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1. 发明申请

WO2010097971A1 薄膜の検査装置及び検査方法审中-公开
标题翻译：用于检查薄膜的装置和方法
公开(公告)号：WO2010097971A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2009/062118
申请日：2009-07-02
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , 川添浩平 , 山口賢剛 , ▼高▲野暁巳
发明人：坂井　智嗣 , 川添　浩平 , 山口　賢剛 , ▼高▲野　暁巳
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/59 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要：　薄膜の基板面内における膜厚変動の影響を低減でき、計測精度の向上を図ることを目的とする。ガラス基板上に薄膜が製膜された被検査基板（Ｗ）に、該ガラス基板側から単波長の光を照射する光源と、光源から射出された照明光の光軸に対して所定の傾斜角度で受光軸が交差するように配置され、被検査基板Ｗを透過した拡散透過光を受光する受光素子と、受光素子によって受光された光の強度に基づいて薄膜のヘイズ率を求めるコンピュータ（７）とを備える。コンピュータ（７）は、ヘイズ率と拡散透過光の光強度とが関連付けられたヘイズ率特性を有しており、該ヘイズ率特性と前記受光素子によって受光された光強度とを用いてヘイズ率を求める。
摘要翻译：用于检查形成在玻璃基板上的薄膜的装置和方法能够减少薄膜厚度的变化的影响，并提高测量精度。该装置包括：用于从玻璃基板侧照射具有单一波长的光的被检查玻璃基板（W）的光源，受光轴的光接收轴线以相对于相对于从光源发射的照射光的光轴，并且其接收通过基板（W）的透射和漫射光;以及计算机（7），用于根据所述光源的强度来确定薄膜的雾度由光接收元件接收光。计算机（7）具有使雾化率和透射光和漫射光的强度彼此相关联的雾度率特性，并且根据雾度特性和接收光的强度确定雾度率。

2. 发明申请

WO9915882B1 METHOD FOR IDENTIFYING MATERIALS, IMPURITIES AND RELATED DEFECTS WITH DIFFUSE DISPERSION IN TRANSPARENT OBJECTS 审中-公开
标题翻译：过程识别漫散射的材料，杂质等缺陷透明物体
公开(公告)号：WO9915882B1
公开(公告)日：1999-05-14
申请号：PCT/EP9806014
申请日：1998-09-21
申请人： HEUFT SYSTEMTECHNIK GMBH , HEUFT BERNHARD
发明人： HEUFT BERNHARD
IPC分类号： G01N21/892 , G01N21/896 , G01N21/90 , G06T1/00
CPC分类号： G01N21/90 , G01N21/9018 , G01N2021/8829 , G01N2021/8832 , G01N2021/8928
摘要： The invention concerns a method for identifying in objects made of transparent material, for example, drink bottles, diffuse dispersion defects, wherein the objects concerned (10) are examined by means of a light source (12) and a camera (16), a contrast model (14) being arranged between the light source (12) and the object to be examined. The diffuse dispersion defects are identified on the basis of a decrease in the contrast effect of the contrast model (14) represented through the object.
摘要翻译：应该漫射由透明材料制成的对象的误差，例如饮料瓶，检测。所述制品（10），由光源（12）和摄像机（16），其中，所述光源（12）和物品之间的对比度图案（14）被放置待检查的装置进行检查。扩散误差由在成像穿过物体对比度图案（14）的对比度的降低进行检测。

3. 发明申请

WO2010104699A3 APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING HAZE OF SHEET MATERIALS OR OTHER MATERIALS 审中-公开
标题翻译：用于测量材料或其他材料的HAZE的装置和方法
公开(公告)号：WO2010104699A3
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/US2010025877
申请日：2010-03-02
申请人： HONEYWELL INT INC , SHAKESPEARE TARJA T , SHAKESPEARE JOHN F
发明人： SHAKESPEARE TARJA T , SHAKESPEARE JOHN F
IPC分类号： G01N21/89 , B65H7/02 , B65H43/00 , G01N21/86
CPC分类号： G01N21/47 , G01N21/59 , G01N21/896 , G01N21/958 , G01N2021/8928
摘要： A method includes illuminating (902) a material (102, 202, 302) with first light (108, 208, 308, 504, 604, 802) and capturing (904) an image (400, 700) of second light (114-116, 214-216, 314-316, 804, 808, 814, 816, 822) transmitted through the material. The method also includes analyzing (908) multiple regions (402-406, 702) of the image and determining (910) one or more haze measurements associated with the material based on the analyzing. The method further includes storing and/or outputting (910) the one or more haze measurements. Analyzing the multiple regions of the image may include summing pixel values in each region to produce a total pixel value for that region. The multiple regions of the image may include (i) a first region forming a first disc, (ii) a second region forming either a first annular region around the first region or a second disc larger than and including the first disc, and (iii) a third region forming either a second annular region around the second region or a third disc larger than and including the first and second discs.
摘要翻译：一种方法包括用第一光（108,208,308,504,602,802）照射（902）材料（102,202,302）并且捕获（904）第二光（114-）的图像（400,700） 116,214-216,314-316,804,808,814,816,822）。该方法还包括分析（908）图像的多个区域（402-406,702），并且基于分析确定（910）与材料相关联的一个或多个雾度测量。该方法还包括存储和/或输出（910）一个或多个雾度测量。分析图像的多个区域可以包括对每个区域中的像素值求和以产生该区域的总像素值。图像的多个区域可以包括（i）形成第一盘的第一区域，（ii）形成围绕第一区域的第一环形区域或大于并包括第一盘的第二盘的第二区域，以及（iii））形成围绕第二区域的第二环形区域或大于并包括第一和第二盘的第三盘的第三区域。

4. 发明申请

WO2010104699A2 APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING HAZE OF SHEET MATERIALS OR OTHER MATERIALS 审中-公开
标题翻译：用于测量材料或其他材料的HAZE的装置和方法
公开(公告)号：WO2010104699A2
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：PCT/US2010/025877
申请日：2010-03-02
申请人： HONEYWELL INTERNATIONAL INC. , SHAKESPEARE, Tarja T. , SHAKESPEARE, John F.
发明人： SHAKESPEARE, Tarja T. , SHAKESPEARE, John F.
IPC分类号： G01N21/89 , G01N21/86 , B65H7/02 , B65H43/00
CPC分类号： G01N21/47 , G01N21/59 , G01N21/896 , G01N21/958 , G01N2021/8928
摘要： A method includes illuminating (902) a material (102, 202, 302) with first light (108, 208, 308, 504, 604, 802) and capturing (904) an image (400, 700) of second light (114-116, 214-216, 314-316, 804, 808, 814, 816, 822) transmitted through the material. The method also includes analyzing (908) multiple regions (402-406, 702) of the image and determining (910) one or more haze measurements associated with the material based on the analyzing. The method further includes storing and/or outputting (910) the one or more haze measurements. Analyzing the multiple regions of the image may include summing pixel values in each region to produce a total pixel value for that region. The multiple regions of the image may include (i) a first region forming a first disc, (ii) a second region forming either a first annular region around the first region or a second disc larger than and including the first disc, and (iii) a third region forming either a second annular region around the second region or a third disc larger than and including the first and second discs.
摘要翻译：一种方法包括用第一光（108,208,308,504,602,802）照射（902）材料（102,202,302）并且捕获（904）第二光（114-）的图像（400,700） 116,214-216,314-316,804,808,814,816,822）。该方法还包括分析（908）图像的多个区域（402-406,702），并且基于分析确定（910）与材料相关联的一个或多个雾度测量。该方法还包括存储和/或输出（910）一个或多个雾度测量。分析图像的多个区域可以包括对每个区域中的像素值求和以产生该区域的总像素值。图像的多个区域可以包括（i）形成第一盘的第一区域，（ii）形成围绕第一区域的第一环形区域或大于并包括第一盘的第二盘的第二区域，以及（iii））形成围绕第二区域的第二环形区域或大于并包括第一和第二盘的第三盘的第三区域。

5. 发明申请

WO99015882A1 METHOD FOR IDENTIFYING MATERIALS, IMPURITIES AND RELATED DEFECTS WITH DIFFUSE DISPERSION IN TRANSPARENT OBJECTS 审中-公开
标题翻译：用于检测透明物品中的扩散材料，污染和其他缺陷的方法
公开(公告)号：WO99015882A1
公开(公告)日：1999-04-01
申请号：PCT/EP1998/006014
申请日：1998-09-21
IPC分类号： G01N21/892 , G01N21/896 , G01N21/90 , G06T1/00
CPC分类号： G01N21/90 , G01N21/9018 , G01N2021/8829 , G01N2021/8832 , G01N2021/8928
摘要： The invention concerns a method for identifying in objects made of transparent material, for example, drink bottles, diffuse dispersion defects, wherein the objects concerned (10) are examined by means of a light source (12) and a camera (16), a contrast model (14) being arranged between the light source (12) and the object to be examined. The diffuse dispersion defects are identified on the basis of a decrease in the contrast effect of the contrast model (14) represented through the object.
摘要翻译：透明材料制品上的漫射散射缺陷，例如饮料瓶，得到认可。所述制品（10），由光源（12）和摄像机（16），其中，所述光源（12）和物品之间的对比度图案（14）被放置待检查的装置进行检查。漫反射散射误差通过减少通过物品成像的对比图案（14）的对比度来检测。

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