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1. 发明申请

WO2012059365A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HALTERN UND KONTAKTIEREN VON WAFERN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR持有人及联系WAFERS
公开(公告)号：WO2012059365A1
公开(公告)日：2012-05-10
申请号：PCT/EP2011/068646
申请日：2011-10-25
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , HEINE, Wolfgang , RENNER, Martin
发明人： GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , HEINE, Wolfgang , RENNER, Martin
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , G01R31/28
CPC分类号： H01L21/68728 , G01R31/2886 , H01L21/6838
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Haltern und Kontaktieren eines Wafers mit einem Trägerelement, welches dazu ausgelegt ist, auf einer Hauptoberfläche einen Wafer zu haltern und mindestens einem ersten Klammerelement, welches an dem Trägerelement beweglich angebracht ist und welches dazu ausgelegt ist, einen auf dem Trägerelement gehalterten Wafer zu kontaktieren, wobei das erste Klammerelement dazu ausgelegt ist, eine elektrische Verbindung zwischen einem Messpotential und dem auf dem Trägerelement gehalterten Wafer herzustellen.
摘要翻译：本发明涉及支撑晶片和上至少可移动地附接到所述支撑构件，并且其适于一个到设备用于保持和接触的晶片具有适于在一个主表面的载体元件的第一支架件保持晶片以接触载体元件，所述第一夹紧构件适于建立测量电势以及在支承元件上的支撑的晶片之间的电连接。

2. 发明申请

WO2005067365A2 BELEUCHTUNGSEINHEIT UND VERFAHREN ZU DEREN BETRIEB 审中-公开
标题翻译：照明单元及其操作方法
公开(公告)号：WO2005067365A2
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/EP2005/000554
申请日：2005-01-17
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ICOS VISION SYSTEMS N.V. , GERHARD, Detlef , RENNER, Martin
发明人： GERHARD, Detlef , RENNER, Martin
IPC分类号： F21V8/00 , G02B6/42
CPC分类号： G02B6/0006 , G02B6/4296 , G02B6/4298
摘要： Beleuchtungseinheit mit einer Hochleistungs-Lichtquelle (1), einer ersten Optik (12) zur Fokussierung des von der Hochleistungs-Lichtquelle (1) ausgesandten Lichts, einem Lichtmesskopf (8) zur vorgebbaren Beleuchtung eines Objektes (3), einem Lichtleiter (2) zur Übertragung des ausgesandten und fokussierten Lichts zum Lichtmesskopf (8), einer Verschiebeeinheit (6) zur Variation des axialen Abstands der Hochleistungs-Lichtquelle (1) mit erster Optik (12) vom Lichtleiter eintritt, wobei die Querschnittsfläche des Fokus minimal doppelt so gross ist wie die Querschnittsfläche des Lichtleiters (2) an der Lichteintrittsseite und durch axiale Verschiebung der Hochleistungs-Lichtquelle (1) die Intensität des in den Lichtleiter (2) eingekoppelten Lichts variierbar ist.
摘要翻译：照明单元具有高功率的光源（1），第一光学系统（12），用于聚焦所述高功率的光源（1）发射的光，光测量头（8），用于预先确定的照射物体（3），光导（2），用于进入发射并聚焦的光到光测量头（8），一个移位单元（6）的发送用于改变所述高功率光源的轴向间距（1）具有从导光体，其中，所述聚焦的横截面面积最小的两倍一样大第一光学元件（12）通过高功率光源的轴向位移的光导（2）在光入射侧和横截面面积（1）光导（2）的强度被注入光可变。

3. 发明申请

WO2004056678A3 GREIFER UND BETRIEBSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2004056678A3
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/DE2003/003987
申请日：2003-12-04
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RENNER, Martin
发明人： GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RENNER, Martin
IPC分类号： H01L21/68
摘要： Die Erfindung betrifft einen Greifer für die Handhabung von mit einer Folie (3) bespannten Rahmen (2), wobei auf der Folie Wafer (6) transportiert werden sollen. Der Greifer weist mindestens zwei flache Finger (10) auf, die abgeflachte Fingerspitzen (8) tragen. Durch diese Konstruktion ist ein problemloses Einfädeln des Greifers zwischen zwei in einer Kassette (9) gelagerten Rahmen (2) möglich. Die Finger (10) unterstützen in Teilbereichen sowohl den Rahmen (2) als auch die Folie (3). Eine Fixierung des Rahmens auf dem Greifer geschieht durch Ansaugen der Folie mittels auf dem Rahmen ausgebildeter Unterdrucköffnungen (5).

4. 发明申请

WO2002091661A1 VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINER REFERENZTAKTPHASE AUS BANDBEGRENZTEN DIGITALEN DATENSTRÖMEN 审中-公开
标题翻译：一种用于确定参考时钟淘汰限带数字数据流
公开(公告)号：WO2002091661A1
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/EP2002/005105
申请日：2002-05-08
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , DUDA, Thomas , HINZ, Torsten , RENNER, Martin
发明人： DUDA, Thomas , HINZ, Torsten , RENNER, Martin
IPC分类号： H04L7/033
CPC分类号： H04L7/033
摘要： Die Erfindung behandelt ein Verfahren zum Wiedergewinnen eines digitalen Datenstroms (301), bei welchem eine Referenztaktphase (308) aus dem digitalen Datenstrom (301) wiedergewonnen wird. Der digitalen Datenstrom (301) wird in einem Datenstromempfänger (302) empfangen und in einer Tiefpassfiltereinrichtung (303) tiefpassgefiltert. In einer Flankenpositionserfassungseinrichtung (304) wird ein Flankenpositionssignal (309) durch einen Vergleich einer Amplitude des tiefpassgefilterten Datenstroms (305) mit einem vorgebbaren Schwellwert (108) bestimmt. In einer Phasenkorretureinrichtung (307) wird eine Phasenabweichung (111a) aus einer zeitlichen Differenz zwischen einem 0/1-Schwellwertschnittpunkt (109) des Schwellwertes (108) mit einem 0/1-Datenübergang (101) oder einem -1/1-Schwellwertschnittpunktes (110) des Schwellwertes (108) mit einem -1/1-Datenübergang (102) und dem Zielzeitpunkt der Regelung (310) bestimmt, so dass die Phasenabweichung (111a) mit dem Phasenkorrekturoffset (111b) in der Phasenkorrektureinrichtung (307) korrigierbar ist. Phasenkorrektureinrichtung (307) korrigierbar ist.
摘要翻译：本发明涉及用于恢复的数字数据流（301）的方法，其中，从所述数字数据流（301）的基准时钟相位（308）被回收。数字数据流（301）中的数据流接收器（302），并在低通滤波器装置（303）的低通滤波被接收。在边缘位置检测装置（304）由低通滤波的数据流（305）的振幅与规定的阈值（108）比较的边缘位置信号（309）被确定。在一个Phasenkorretureinrichtung（307）是从之间的时间差的相位偏差（111A）（0/1-Schwellwertschnittpunkt（109）配有一个0/1的数据转换（101）或一个-1 / 1-Schwellwertschnittpunktes阈值（108）确定110）与-1/1数据转换（102）和控制（310）的对象的时刻的阈值（108），从而使相位偏差（111A）与在相位校正装置（307）的相位校正偏移（111B）进行校正。相位校正装置（307）是可校正的。

5. 发明申请

WO2008101698A1 MAGNETGEKUPPELTE KREISELPUMPE FÜR KORROSIVE MEDIEN 审中-公开
标题翻译：磁旋转泵适用于腐蚀性介质
公开(公告)号：WO2008101698A1
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/EP2008/001361
申请日：2008-02-21
申请人： RENNER GMBH , RENNER, Wolfgang , RENNER, Martin
发明人： RENNER, Wolfgang , RENNER, Martin
IPC分类号： F04D7/06 , F04D13/02 , F04D29/049
CPC分类号： F04D7/06 , F04D13/026 , F04D13/0626 , F04D13/0633 , F04D29/0465 , F04D29/049
摘要： Beschrieben wird eine magnetgekuppelte Kreiselpumpe zum Pumpen eines fluiden Mediums, mit einem Gehäuse (1), in welchem ein Spalttopf (3), welcher einen Boden (4), einen Mantel (5) und einen zwischen zwei Teilen (2, 7) des Gehäuses (1) eingespannten Flansch (6) hat, einen von dem Medium durchströmten Pumpenraum (8) von einem an seinem Umfang Permanentmagnete (11) tragenden treibenden Läufer (10) trennt, welcher von einem Motor (27) angetrieben ist, mit einer in den Pumpenraum (8) mündenden Ansaugöffnung (25) und mit einer aus dem Pumpenraum (8) herausführenden Auslassöffnung (26), mit einem im Pumpenraum (8) angeordneten Laufrad (22), welches drehfest mit einer Nabe (13) verbunden ist, welche mittels eines oder mehrerer keramischer Wälzlager (15, 16) auf einer Achse (14) gelagert ist und Permanentmagnete (12) trägt, denen die Permanentmagnete (11) des treibenden Läufers (10) gegenüberliegen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die keramischen Wälzlager (15, 16) und die in der Nabe (13) vorgesehenen Permanentmagnete (12) in dem Spalttopf (3) angeordnet sind, wohingegen das Laufrad (22) außerhalb des Spalttopfes (3) im Pumpenräum (8) angeordnet ist und die Permanentmagnete (11) des treibenden Läufers (10) in einem den Mantel (5) des Spalttopfes (3) wenigstens teilweise umgebenden Abschnitt des treibenden Läufers (10) angeordnet sind, und wenigstens die im Pumpenraum (8) mit dem Medium in Berührung kommenden Oberflächen nicht metallisch sind.
摘要翻译：描述了一种磁耦合离心泵泵送流体介质，包括：壳体（1），其中，间隙罐（3）具有底部（4），一个外套（5）和两个部分之间（2,7）的壳体的（1）夹持凸缘（6）具有流过由（8）驱动转子（10）在其圆周上的永磁体（11）由一传送的介质泵室分隔它们被驱动，其通过与在电动机（27）泵室（8）打开吸入口（25）和从所述泵室与引出（8）出口开口（26），布置在具有泵室，其可旋转地，其通过被连接到轮毂（13）（8）的叶轮（22）一个或多个陶瓷滚动轴承（15，16）的被安装在轴（14）和永久磁体（12），其位于所述驱动转子（10）的永久磁体（11）的对面。根据本发明，所述陶瓷滚动轴承（15，16）和在所述轮毂提供（13）的永久磁铁（12）被布置在该间隙中锅（3），而所述罐（3）（Pumpenräum的叶轮（22）的外部 8）设置，并在驱动旋转体（10）的永久磁体（11）一个壳体（5）的间隙锅（3）与从动转子（10）的至少部分周边部设置，和至少一部分（在泵室8）该介质是进入接触非金属表面。

6. 发明申请

WO2002093852A3 VERFAHREN ZUR REKONSTRUKTION VON MIT EINER SYMBOLRATE GETAKTETEN DATEN AUS EINEM ANALOGEN, VERZERRTEN SIGNAL 审中-公开
公开(公告)号：WO2002093852A3
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：PCT/EP2002/005106
申请日：2002-05-08
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , DUDA, Thomas , GAZSI, Lajos , GREGORIUS, Peter , HINZ, Torsten , RENNER, Martin
发明人： DUDA, Thomas , GAZSI, Lajos , GREGORIUS, Peter , HINZ, Torsten , RENNER, Martin
IPC分类号： H04L25/02
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Rekonstruktion von mit einer Symbolrate getakteten Daten aus einem Signal, das durch Übertragung über eine Übertragungsstrecke verzerrt wurde, wobei das erfindungsgemäße Verfahren bzw. die Vorrichtung überwiegend mittels digitaler Schaltungstechnik durchgeführt wird bzw. realisiert ist, um die Qualität der Datenrückgewinnung zu verbessern. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst das Verstärken der durch die Übertragung gedämpften Signalamplitude; Filtern hochfrequenter Störfrequenzen oberhalb der Symbolrate; Diskretisieren des analogen Signals mittels eines Analog/Digital-Wandlers (3); Durchführen einer Kabelapproximation mittels eines digital realisierten Kabelapproximationsfilters (7), um ein entzerrtes Signal zu erhalten; und das Rückgewinnen der Daten aus dem entzerrten Signal mittels eines Phasenregelkreises (20).

7. 发明申请

WO2014202315A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ANHEBEN VON OBJEKTEN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR起重物的
公开(公告)号：WO2014202315A1
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：PCT/EP2014/060387
申请日：2014-05-21
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： GERHARD, Detlef , RENNER, Martin
IPC分类号： H02N2/04
CPC分类号： H02N2/043 , H02N2/02
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bewegen eines Objektes in einer vertikalen Richtung, aufweisend eine Mehrzahl von bei einer Aktivierung in Richtung und sich ausdehnenden und dabei an einer Wirkseite Druckkräfte erzeugenden Piezoaktoren (1) und eine hydraulische Übersetzungseinrichtung (3) die die Druckkräfte der Piezoaktoren in eine vertikale Druckkraft zum Bewegen des Objektes entgegen der Schwerkraftrichtung wandelt und mit einem Übersetzungsverhältnis übersetzt. Ein Anheben des Objektes erfolgt nachdem die vertikale Druckkraft eine entgegenwirkende Federkraft eines Federsystems überschritten hat.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于在垂直方向上移动的物体，在方向包括多个，在活化和扩大，从而在动作侧压力的力的压电致动器产生的方法（1）和一传动装置（3）的推动压电致动器的力用于移动该对象，相反于重力方向，并通过一个传动比转换转换的垂直压力。所述垂直压力的力超过了弹簧系统的反作用弹簧力之后执行对象的认识。

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