、軸線周りの複数の撮影位置Pで撮影する投影像取得工程S1と、投影像から弾性材料1の三次元像51を構成する三次元像構成工程S2と、三次元像51を観察する工程S3とを含む。投影像取得工程S1は、弾性材料1を予め定められた周期で変形させる変形工程S12と、1周期中の予め定められた特定のタイミングで撮影信号Stを出力する信号出力工程S13と、撮影信号Stに基づいて、弾性材料1の投影像を撮影する撮影工程S14とを含む。変形工程S12、信号出力工程S13、及び、撮影工程S14が、各撮影位置で行われる。
    • 本发明的目的是在动态变形状态下监视弹性材料。 [解决方案]提供一种用于监测包含橡胶或弹性体的弹性材料(1)的变形的方法和用于对该方法中优选使用的弹性材料的投影图像进行成像的成像装置。 监视方法包括:投影图像获取步骤(S1),在多个成像位置(P)从垂直于弹性材料(1)的任意轴线的方向对弹性材料(1)的至少一部分的投影图像进行成像, 围绕轴; 从投影图像构成弹性材料(1)的三维图像(51)的三维图像合成步骤(S2); 以及监视三维图像(51)的步骤(S3)。 投影图像获取步骤(S1)包括在预定时间段内使弹性材料(1)变形的变形步骤(S12) 信号输出步骤(S13),其在一个周期内以预定的特定定时输出成像信号(St); 以及基于成像信号(St)对弹性材料(1)的投影图像进行成像的成像步骤(S14)。 在每个成像位置执行变形步骤(S12),信号输出步骤(S13)和成像步骤(S14)。