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1. 发明申请

WO2016167134A1 比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法审中-公开
标题翻译：用于调整特定电阻值的装置和调整特定电阻值的方法
公开(公告)号：WO2016167134A1
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/JP2016/060655
申请日：2016-03-31
申请人： DIC株式会社
发明人：大井　和美 , 斉藤　政人 , 羽田　尚樹
IPC分类号： B01F1/00 , B01D63/02 , B01F3/04 , B01F5/06 , B01F15/04
CPC分类号： B01F3/04241 , B01D63/02 , B01F1/00 , B01F3/04 , B01F5/06 , B01F15/00422 , B01F15/0261 , B01F15/04 , B01F2003/04404 , B01F2215/0096
摘要：中空糸膜により、比抵抗値を調整する液体が供給される液相側領域と比抵抗値を調整する調整ガスが供給される気相側領域とに分けられて、前記液体に前記調整ガスを溶解させる中空糸膜モジュールと、前記液相側領域に連通されて、前記液相側領域に前記液体を供給する液体供給管と、前記液相側領域に連通されて、前記液相側領域から前記液体を排出する液体排出管と、前記気相側領域に連通されて、前記気相側領域に前記調整ガスを供給するガス供給管と、前記気相側領域に連通されて、前記気相側領域から前記調整ガスを排出するガス排出管と、前記中空糸膜モジュールをバイパスするように前記液体供給管及び前記液体排出管に連通されるバイパス管と、前記ガス排出管に接続されて、前記ガス排出管内の第一流路を開閉する第一開閉弁と、を備え、前記第一開閉弁は、前記第一流路を開けることにより、前記気相側領域に溜まった水を排出する。
摘要翻译：本发明包括：中空纤维膜组件，其由中空纤维膜分成液相侧区域，其中供给调节电阻率值的液体和气相侧区域，其中调节供给用于调节比电阻值的气体，调节气体溶解在液体中; 液体供给管，其与液相侧区域连通并将液体供给到液相侧区域; 液体排出管，其与液相侧区域连通并从液相侧区域排出液体; 气体供给管，其与气相侧区域连通并将调节气体供给到气相侧区域; 气体排出管，其与气相侧区域连通并从气相侧区域排出调节气体; 旁通管，其与所述液体供给管和所述液体排出管连通，以绕过所述中空纤维膜组件; 以及第一开闭阀，其与气体排出管连接并打开或关闭气体排出管中的第一流路，其中，第一开闭阀通过打开第一开闭阀来排出收集在气相侧区域中的水流通道。

2. 发明申请

WO2014149351A1 COMPACT DEVICE FOR ENHANCING THE MIXING OF GASEOUS SPECIES 审中-公开
标题翻译：用于增强气候物种混合的紧凑装置
公开(公告)号：WO2014149351A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/US2014/017577
申请日：2014-02-21
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： LANE, John W. , DARAN, Berrin , GUNTURI, Ramachandra Murthy , GREGOR, Mariusch , MANJUNATH, Bhaswan , VASUDEVA, Prashanth
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B01F5/0077 , B01F3/028 , B01F5/0689 , B01F15/0429 , B01F2215/0096
摘要： Apparatus and system for mixing gas comprising a first valve coupled to a first conduit controlling flow of a first gas, a second valve coupled to a second conduit controlling flow of a second gas, a controller controlling the valves, a base block with a first gas input coupled to the first conduit, a second gas input coupled to the second conduit and an output opening, a mixing chamber formed within the base block, wherein the mixing chamber is coupled to the first gas input and the second gas input to receive input gases, an inner block disposed within the mixing chamber, the inner block including a body with an inner volume and one or more perimeter holes formed through the body coupling the mixing chamber to the inner volume of the inner block; and a gas outlet configured to flow gas through the output opening of the base block.
摘要翻译：用于混合气体的设备和系统，包括联接到控制第一气体流的第一导管的第一阀，连接到控制第二气体的流动的第二导管的第二阀，控制阀的控制器，具有第一气体的基座输入，其耦合到第一导管，耦合到第二导管的第二气体输入口和输出开口，形成在基座块内的混合室，其中混合室与第一气体输入端相连，而第二气体输入端接收输入气体设置在所述混合室内的内部块，所述内部块包括具有内部容积的主体和通过将所述混合室连接到所述内部块的内部容积的本体形成的一个或多个周边孔; 以及气体出口，其构造成使气体流过所述基座的输出开口。

3. 发明申请

WO2007103184A2 SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLED MIXING OF FLUIDS AND MULTIPLEXING SETPOINTS 审中-公开
标题翻译：用于控制流体和多重设置的混合的系统和方法
公开(公告)号：WO2007103184A2
公开(公告)日：2007-09-13
申请号：PCT/US2007/005377
申请日：2007-02-28
申请人： ENTEGRIS, INC. , NIERMEYER, J., Karl , MCLOUGHLIN, Robert, F. , SMITH, Joseph, E.
发明人： NIERMEYER, J., Karl , MCLOUGHLIN, Robert, F. , SMITH, Joseph, E.
IPC分类号： G05B11/01 , H04B7/212
CPC分类号： B01F15/0416 , B01F2215/0096 , G05D11/135 , G05D11/16 , G05D23/1393 , H01L21/67075 , Y10T137/0329
摘要： Embodiments of the present invention provide a system and method for continuous flow production of mixed fluids. The mixed fluids can comprise a mixture of different fluids or a mixture of the same fluid having different input properties such as temperature. Additionally, embodiments of the present invention provide a system and method for multiplexing analog setpoints.
摘要翻译：本发明的实施例提供了用于混合流体的连续流动生产的系统和方法。混合流体可以包括不同流体的混合物或具有不同输入特性如温度的相同流体的混合物。另外，本发明的实施例提供了一种用于复用模拟设定点的系统和方法。

4. 发明申请

WO2006135761A1 APPARATUS AND METHOD FOR MIXING FLUIDS, COMPRISING MIXING OF AT LEAST ONE FLUID WITH A NEAR-CRITICAL OR SUPER-CRITICAL CARRIER FLUID 审中-公开
标题翻译：用于混合流体的装置和方法，包括至少一个流体与近临界或超临界载体流体的混合
公开(公告)号：WO2006135761A1
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：PCT/US2006/022507
申请日：2006-06-05
申请人： BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE , FULTON, John, L.
发明人： FULTON, John, L.
IPC分类号： B01F5/04 , B01F3/00 , B08B7/00 , H01L21/00 , H01L21/02 , B05D1/02
CPC分类号： B01F15/02 , B01F3/088 , B01F5/0451 , B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/02 , B01F2003/0064 , B01F2215/0096 , B01F2215/0409 , B01F2215/045 , B01F2215/0459 , B08B7/0021
摘要： The present invention generally relates to a method and apparatus for mixing of fluids. More particularly, the present invention relates to a method and apparatus for mixing fluids introduced into near-critical and supercritical fluids forming a fluid stream. In the fluid stream a density gradient is generated that induces a convective velocity resulting in rapid mixing. The invention has application in such commercial applications as semiconductor and wafer fabrication where rapid cycle times or rapid mixing of fluids are required and where low tolerances for residues are permitted.
摘要翻译：本发明一般涉及用于混合流体的方法和装置。更具体地说，本发明涉及一种用于混合流入形成流体流的近临界流体和超临界流体的流体的方法和装置。在流体流中产生密度梯度，其产生导致快速混合的对流速度。本发明可用于诸如半导体和晶片制造的商业应用，其中需要快速循环时间或快速混合流体，并且允许残留物的低容许度。

5. 发明申请

WO2006109144A1 METHOD AND APPARATUS FOR ASYNCHRONOUS BLENDING AND SUPPLY OF CHEMICAL SOLUTIONS 审中-公开
标题翻译：用于异步混合和化学溶液供应的方法和装置
公开(公告)号：WO2006109144A1
公开(公告)日：2006-10-19
申请号：PCT/IB2006/000852
申请日：2006-04-12
申请人： L'AIR LIQUIDE-SOCIETE ANONYME A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE , URQUHART, Karl J.
发明人： URQUHART, Karl J.
IPC分类号： G05D11/13
CPC分类号： B01F15/00194 , B01F15/0408 , B01F2215/0032 , B01F2215/0096 , G05D11/138 , Y10T137/0335 , Y10T137/034 , Y10T137/2506 , Y10T137/2509
摘要： Methods and apparatuses for blending and supply of chemical solutions. The method of the present invention includes a continuous blending system. This continuous blending system (100) monitors the output and continuously adjusts the blending system to achieve a predetermined formulation of at least a first solution (114) . A centralized monitoring system (124) continuously evaluates the solutions and adjusts the output of the blender (113) as needed to maintain the predetermined formulation of the solution. The system includes at least a first tank system (117) . Any solutions (120) that are delivered from this tank system are also continuously monitored, evaluated, and adjusted as needed by the centralized monitoring system.
摘要翻译：混合和供应化学溶液的方法和装置。本发明的方法包括连续混合系统。该连续混合系统（100）监测输出并连续地调节混合系统以实现至少第一溶液（114）的预定配方。集中监控系统（124）根据需要连续地评估解决方案并调整搅拌器（113）的输出以维持解决方案的预定配方。该系统至少包括第一罐系统（117）。从这个坦克系统提供的任何解决方案（120）也可以根据集中监控系统的需要进行不断的监控，评估和调整。

6. 发明申请

WO2009064878A1 SYSTEM AND METHOD FOR BLENDING, MONITORING AND DISPENSING CHEMICAL MIXTURES 审中-公开
标题翻译：用于混合，监测和分配化学混合物的系统和方法
公开(公告)号：WO2009064878A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/US2008/083394
申请日：2008-11-13
申请人： ENTEGRIS, INC. , MOLLICA, Rosario , CLARKE, Michael
发明人： MOLLICA, Rosario , CLARKE, Michael
IPC分类号： B01F15/02
CPC分类号： B01F15/0408 , B01F15/0216 , B01F2015/0221 , B01F2215/0096 , G05D11/132
摘要： Embodiments disclosed herein provide a new solution to blend, monitor, and dispense multi-component chemical mixtures in a controlled and efficient manner. This new solution can prevent a volatile chemical such as hydrogen peroxide (H2O2) from decomposing prematurely by introducing that chemical at the very last stage before dispensing. In embodiments disclosed herein, prior to dispensing, H2O2 is introduced into a mixture of two or more chemicals that are relatively more stable. In embodiments disclosed herein, chemicals that are not as volatile as H2O2 are introduced into a recirculation loop where these chemical may be heated. In some embodiments, the heated mixture of chemicals is directed from the recirculation loop to a mixing manifold where H2O2 may be introduced. The final multi-component chemical mixture may then be dispensed through a plurality of dispense points.
摘要翻译：本文公开的实施例提供了以受控和有效的方式混合，监测和分配多组分化学混合物的新解决方案。这种新的解决方案可以防止挥发性化学物质，如过氧化氢（H2O2））通过在分配前的最后阶段引入该化学物质而过早分解。在本文公开的实施方案中，在分配之前，将H 2 O 2引入相对更稳定的两种或更多种化学品的混合物中。在本文公开的实施方案中，不像H 2 O 2那样挥发的化学品被引入可以加热这些化学物质的循环回路中。在一些实施方案中，加热的化学物质的混合物从循环回路引导到可以引入H 2 O 2的混合歧管。然后可以通过多个分配点分配最终的多组分化学混合物。

7. 发明申请

WO2008141206A2 SYSTEMS AND METHODS FOR MATERIAL BLENDING AND DISTRIBUTION 审中-公开
标题翻译：用于材料混合和分配的系统和方法
公开(公告)号：WO2008141206A2
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/US2008/063276
申请日：2008-05-09
申请人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. , HUGHES, John, E., Q.
发明人： HUGHES, John, E., Q.
IPC分类号： B01F15/02 , B01F15/00
CPC分类号： B01F3/088 , B01F15/0203 , B01F15/0238 , B01F15/0425 , B01F2215/0036 , B01F2215/0096 , G05D11/139
摘要： Systems and methods for mixing pure feed materials utilizes a first and a second compressible volume, such as defined in first and second liner-based containers adapted for pressure dispensation, wherein such materials are supplied to a mixing apparatus (e.g., reversible-flow or circulatable flow apparatus) adapted to form and maintain a mixture or suspension. Multiple redundant groups of containers may be used to enable mixing of contents of one group while contents of another group are being dispensed, to provide uninterrupted delivery of feed material to a process. Sensors adapted to generate signals indicative of flow, weight/mass, particle size distribution, concentration, and other material properties may be provided.
摘要翻译：用于混合纯饲料的系统和方法利用第一和第二可压缩体积，例如在适于压力分配的第一和第二基于衬管的容器中限定的，其中这样的材料被供应到混合装置（例如，可逆流动或可循环流动装置），其适于形成和保持混合物或悬浮液。可以使用多个冗余的容器组，以使得能够混合一组的内容物，同时分配另一组的内容物，以将进料不间断地输送到过程。可以提供适于产生指示流动，重量/质量，粒度分布，浓度和其它材料性质的信号的传感器。

8. 发明申请

WO2008139417A2 SYSTEMS AND METHODS FOR MIXING FLUIDS 审中-公开
标题翻译：混合流体的系统和方法
公开(公告)号：WO2008139417A2
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/IB2008051885
申请日：2008-05-13
申请人： AIR LIQUIDE , TRANG DUY K , PETERSCHMITT MATTHIEU E , MARTIN RAUL A , GHANI M USMAN , WANG JIAN , LORELLI JEFFREY E , SOULET AXEL , COLIN CHRISTOPHE , INMAN RONALD S
发明人： TRANG DUY K , PETERSCHMITT MATTHIEU E , MARTIN RAUL A , GHANI M USMAN , WANG JIAN , LORELLI JEFFREY E , SOULET AXEL , COLIN CHRISTOPHE , INMAN RONALD S
IPC分类号： B01F3/08 , B01F5/00 , B01F5/04 , B01F5/06 , B01F13/10
CPC分类号： B01F3/0865 , B01F5/0057 , B01F5/045 , B01F5/0463 , B01F5/0609 , B01F5/0682 , B01F5/0688 , B01F13/1013 , B01F13/1027 , B01F15/00136 , B01F15/0022 , B01F15/00285 , B01F2215/0096 , H01L21/6704
摘要： Methods and fluid delivery systems mix fluids together. A blender of the system receives and blends at least two chemical compounds together for delivery to one or more vessels, tanks or process tools, such as chemical baths that facilitate processing (e.g., cleaning) of semiconductor wafers or other components. A first fluid enters into a bore of a mixing chamber of the blender through an aperture in a wall of the chamber to enable blending of the first fluid with a second fluid injected into a central region of the bore.
摘要翻译：方法和流体输送系统将液体混合在一起。该系统的混合器将至少两种化合物混合在一起，将其输送到一个或多个容器，罐或加工工具，例如促进半导体晶片或其它组件的处理（例如，清洁）的化学浴池。第一流体通过室的壁中的孔进入混合器的混合室的孔中，以使第一流体与注入孔的中心区域的第二流体相混合。

9. 发明申请

WO2008008465A3 VALVE MANIFOLD ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：阀门组件
公开(公告)号：WO2008008465A3
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：PCT/US2007015940
申请日：2007-07-13
申请人： ENTEGRIS INC , LEYS JOHN A
发明人： LEYS JOHN A
IPC分类号： F16K11/20 , F16K1/06
CPC分类号： F16K27/003 , B01F5/0077 , B01F15/0429 , B01F2215/0096 , F16K11/20 , F16K31/1264 , Y10T137/87249 , Y10T137/8766 , Y10T137/87684
摘要： A valve manifold assembly including a manifold body defining a primary flow passage and a secondary flow passage fluidly coupled therewith through an aperture in the wall of the primary flow passage. A valve including a head portion and a stem extending therefrom is disposed through the aperture. The head portion has a valve sealing surface adjacent and extending around the stem, and a valve seat having a seat sealing surface facing into the primary flow passage extends around the aperture. The valve is selectively shiftable between a closed position wherein the valve sealing surface is sealingly engaged with the seat sealing surface to block fluid flow between the secondary flow passage and the primary flow passage, and an open position wherein the valve sealing surface is spaced apart from the seat sealing surface to enable fluid flow between the secondary flow passage and the primary flow passage.
摘要翻译：阀歧管组件包括歧管主体，所述歧管主体限定主流动通路和通过主流动通路的壁中的孔与其流体耦合的次流动通路。包括头部和从其延伸的杆的阀门穿过该孔布置。头部具有与阀杆相邻并围绕阀杆延伸的阀密封表面，并且具有面向主流通道的阀座密封表面的阀座围绕孔延伸。阀可选择性地在阀密封表面与座密封表面密封接合的闭合位置和阻断流体在次流动通道和主流动通道之间流动的打开位置和阀密封表面与该座密封表面使流体能够在二次流动通道和一次流动通道之间流动。

10. 发明申请

WO02068127A8 MANIFOLDED FLUID DELIVERY SYSTEM 审中-公开
标题翻译：流体输送系统
公开(公告)号：WO02068127A8
公开(公告)日：2003-02-27
申请号：PCT/US0206302
申请日：2002-02-28
申请人： PORTER INSTR COMPANY INC , PORTER GEORGE K , WOLF SETH B , ALBRECHT CHARLES W
发明人： PORTER GEORGE K , WOLF SETH B , ALBRECHT CHARLES W
IPC分类号： B05B7/04 , B01F3/02 , B01F3/04 , B01F5/04 , B05B7/24 , C23C16/448 , F16K27/00 , F22B27/14 , F22B27/16 , G05D7/06 , H01L21/205 , F15B13/00
CPC分类号： F22B27/16 , B01F3/022 , B01F3/04049 , B01F5/0413 , B01F2215/0096 , B67D2210/0006 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , F16K27/003 , F22B27/14 , Y10T137/87885
摘要： An integrated fluid delivery system (IFDS) (15) is provided for delivering fluid streams such as high purity fluid streams to a processing destination, such as a wafer processing chamber. The delivery system includes a first modular manifold for internally channeling the high purity fluid streams along seamless slots (18). The first modular manifold receives each of the high purity fluid streams at a corresponding porting aperture (30). At least one fluid device (12) from a group consisting of a flow controller, a valve, a filter and a pressure transducer is provided. The at least one fluid device (12) is in fluidic communication with a corresponding one of the high purity liquid streams of the first modular manifold to dispense the high purity fluid streams from the integrated liquid delivery system to the wafer processing chamber.
摘要翻译：提供了一种集成流体输送系统（IFDS）（15），用于将诸如高纯度流体流的流体流输送到诸如晶片处理室的处理目的地。输送系统包括第一模块歧管，用于沿着无缝槽（18）内部引导高纯度流体流。第一模块化歧管在相应的移动孔（30）处接收每个高纯度流体流。提供了由流量控制器，阀，过滤器和压力传感器组成的组中的至少一个流体装置（12）。至少一个流体装置（12）与第一模块歧管的相应的一个高纯度液体流流体连通，以将高纯度流体流从集成液体输送系统分配到晶片处理室。

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