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1. 发明申请

WO2016088291A1 センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器审中-公开
标题翻译：传感器元件，陀螺传感器和电子设备
公开(公告)号：WO2016088291A1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：PCT/JP2015/005278
申请日：2015-10-20
申请人：ソニー株式会社
发明人：三谷　諭司 , 椛澤　秀年 , 高橋　和夫 , 新倉　英生
IPC分类号： G01C19/5677 , B81B3/00 , H01L41/113
CPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5677 , G01P15/18 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/1132
摘要：【課題】多軸方向の角速度を高精度に検出することができるセンサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器を提供する。【解決手段】本技術の一形態に係るセンサ素子は、振動子部と、環状のベース部と、複数の連結部と、配線層とを具備する。上記配線層は、複数の駆動用配線と、複数の検出用配線とを有する。上記複数の駆動用配線は、第１及び第２の駆動用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記複数の検出用配線は、第１及び第２の検出用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記配線層は、上記複数の連結部にそれぞれ設けられ、上記ベース部に設けられた複数の端子部と、上記振動子部に設けられた複数の圧電駆動部、第１及び第２の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する。
摘要翻译： [问题]提供一种能够高精度地检测多轴方向的角速度的传感器元件，并且提供陀螺仪传感器和电子设备。 [解决方案]根据本技术的一个方面的传感器元件配备有振荡器部分，环形基部，多个连接部分和布线层。布线层具有多条用于驱动的导线和多条用于检测的导线。多个用于驱动的电线分别连接到第一和第二驱动电极并且以平行的方式彼此相邻地延伸。多个用于检测的线分别连接到第一和第二检测电极并且以平行的方式彼此相邻地延伸。布线层设置在多个连接部分中的每一个上，并且将设置在基部上的多个端子部分电连接到多个压电驱动部件和设置在振荡器部件上的第一和第二压电检测部件。

2. 发明申请

WO2011144890A1 RATE SENSOR WITH QUADRATURE REJECTION 审中-公开
标题翻译：速度传感器具有平衡抑制
公开(公告)号：WO2011144890A1
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：PCT/GB2011/000728
申请日：2011-05-13
申请人： SILICON SENSING SYSTEMS LIMITED , TOWNSEND, Kevin , DURSTON, Michael
发明人： TOWNSEND, Kevin , DURSTON, Michael
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5677 , G01C19/5776
摘要： An inertial sensor is described that has means for improving quadrature rejection The sensor is of a ring type, driven by a driver circuit, the sensor further comprising primary and secondary portions having corresponding signal pickoffs. The primary pickoff signal amplitude is controlled via an automatic gain control, the primary phase lock loop and VCO locks to the resonant frequency to provide the clocks for the synchronous detectors, the primary pickoff signals via the primary phase shift circuit is provided to the primary driver, the secondary pickoff signal being input into a detector circuit capable of detecting motion in the sensor. The secondary channel comprises a series of circuits that when operable in series significantly improve the quadrature rejection ability of the sensor. The circuits include a synchronous detector, passive and active filters and a decimator.
摘要翻译：描述了具有用于改善正交抑制的装置的惯性传感器。传感器是由驱动器电路驱动的环形传感器，传感器还包括具有对应的信号检测的主要和次要部分。通过自动增益控制来控制主要的检测信号幅度，主锁相环和VCO锁定到谐振频率以提供同步检波器的时钟，通过主相移电路的初级检测信号被提供给主驱动器，次级检测信号被输入到能够检测传感器中的运动的检测器电路。次级通道包括一系列电路，当串联可操作时显着提高传感器的正交抑制能力。电路包括同步检测器，无源和有源滤波器和抽取器。

3. 发明申请

WO2013010182A1 GYROSCOPES BASED ON OPTOMECHANICAL SENSING 审中-公开
标题翻译：基于光化学感测的GYROSCOPES
公开(公告)号：WO2013010182A1
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/US2012/046961
申请日：2012-07-16
申请人： CORNELL UNIVERSITY , WANG, Renyuan , BHAVE, Sunil
发明人： WANG, Renyuan , BHAVE, Sunil
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , B81B7/00
CPC分类号： G01C19/04 , G01C19/5677 , G01C19/5726
摘要： Gyroscopes based on optomechanical designs to provide sensitive sensing while providing relatively large bandwidth and dynamic range with enhanced noise performance.
摘要翻译：陀螺仪基于光机械设计，提供灵敏感测，同时提供相对较大的带宽和动态范围，增强噪声性能。

4. 发明申请

WO2010092842A1 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：使用压电薄膜的振动陀螺仪及其制造方法
公开(公告)号：WO2010092842A1
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：PCT/JP2010/050063
申请日：2010-01-06
申请人：住友精密工業株式会社 , 荒木隆太 , 池田隆志 , 西田宏 , 森口孝文 , 平田泰之
发明人：荒木　隆太 , 池田　隆志 , 西田　宏 , 森口　孝文 , 平田　泰之
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08
CPC分类号： G01C19/5677 , H01L41/08
摘要：　本発明の１つの振動ジャイロは、リング状振動体１１と、リング状振動体１１を柔軟に支持するレッグ部１５と、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極１３ａ～１３ｄ及び固定電位電極１６とを備えている。複数の電極１３ａ～１３ｄは、一次振動を励起する一群の駆動電極１３ａと、二次振動を検出する検出電極１３ｂと、検出電極１３ｂからの電圧信号に基づいてその二次振動を抑制する抑制電極１３ｄとを含み、駆動電極１３ａ、検出電極１３ｂ、及び抑制電極１３ｄは、リング状振動体１１の外周縁からその外周縁の近傍に至るまでの領域及び／又は内周縁から内周縁の近傍に至るまでの領域に配置されている。
摘要翻译：具有环形振动体（11）的振动陀螺仪，柔性地支撑环形振动体（11）的腿部（15），具有压电膜（13a-13d）的多个电极夹在上层金属膜和下层金属膜之间的厚度方向和固定电位电极（16）。多个电极（13a-13d）包括用于激励主振动的一组驱动电极（13a），用于检测二次振动的检测电极（13b），以及用于基于电压抑制二次振动的抑制电极（13d）来自检测电极（13b）的信号。驱动电极（13a），检测电极（13b）和抑制电极（13d）从环状振动体（11）的外周缘到外周缘附近的区域配置和/ 或从其内周边缘到内周边缘附近的区域。

5. 发明申请

WO0120257A3 HIGH Q ANGULAR RATE SENSING GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：高Q角测量陀螺仪
公开(公告)号：WO0120257A3
公开(公告)日：2001-09-27
申请号：PCT/US0025318
申请日：2000-09-14
申请人： WATSON IND INC , WATSON WILLIAM S
发明人： WATSON WILLIAM S
IPC分类号： G01P9/04 , G01C19/02 , G01C19/5642 , G01C19/567 , G01C19/5677 , G01C19/00
CPC分类号： G01C19/567 , G01C19/5642 , G01C19/5677
摘要： An angular rate sensing gyroscope which includes voltage pick-off conductors (50) which are applied to an area of a surface of a piezoelectric resonating element (10) that is subject to substantially zero stress when the gyroscope is rotationally stationary and actuator conductors (40) applied to the resonating element at a location bounded by areas of the resonating element subject to uniform levels of stress when the gyroscope is rotationally stationary, thereby improving the voltage response of the resonating element.
摘要翻译：一种角速率感测陀螺仪，其包括施加到压电谐振元件（10）表面的区域上的电压拾取导体（50），该压电谐振元件在陀螺仪旋转静止时经受基本上零应力，并且致动器导体）在由陀螺仪旋转地静止时受到均匀应力水平的谐振元件的区域限定的位置处施加到谐振元件，由此改善谐振元件的电压响应。

6. 发明申请

WO99047890A1 A GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：一个GYROSCOPE
公开(公告)号：WO99047890A1
公开(公告)日：1999-09-23
申请号：PCT/GB1999/000722
申请日：1999-03-10
IPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5677
摘要： A gyroscope for sensing rate on at least two axes includes a substantially planar vibratory resonator (2) having a ring or hoop like shape, carrier mode drive means (4) for causing the resonator (2) to vitrate in a Cosn1 theta in-plane carrier mode where n1 has an integer value of 2 or more. The gyroscope also includes support means (3) for flexibly supporting the resonator (2), carrier mode pick off means (5) for sensing in-plane movement of the resonator, X axis response mode pick off means (8) for sensing out-of-plane Cosn theta response mode movement of the resonator in response to rotation of the gyroscope around the X axis, where n has a value of n1+1 or n1-1, and Y axis response mode pick off means (10) for sensing out-of-plane Sinn theta response mode movement of the resonator (2) in response to rotation of the gyroscope about the Y axis where n has a value n1+1 or n1-1, identical to that for the X axis response mode.
摘要翻译：用于在至少两个轴上感测速率的陀螺仪包括具有环形或环形形状的基本上平面的振动谐振器（2），用于使谐振器（2）在面内Cosn1θ中维持的载体模式驱动装置（4） n1的整数值为2以上的载波模式。陀螺仪还包括用于灵活地支撑谐振器（2）的支撑装置（3），用于感测谐振器的平面内运动的载体模式拾取装置（5），用于感测外部振动的X轴响应模式拾取装置（8）响应于陀螺仪围绕X轴旋转的谐振器的平面Cosnθ响应模式移动，其中n具有值n1 + 1或n1-1，以及Y轴响应模式拾取装置（10）用于感测响应于陀螺仪围绕Y轴的旋转，谐振器（2）的平面外的Sinnθ响应模式移动，其中n具有与X轴响应模式相同的值n1 + 1或n1-1。

7. 发明申请

WO2017127751A1 METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING ROTATIONAL RATE 审中-公开
标题翻译：用于确定转速的方法和装置
公开(公告)号：WO2017127751A1
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：PCT/US2017/014443
申请日：2017-01-20
申请人： MOOG INC.
发明人： TRACY, Michael , TURON, Martin
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5677 , G01C19/5705
CPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/5776
摘要： An angular rate sensor has a ring, a plurality of sensor-drivers, circuitry, a controller, an energy sensor, and an output signal generator. The sensors-drivers may be capacitors, inductors, or a sensor having a piezoelectric material. The sensor-drivers each have a component that vibrates along with the ring, and the sensor-drivers are arranged in cooperating sets, each cooperating set having two sensor-drivers positioned 180º apart. The circuitry can selectively engage some of the cooperating sets as sensors and others of the cooperating sets as drivers. Those sets used as sensors sense motion of the ring. Those sets used as drivers apply forces to the ring. Some of the drivers cause the ring to vibrate at its natural frequency, and some of the drivers seek to inhibit motion of the ring at particular locations. Locations at which drivers seek to inhibit motion are those locations that would be nodes in the absence of angular motion.
摘要翻译：角速率传感器具有环，多个传感器驱动器，电路，控制器，能量传感器和输出信号发生器。传感器 - 驱动器可以是电容器，电感器或具有压电材料的传感器。每个传感器驱动器都有一个与环一起振动的组件，传感器驱动器被安排在协作组中，每个协作组具有两个位于180度的传感器驱动器; 分开。该电路可以选择性地使一些协作组作为传感器和其他协作组作为驱动器。那些用作传感器的组感测环的运动。那些用作驱动程序的套件对环施加力量。一些驾驶员导致环以其固有频率振动，并且一些驾驶员试图阻止环在特定位置处的运动。驾驶员寻求抑制运动的位置是那些在没有角运动的情况下将成为节点的位置。

8. 发明申请

WO2017115282A1 SYSTEM, APPARATUS, AND METHOD OF FABRICATING LOW-POWER MEMS VIBRATING RING GYROSCOPE 审中-公开
标题翻译：制造低功率MEMS振荡环形陀螺仪的系统，装置和方法
公开(公告)号：WO2017115282A1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：PCT/IB2016/058026
申请日：2016-12-27
申请人： MASDAR INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人： CHOI, Daniel Sunghoi , AN, Boohyun , LEE, Jisung , GILL, Waqas Amin , CHATTERJEE, Aveek Naith , HAN, Seungoh , CHANG, Hyun Kee
IPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5677
摘要： A vibrating ring gyroscope (VRG) comprising a ring, an octagonal star-shaped anchor, a plurality of supported springs disposed between the ring and the octagonal star-shaped anchor, and a plurality of electrodes coupled to the ring.
摘要翻译：振动环陀螺仪（VRG）包括环，八角形星形锚定件，多个设置在环和八边形星形锚定件之间的支撑弹簧以及多个电极，所述多个电极耦合到戒指。

9. 发明申请

WO2010030740A1 PIEZOELECTRIC TRANSDUCERS AND INTERTIAL SENSORS USING PIEZOELECTRIC TRANSDUCERS 审中-公开
标题翻译：压电传感器和使用压电传感器的外部传感器
公开(公告)号：WO2010030740A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/US2009/056456
申请日：2009-09-10
申请人： ANALOG DEVICES, INC. , KUANG, Jinbo , CLARK, William, Albert , GEEN, John, Albert
发明人： KUANG, Jinbo , CLARK, William, Albert , GEEN, John, Albert
IPC分类号： G01C19/56 , B06B1/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , H01L41/02 , H01L41/08 , H04R17/00
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5677 , G01P15/09 , Y10T29/42
摘要： Transducers comprising a frame structure made of piezoelectric material convert energy, through piezoelectric effect, between electrostatic energy associated with voltage differential between the electrodes sandwiching the frame structure and mechanical energy associated with deformation of the frame structure. Inertial sensors such as gyroscopes and accelerators, including inertial sensors comprising ring resonators, utilize said transducers both to generate oscillations of their resonators and to sense the changes in such oscillations produced, in the sensors' frame of reference, by Coriolis forces appearing due to the movement of the sensors.
摘要翻译：包括由压电材料制成的框架结构的传感器通过压电效应在夹持框架结构的电极与与框架结构的变形相关联的机械能相关联的静电能量之间转换能量。诸如陀螺仪和加速器的惯性传感器，包括包括环形谐振器的惯性传感器，利用所述换能器来产生它们的谐振器的振荡，并且感测在传感器参考系中由于由于所述传感器参考系而出现的科里奥利力产生的这种振荡的变化传感器的运动。

10. 发明申请

WO03025503A9 VIBRATORY GYROSCOPIC RATE SENSOR 审中-公开
标题翻译：振动陀螺仪传感器
公开(公告)号：WO03025503A9
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：PCT/GB0204056
申请日：2002-09-06
申请人： BAE SYSTEMS PLC , FELL CHRISTOPHER PAUL , ELEY REBECKA , FOX COLIN HENRY JOHN , MCWILLIAM STEWART
发明人： FELL CHRISTOPHER PAUL , ELEY REBECKA , FOX COLIN HENRY JOHN , MCWILLIAM STEWART
IPC分类号： G01C19/5677 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5677
摘要： A two axis gyroscope including a planar vibratory resonator (5) having a ring or hoop-like structure, carrier mode drive means (22) for causing the resonator (5) to vibrate in a cosntheta vibration mode, carrier mode pick-off means (23) for sensing movement of the resonator (5), x-axis and x-axis response mode pick-off means (25; 27) for detecting movement of the resonator in response to rotation about the x-axis and y-axis; x-axis and y-axis response mode drive means (24; 26) for nulling said motions and support means (9) for flexibly supporting the resonator (5) and for allowing the resonator to vibrate relative to the support means (9) in response to the drive means (22) and to applied rotation; wherein the support (9) means comprises only L legs, where, when L is even: L=2N/K, and where, when L is odd: L=N/K, where K is an integer, L > 2 and N is the carrier mode order.
摘要翻译：包括具有环形或环状结构的平面振动谐振器（5）的双轴陀螺仪，用于使谐振器（5）以谐振振动模式振动的载体模式驱动装置（22），载波模式拾取装置 23），用于感测谐振器（5）的移动; x轴和x轴响应模式拾取装置（25; 27），用于响应围绕x轴和y轴的旋转检测谐振器的移动; x轴和y轴响应模式驱动装置（24; 26），用于使所述运动零点和支撑装置（9）用于柔性地支撑谐振器（5）并且允许谐振器相对于支撑装置（9）振动响应于驱动装置（22）并施加旋转; 其中，所述支撑件（9）仅包括L脚，其中当L为偶数时：L = 2N / K，并且其中当L为奇数时：L = N / K，其中K是整数，L> 2和N 是载波模式的顺序。

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