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    • 7. 发明申请
    • OPTISCHES SYSTEM ZUR STRAHLFORMUNG
    • 光学系统,光束整形
    • WO2016079062A1
    • 2016-05-26
    • PCT/EP2015/076707
    • 2015-11-16
    • TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
    • FLAMM, DanielGROSSMANN, DanielKAISER, MyriamKLEINER, JonasKUMKAR, Malte
    • G02B27/09B23K26/064
    • B23K26/064B23K26/0057B23K26/53B23K2203/54G02B5/1871G02B27/0927G02B27/0944
    • Ein optisches System (1) zur Strahlformung eines Laserstrahls (3) für die Bearbeitung eines insbesondere transparenten Materials (9) durch Modifizieren des Materials (9) in einer in Propagationsrichtung (5) langgezogenen Fokuszone (7) weist ein Strahlformungselement (31) auf, das dazu ausgebildet ist, den Laserstrahl (3) mit einem transversalen Eingangsintensitätsprofil (41) aufzunehmen und dem Laserstrahl (3) einen strahlformenden Phasenverlauf (43) über das transversale Eingangsintensitätsprofil (31) aufzuprägen. Das optische System (1) weist ferner eine Nahfeldoptik (33B) auf, die strahlabwärts mit einem Strahlformungsabstand (Dp) zum Strahlformungselement (31) angeordnet ist und die dazu ausgebildet ist, den Laserstrahl (3) in die Fokuszone (7) zu fokussieren, wobei der aufgeprägte Phasenverlauf (43) derart ist, dass dem Laserstrahl (3) ein virtuelles, vor dem Strahlformungselement (31) liegendes optisches Bild (53) der langgezogenen Fokuszone (7) zugeordnet ist. Des Weiteren entspricht der Strahlformungsabstand (Dp) einer Propagationslänge des Laserstrahls (3), in der der aufgeprägte Phasenverlauf (43) das transversale Eingangsintensitätsprofil (41) in ein transversales Ausgangsintensitätsprofil (51) an der Nahfeldoptik (33B) überführt, welches im Vergleich mit dem Eingangsintensitätsprofil (41) ein außerhalb einer Strahlachse (45) liegendes lokales Maximum (49) aufweist.
    • 的光学系统(1),用于将激光束(3),用于特定的透明材料(9)的处理的光束整形通过在传播方向在改变材料(9)(5)的细长聚焦区(7)包括一个光束整形元件(31), 其适于有横向强度分布输入(41)和激光束接收的激光束(3)(3)具有波束形成相位响应(43)上施加横向强度分布输入端(31)。 所述光学系统(1)还包括近场光学(33B),其是与从光束整形元件被设置,其适于将激光束(3)聚焦在聚焦区(7)的光束成形距离(DP)(31)向下辐射, 其中,所述压花相位曲线(43)是这样的,所述激光束(3)位于一个虚拟的,在光束成形元件(31)的前面是细长聚焦区的相关的光学图像(53)(7)。 此外所对应在上的激光束(3)的传播长度,其中,所述压印相位曲线(43)的波束成形距离(DP)的近场光学(33B)的横向输出强度分布(51)转移到所述横向输入的强度分布(41),其在与比较 输入强度轮廓(41)具有一个光轴(45)位于局部最大值(49)的外部。