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    • 2. 发明申请
    • 라인 빔 형성 장치
    • 线束形成装置
    • WO2016199971A1
    • 2016-12-15
    • PCT/KR2015/006268
    • 2015-06-19
    • 주식회사 필옵틱스
    • 문진배김혜정류상길
    • H01S3/081
    • G02B27/0977G02B27/0983H01S3/005H01S3/0057H01S5/4012
    • 복수의 미러로 구성된 단일 미러 세트를 이용하여 레이저 빔의 진행 방향(z축)에 대해 직각인 제1 방향(y축)으로 빔을 일정 크기의 조각 빔으로 분할하고 상기 레이저 빔의 진행 방향(z축)에 대해 직각인 제2 방향(x축)으로 상기 조각 빔들을 일정 간격으로 배열하여 출사할 수 있도록 구성한 라인 빔 형성 장치가 제공된다. 본 발명의 라인 빔 형성 장치는 멀티-모드 레이저 빔으로서 빔 퍼짐성(beam divergence)이 높은 엑시머 레이저나 고출력 DPSS 레이저, 또는 레이저 다이오드에 활용될 수 있고, 빔이 꽉 집광되어 고밀도 에너지를 얻을 수 있고, 장축과 단축 모두에 있어서 강도가 균일한 빔 프로파일을 얻을 수 있으며, 입사 빔의 성질에 영향을 받지 않고 복수의 레이저 빔의 결합이 가능하다.
    • 提供了一种线束形成装置,其被配置为:使用包括多个的单个反射镜组,将光束分成与激光束的行进方向(z轴)垂直的第一方向(y轴)具有预定尺寸的光束段 的镜子 并且在垂直于激光束的行进方向(z轴)的第二方向(x轴)上以规则的间隔布置和发射光束段。 本发明的线束形成装置可以应用于激光二极管,高输出DPSS激光器或具有高光束发散度的准分子激光器作为多模激光束; 由于其中密集集中的光束获得高密度能量; 获得在长轴和短轴上强度相等的梁轮廓; 并且组合多个激光束,而与入射光束的性质无关。