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    • 4. 发明申请
    • PARTICLE DETECTION FOR SUBSTRATE PROCESSING
    • 基板处理的粒子检测
    • WO2017205391A1
    • 2017-11-30
    • PCT/US2017/034028
    • 2017-05-23
    • APPLIED MATERIALS, INC.
    • EGAN, ToddVAEZ-IRAVANI, MehdiBANNA, SamerTANTIWONG, KyleKIRK, GregoryRAVID, AbrahamSHEN, Yaoming
    • H01L21/66H01L21/683H01L21/67
    • G01N21/9501G01N15/0211G01N15/1425G01N21/94G01N2015/1486H01L21/67253H01L21/67288
    • A system for processing a substrate is provided. The system includes a process chamber including one or more sidewalls enclosing a processing region; and a substrate support. The system further includes a passageway connected to the process chamber; and a first particle detector disposed at a first location along the passageway. The first particle detector includes an energy source configured to emit a first beam; one or more optical devices configured to direct the first beam along one or more paths, where the one or more paths extend through at least a portion of the passageway. The first particle detector further includes a first energy detector disposed at a location other than on the one or more paths. The system further includes a controller configured to communicate with the first particle detector, wherein the controller is configured to identify a fault based on signals received from the first particle detector.
    • 提供了一种用于处理基板的系统。 该系统包括:处理室,其包括包围处理区域的一个或多个侧壁; 和衬底支撑件。 该系统还包括连接到处理室的通道; 以及设置在沿着通道的第一位置处的第一颗粒检测器。 第一粒子检测器包括配置成发射第一束的能量源; 一个或多个光学装置,其被配置为沿着一个或多个路径引导第一梁,其中一个或多个路径延伸穿过至少一部分通道。 第一粒子检测器还包括设置在除一个或多个路径之外的位置处的第一能量检测器。 该系统还包括控制器,该控制器被配置为与第一粒子检测器通信,其中控制器被配置为基于从第一粒子检测器接收的信号来识别故障。
    • 5. 发明申请
    • METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE NANOPARTICLE MEASUREMENT
    • 用于表面纳米颗粒测量的方法和设备
    • WO2017095585A1
    • 2017-06-08
    • PCT/US2016/060238
    • 2016-11-03
    • APPLIED MATERIALS, INC.
    • NOWAK, Thomas
    • G01N15/00
    • B08B5/02B08B15/04G01N1/2205G01N15/0618G01N2015/1062G01N2015/1486
    • Embodiments described herein generally relate to a particle collection apparatus and probe head for the collection of particles on process tool components. In one embodiment, a particle collection apparatus for counting particles present on a processing tool component is disclosed herein. The particle collection apparatus includes a particle collector. The particle collector is configured to scan a processing tool component and collect particles collected from the processing tool component. The particle collector includes a body and a probe head coupled to the body. The probe head has a probe body and a controlled spacing element. The controlled spacing element is coupled to the probe body and is configured to form a uniform manifold between the probe body and the processing tool component.
    • 这里描述的实施例总体上涉及用于在处理工具部件上收集颗粒的颗粒收集装置和探头。 在一个实施例中,本文公开了用于计数处理工具部件上存在的颗粒的颗粒收集设备。 颗粒收集装置包括颗粒收集器。 粒子收集器被配置为扫描处理工具组件并收集从处理工具组件收集的粒子。 颗粒收集器包括主体和耦合到主体的探头。 探头具有探头体和受控间隔元件。 受控的间隔元件联接到探针主体并且构造成在探针主体和处理工具部件之间形成均匀的歧管。
    • 7. 发明申请
    • SYSTEM AND METHOD FOR INDIVIDUAL PARTICLE SIZING USING LIGHT SCATTERING TECHNIQUES
    • 使用光散射技术的个体粒子尺寸的系统和方法
    • WO2017054070A1
    • 2017-04-06
    • PCT/CA2015/050995
    • 2015-10-02
    • INSTITUT NATIONAL D'OPTIQUE
    • CANTIN, Daniel
    • G01N15/10
    • G01N15/1459G01N15/0211G01N2015/0046G01N2015/1486
    • A particle sizing system is provided that includes an optical source generating a light beam for illuminating particles in a monitored volume, a plurality of light deflectors, each positioned to receive and deflect light scattered by the particles, and an image capture device collecting scattered light deflected by each light deflector. The image capture device outputs an image including a plurality of sub-images, each generated from the collected light deflected from a respective one of the light deflectors. Each particle is imaged as a spot in each sub-image, the plurality of spots associated with each particle corresponding to a plurality of scattering angles. The system also includes a processing unit configured to identify the spots associated with the each particle in the sub-images, compute a spot parameter associated with each spot, and determine the size of each particle from its related spot parameters. A particle sizing method is also provided.
    • 提供了一种粒子尺寸系统,其包括产生用于照射监测体积中的颗粒的光束的光源,多个光偏转器,每个光偏转器定位成接收和偏转由颗粒散射的光,以及收集散射光的图像捕获装置 由每个导光板。 图像捕获装置输出包括多个子图像的图像,每个子图像从从相应的一个光偏转器偏转的收集的光产生。 每个粒子被成像为每个子图像中的斑点,与每个粒子相关联的多个斑点对应于多个散射角。 该系统还包括处理单元,其被配置为识别与子图像中的每个粒子相关联的斑点,计算与每个斑点相关联的斑点参数,以及根据其相关斑点参数确定每个粒子的大小。 还提供了颗粒尺寸测定方法。
    • 9. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG DER ANZAHL AN FESTSTOFFPARTIKELN IN EINEM FLUIDSTROM
    • 装置和方法用于测定固体颗粒的数量的流体流动
    • WO2016180906A1
    • 2016-11-17
    • PCT/EP2016/060615
    • 2016-05-12
    • AVL LIST GMBH
    • BERGMANN, AlexanderFALK, Patrick
    • G01N15/06G01N15/14
    • G01N15/065F01N2900/1402G01N15/1459G01N15/1463G01N2015/0681G01N2015/0693G01N2015/1486
    • Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung der Anzahl an Feststoffpartikeln in einem Fluidstrom, insbesondere in Abgasen von Verbrennungskraftmotoren. Die Vorrichtung weist einen Messkanal (1) für den zu messenden Fluidstrom, eine Sättigungseinheit (2) zu Sättigung des Fluids mit Dämpfen eines Betriebsmittels (3), eine Kondensationseinheit (4) zum Abkühlen des Fluidstroms und eine Zähleinheit (5) zum Zählen der beim Abkühlen an den Partikeln gebildeten Kondensattröpfchen (6) auf. Die die Zähleinheit (5) weist eine Beleuchtungsvorrichtung (7), zumindest einen Lichtsensor (9) und eine mit dem Lichtsensor (9) verbundene Recheneinheit (11) zur Ermittlung der Anzahl an Feststoffpartikeln auf. Die Beleuchtungsvorrichtung (7) erzeugt einen an einer Schnittebene durch den Messkanal (1) angeordneten Lichtteppich (8), der eine Messfläche definiert, die sich im Wesentlichen über den gesamten Querschnittsbereich des Messkanals (1) erstreckt. Der Lichtsensor (9) weist zur Abtastung der gesamten Erstreckung der Messfläche eine Vielzahl an Sensorelementen (10) auf.
    • 装置和用于测定固体颗粒的数量在流体流中,特别是在内燃机的废气的方法。 该装置包括一个测量信道(1)的流体被测量的电流,一个饱和单元(2)的流体的饱和度与操作装置的蒸气(3),一个冷凝器(4),用于在所述计数(5)冷却该流体流和计数单元 形成在颗粒凉爽冷凝液滴(6)。 计数单元(5)具有的照明装置(7),至少一个光传感器(9)和连接的一个与光传感器(9)的计算单元(11),用于确定固体颗粒的数量。 其被布置在切割平面通过所述测量信道(1)的光的地毯(7)生成的照明装置(8),其限定一个测量表面,其基本上在测量信道本身的整个横截面区域(1)。 光传感器(9)具有用于扫描测量表面的整个延伸的多个传感器元件(10)。