专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2013055688A1 B2F4 MANUFACTURING PROCESS 审中-公开
标题翻译： B2F4制造工艺
公开(公告)号：WO2013055688A1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：PCT/US2012/059357
申请日：2012-10-09
申请人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人： BYL, Oleg , JONES, Edward E. , PYDI, Chiranjeevi , SWEENEY, Joseph D.
IPC分类号： C01B35/06 , B01J7/00 , B01J19/24
CPC分类号： C01B35/061 , B01J3/03 , B01J7/00 , B01J15/00 , B01J19/0073 , B01J19/129 , B01J2219/00094 , B01J2219/00148 , B01J2219/0254 , B01J2219/0272 , B01J2219/0277 , B01J2219/0886 , Y02P20/149
摘要： A reaction system and method for preparing compounds or intermediates from solid reactant materials is provided. In a specific aspect, a reaction system and methods are provided for preparation of boron-containing precursor compounds useful as precursors for ion implantation of boron in substrates. In another specific aspect, a reactor system and methods are provided for manufacture of boron precursors such as B 2 F 4 .
摘要翻译：提供了一种从固体反应物料制备化合物或中间体的反应体系和方法。在具体方面，提供了一种反应体系和方法，用于制备可用作在底物中硼离子注入的前体的含硼前体化合物。在另一具体方面，提供反应器系统和方法来制造硼前体例如B2F4。

2. 发明申请

WO2013162938A1 ESC COOLING BASE FOR LARGE DIAMETER SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译：用于大直径基板的ESC冷却基座
公开(公告)号：WO2013162938A1
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：PCT/US2013036659
申请日：2013-04-15
申请人： APPLIED MATERIALS INC
发明人： TAVASSOLI HAMID , BERA KALLOL , BUCHBERGER DOUGLAS , CARDUCCI JAMES C , RAUF SHAHID , COLLINS KENNETH
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065
CPC分类号： B01J15/00 , B23C3/13 , B23K15/0006 , H01L21/67109 , H01L21/6831 , Y10T409/303752
摘要： Embodiments include a base for an electrostatic chuck (ESC) assembly for supporting a workpiece during a manufacturing operation in a processing chamber, such as a plasma etch, clean, deposition system, or the like. Inner and outer fluid conduits are disposed in the base to conduct a heat transfer fluid. In embodiments, a counter-flow conduit configuration provides improved temperature uniformity. The conduit segments in each zone are interlaced so that fluid flows are in opposite directions in radially adjacent segments. In embodiments, each separate fluid conduit formed in the base comprises a channel formed in the base with a cap e-beam welded to a recessed lip of the channel to make a sealed conduit. To further improve the thermal uniformity, a compact, tri-fold channel segment is employed in each of the outer fluid loops. In further embodiments, the base includes a multi-contact fitting RF and DC connection, and thermal breaks.
摘要翻译：实施例包括用于在诸如等离子体蚀刻，清洁，沉积系统等的处理室中的制造操作期间用于支撑工件的静电卡盘（ESC）组件的基座。内部和外部流体管道设置在基座中以传导传热流体。在实施例中，逆流导管配置提供改善的温度均匀性。每个区域中的导管段是交错的，使得流体在径向相邻段中沿相反方向流动。在实施例中，形成在基座中的每个单独的流体导管包括形成在基座中的通道，其中帽电子束焊接到通道的凹口以形成密封导管。为了进一步提高热均匀性，在每个外部流体回路中采用紧凑的三重通道段。在另外的实施例中，底座包括多接头配件RF和DC连接以及热断裂。

3. 发明申请

WO2010083899A1 REAKTOR ZUR HERSTELLUNG VON POLYKRISTALLINEM SILIZIUM NACH DEM MONOSILAN-PROZESS 审中-公开
标题翻译：反应器制备多晶硅的AFTER甲硅烷处理
公开(公告)号：WO2010083899A1
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：PCT/EP2009/063198
申请日：2009-10-09
申请人： G+R TECHNOLOGY GROUP AG , STÖCKLINGER, Robert
发明人： STÖCKLINGER, Robert
IPC分类号： C01B33/035
CPC分类号： B01J15/00 , B01J19/24 , B01J2219/00078 , C01B33/035
摘要： Es ist ein Reaktor (10) zur Herstellung von polykristallinem Silizium offenbart, der mit einem Reaktorboden (2) versehen ist, der eine Vielzahl von Düsen (4) ausgebildet hat. Durch die Düsen (4) strömt ein siliziumhaltiges Gas ein. Ebenso sind auf dem Reaktorboden (2) mehrere Filamentstäbe (6) montiert. Ferner ist eine Gasaustrittöffnung (8) zum Zuführen von verbrauchtem siliziumhaltigem Gas zu einer Anreicherung und/oder Aufbereitung vorgesehen. Die Gasaustrittöffnung (8) ist an einem freien Ende (21) eines Innenrohrs (20) ausgebildet, wobei das Innenrohr (20) durch den Reaktorboden (2) geführt ist.
摘要翻译：它是用于制备多晶硅中公开了一种反应器（10），其具有形成有多个喷嘴，其设置有反应器底板（2）（4）。通过喷嘴（4）的含硅气体流动。同样，在反应器的底部（2），其安装几个丝棒（6）。此外，用于供给气体出口开口（8）花费硅酸气体浓缩和/或设置的准备。气体出口开口（8）在一内管（20），其中所述内管（20）通过反应器基座（2）被引导的自由端（21）形成。

4. 发明申请

WO1989001823A1 DEVICE FOR DEHYDRATING LIQUID HYDRIDES 审中-公开
标题翻译：用于脱水液体的装置
公开(公告)号：WO1989001823A1
公开(公告)日：1989-03-09
申请号：PCT/EP1988000803
申请日：1988-09-03
申请人： NASSER, Kamilia , NASSER, Mohamed , NASSER, Gamal El Din
发明人： NASSER, Kamilia , NASSER, Mohamed
IPC分类号： B01J15/00
CPC分类号： B01J15/00 , B01J19/245 , B01J2219/00085 , B01J2219/00103 , B01J2219/00159 , B01J2219/00162 , C01B3/0005 , C01B3/0015 , Y02E60/328
摘要： The device described comprises a chemical reactor (18) for dehydrating the hot vaporized hydride, a preheating stage (12a, 12b) for preheating the hydride, a vaporizing stage (14a, 14b) for vaporizing the hydride, a superheating stage (16a, 16b) for superheating the vaporized hydride and a condensor stage (10a, 10b) for cooling the dehydration products. All stages, including the reactor, are designed as plate-shaped hybrid heat exchangers arranged in stacks side by side. Two cylindrical storage chambers (6a, 6b) for the dehydration products are arranged at either end of the heat exchanger stack. Lateral plates (30, 32) connected to the storage chambers (6a, 6b) act as stays and together with the storage chambers provide the device with the necessary stability. Ducts for the flow media are housed in the spaces (36, 38) between the lateral plates (30, 32) and the heat exchanger stack. The device is economical to construct, compact and light.

5. 发明申请

WO2016008660A1 PREKONZENTRATOR ZUM ADSORBIEREN UND/ODER DESORBIEREN WENIGSTENS EINER KOMPONENTE EINES GASES 审中-公开
标题翻译： PREKONZENTRATOR吸附和/或解吸至少一种成分的气体的
公开(公告)号：WO2016008660A1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：PCT/EP2015/063293
申请日：2015-06-15
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： EISELE, Ignaz , FLEISCHER, Maximilian , HEDLER, Harry , SCHIEBER, Markus , ZAPF, Jörg
IPC分类号： G01N33/00
CPC分类号： B01J15/00 , B01J20/28033 , B01J20/28095 , G01N33/0011 , G01N2033/0019
摘要： Die Erfindung betrifft eine Mikrostruktur (12) zum Adsorbieren und/oder Desorbieren wenigsten einer Gaskomponente eines der Mikrostruktur (12) zugeführten Gases aufweisend ein Halbleitersubstrat (14) mit einer Unterseite (16) und einer Oberseite (18), wobei eine Mehrzahl von Mikrokanälen (20), welche sich jeweils von der Unterseite (16) zur der Oberseite (18) des Halbleitersubstrates (14) erstrecken, wobei eine Oberfläche (22) der jeweiligen Mikrokanäle (20) zum Adsorbieren und/oder Desorbieren der wenigsten einen Gaskomponente beim Durchströmen des Gases durch die jeweiligen Mikrokanäle (20) ausgebildet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种微结构（12），用于吸附和/或解吸的微观结构的至少一种气体组分（12）供给的气体，其包含（微通道具有底部（16）和顶部（18），其中，多个半导体基板（14） 20）（从底部16），用于在半导体基板（14）的顶部（18），其中相应的微通道（20），用于吸附和/或解吸至少一种气体组分的一个表面（22）流过分别延伸气体是由各自的微通道（20）形成。

6. 发明申请

WO2012150185A1 REACTEUR SOLIDE / GAZ CALOPORTEUR COMPRENANT DES DIFFUSEURS DE GAZ A RISQUES D'OBTURATION REDUITS 审中-公开
标题翻译：固体/热交换气体反应器，包括降低风险的气体扩散器
公开(公告)号：WO2012150185A1
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/EP2012/057732
申请日：2012-04-27
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , WYTTENBACH, Joël , PAPILLON, Philippe , TANGUY, Gwennyn
发明人： WYTTENBACH, Joël , PAPILLON, Philippe , TANGUY, Gwennyn
IPC分类号： B01J8/02 , B01J15/00 , B01J19/24
CPC分类号： B01J8/0242 , B01J8/0207 , B01J8/0278 , B01J8/0285 , B01J8/0292 , B01J15/00 , B01J15/005 , B01J19/249 , B01J2208/00707 , B01J2208/0084 , B01J2208/00911 , B01J2219/2453 , B01J2219/2458 , B01J2219/247 , B01J2219/2481 , B01J2219/2496 , F28C3/12
摘要： Réacteur solide / gaz caloporteur comprenant des modules (1) empilés, caractérisé en ce que chaque module comprend des diffuseurs (20) présentant chacun une portion supérieure de support du réactif solide et une portion de diffusion du gaz, située sous la portion supérieure de support, et comprenant également un canal latéral de distribution du gaz (12), et un canal latéral de collecte du gaz (14). Chaque module comprend une double paroi (2) entre lesquelles le gaz circule avant de pénétrer lesdits diffuseurs. Deux modules directement consécutifs de l'empilement définissent une cavité de logement recevant un réactif solide porté au moins partiellement par lesdits diffuseurs agencés dans cette cavité, lesdits canaux latéraux de distribution du gaz (12) des modules empilés formant ensemble un distributeur vertical (112) alimentant en gaz chacun des espaces définis entre les doubles parois (2), et en ce que lesdits canaux latéraux de collecte du gaz (14) des modules empilés forment ensemble un collecteur vertical (114) collectant le gaz en provenance de chacune desdites cavités de logement.
摘要翻译：本发明涉及一种包括堆叠模块（1）的固体/热输送气体反应器，其特征在于，每个模块包括扩散器（20），每个模块具有用于支撑固体反应物的上部部分和下面的气体扩散部分所述固体/热输送气体反应器还包括侧气体分配通道（12）和侧气体收集通道（14）。每个模块包括双壁（2），气体在其进入所述扩散器之前流动。堆叠中的两个直接连续的模块限定用于接收由布置在所述空腔中的所述扩散器至少部分支撑的固体反应物的保持腔，其中堆叠模块的侧面气体分配通道（12）一起形成垂直分配器（112）将气体输送到在双壁（2）之间限定的每个空间中，并且其特征在于，堆叠模块的侧面气体收集通道（14）一起形成垂直收集器（114），用于从每个保持件腔。

7. 发明申请

WO2012004791A1 METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING HYDROGEN 审中-公开
标题翻译：用于生成氢的方法和装置
公开(公告)号：WO2012004791A1
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：PCT/IL2011/000531
申请日：2011-07-06
申请人： YAMPOLSKY, Genady Gideon
发明人： YAMPOLSKY, Genady Gideon
IPC分类号： C01B3/10
CPC分类号： B01J7/02 , B01J4/002 , B01J15/00 , B01J19/0013 , B01J19/18 , B01J2219/0004 , B01J2219/00135 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , C01B3/08 , C01B3/10 , Y02E60/36
摘要： Disclosed is a method for generating hydrogen. The method may include introducing water bubbles into a bottom region of a vessel containing molten aluminum allowing the water bubbles to rise within the molten aluminum, expanding as they rise. The method may further include collecting hydrogen, generated in a reaction between the water bubbles and the molten aluminum, from the vessel. Also disclosed is an apparatus for generating hydrogen that may include a vessel having an internal chamber for containing molten aluminum, at least one water inlet positioned at a bottom region of the vessel, at least one hydrogen outlet positioned at a top region of the vessel and a heating element.
摘要翻译：公开了一种产生氢的方法。该方法可以包括将水泡引入到容纳熔融铝的容器的底部区域中，使得水泡在熔融铝内上升，并随着其上升而膨胀。该方法还可以包括从容器收集在水泡和熔融铝之间的反应中产生的氢。还公开了一种用于产生氢的装置，其可以包括具有用于容纳熔融铝的内部室的容器，位于容器的底部区域的至少一个进水口，位于容器顶部区域的至少一个氢气出口，以及加热元件。

8. 发明申请

WO2010031270A1 生产高纯颗粒硅的反应器和方法审中-公开
公开(公告)号：WO2010031270A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：PCT/CN2009/072688
申请日：2009-07-08
申请人：储晞
发明人：储晞
IPC分类号： C01B33/027 , B01J8/18
CPC分类号： B01J8/008 , B01J8/087 , B01J8/12 , B01J8/16 , B01J15/00 , C01B33/025 , C01B33/027 , C01B33/03 , C01B33/037 , Y02P20/129

9. 发明申请

WO98055667A1 METHOD AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF CVD EXHAUST DEPOSITS 审中-公开
标题翻译： CVD排除沉积物的测量方法和装置
公开(公告)号：WO98055667A1
公开(公告)日：1998-12-10
申请号：PCT/US1998/010572
申请日：1998-05-21
IPC分类号： B01J15/00 , B01J19/00 , C23C16/44 , B01J3/02
CPC分类号： C23C16/4412 , B01J15/00 , B01J19/0006
摘要： A method and system for quantifying the amount of byproduct buildup in the reaction chamber and support systems used to fabricate semiconductor device layers is disclosed. One embodiment of the present invention places a film thickness measuring device in an exhaust pipe (150) of a reactor (100). The film thickness measuring device is positioned such that the operating parameters, for example temperature, of that particular device are optimized. The thickness of the exhaust byproduct buildup is then measured using the film thickness measuring device. Once the amount of byproduct buildup is quantified at the location of the film thickness measuring device then the byproduct buildup at other locations in the system be determined.
摘要翻译：公开了一种用于量化用于制造半导体器件层的反应室和支撑系统中的副产物积累量的方法和系统。本发明的一个实施例将膜厚测量装置放置在反应器（100）的排气管（150）中。膜厚测量装置被定位成使得该特定装置的操作参数，例如温度被优化。然后使用膜厚测量装置测量排气副产物积累的厚度。一旦在膜厚测量装置的位置量化了副产物积累的量，则确定系统中其他位置处的副产物积累。

10. 发明申请

WO1993002787A1 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF ULTRA-FINE POWDERED MATERIALS 审中-公开
标题翻译：生产超细粉末材料的方法
公开(公告)号：WO1993002787A1
公开(公告)日：1993-02-18
申请号：PCT/GB1992001301
申请日：1992-07-16
申请人： TETRONICS RESEARCH & DEVELOPMENT CO. LIMITED , UNIVERSITE DE LIMOGES , AGEORGES, Hélène , BARONNET, Jean-Marie , HEANLEY, Charles, Peter , WILLIAMS, John, Kenneth
发明人： TETRONICS RESEARCH & DEVELOPMENT CO. LIMITED , UNIVERSITE DE LIMOGES
IPC分类号： B01J12/00
CPC分类号： B82Y30/00 , B01J12/002 , B01J15/00 , B01J19/088 , B22F9/12 , B22F2999/00 , C01B13/28 , C01B13/326 , C01B21/06 , C01B21/0724 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , B22F2202/13
摘要： A process for the production of powdered materials having a particle size in the range of from 10 to 200 nanometers, which process comprises coupling at least two plasma arcs of opposite polarity in a reactor to form a plasma arc coupling zone, subjecting a target material to heating by means of the plasma arc coupling zone thereby causing the target material to fume, optionally subjecting the target material to a chemical reaction to form a product material, entraining the fumed target material or product material in a gas stream, cooling the said gas stream and collecting the powdered target material or product material.
摘要翻译：一种制备粒度在10-200纳米范围内的粉末材料的方法，该方法包括在反应器中连接至少两个具有相反极性的等离子弧，以形成等离子弧耦合区，使目标材料通过等离子体电弧耦合区进行加热，从而导致目标材料烟气，任选地使目标材料经历化学反应以形成产物材料，将气相物质或产物材料夹带在气流中，冷却所述气流并收集粉末状目标材料或产品材料。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式