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    • 4. 发明申请
    • PROCEDE ET SYSTEME DE TEST OU DE MESURE D'ELEMENTS ELECTRIQUES, AU MOYEN DE DEUX IMPULSIONS DECALEES
    • 使用两个偏移脉冲测试或测量电气元件的方法和系统
    • WO2006082293A1
    • 2006-08-10
    • PCT/FR2006/000154
    • 2006-01-24
    • BEAMINDVAUCHER, ChristopheBENECH, Pierre
    • VAUCHER, ChristopheBENECH, Pierre
    • G01R31/308G01R31/305
    • G01R31/305G01R31/307G01R31/308G01R31/311
    • L'invention concerne un procédé de test d'éléments électriques (2-1) comprenant des étapes consistant à appliquer un premier faisceau de particules (4-1) à un premier emplacement (3- 1) d'un élément électrique, pour libérer des électrons du premier emplacement, appliquer un second faisceau de particules (4-2) à un second emplacement (3-2) d'un élément électrique, avec un décalage temporel (Δt) non nul relativement à l'application du premier faisceau de particules (4-1) , pour libérer des électrons du second emplacement, collecter des électrons libérés sous l'effet des premier et second faisceaux de particules, et mesurer au moins une quantité de charges électriques correspondant à la collecte des électrons libérés sous l'effet du second faisceau de particules, et en déduire quantitativement ou qualitativement une caractéristique électrique de l'élément électrique.
    • 本发明涉及一种用于测试电气元件(2-1)的方法,包括以下步骤:将第一光束(4-1)施加到电气元件的第一位置(3-1),以将电子从 第一位置,将第二个粒子束(4-2)施加到电气元件的第二位置(3-2),相对于第一个粒子束的时间偏移(Δt)不为零 (4-1),以释放所述第二位置的电子,收集在所述第一和第二粒子束的作用下释放的电子,并且测量与在所述第一和第二粒子的作用下释放的电子的集合相对应的至少一个量的电荷 第二个颗粒束,并从中量化或定性地推导出电气元件的一个电特性。