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1. 发明申请

WO2002073176A3 SENSOR ZUR DETEKTION VON GASEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2002073176A3
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：PCT/DE2002/000799
申请日：2002-03-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAUER, Michael , SIMON, Isolde , KRUMMEL, Christian
发明人： BAUER, Michael , SIMON, Isolde , KRUMMEL, Christian
IPC分类号： G01N33/00
摘要： Es wird ein Sensor zur Detektion von Gasen vorgeschlagen, bei dem eine Signalbewertung (23) ein Ausgangssignal (24) abgibt, bei dem ein vorgegebener Gewichtungsfaktor von wenigstens zwei Gasarten eingestellt ist, mit denen das Sensorelement (16) beaufschlagt ist. Vorgesehen ist eine Sensorheizung (15), die eine Temperaturänderung (Temp1, Temp2) des Sensorelements (16) in einem ersten Zeitintervall (I1) vornimmt, das kürzer ist als die Zeit, die das Sensorelement (16) zur Einstellung eines chemischen Gleichgewichts benötigt, wobei das Sensorelement (16) wenigstens näherungsweise im thermischen Gleichgewicht ist. Die Signalbewertung (23) bewertet den Zeitlichen Sensorsignalverlauf nach der Temperaturänderung (Temp1, Temp2), wobei das Sensorsignal (S) zumindest teilweise in einem zweiten Zeitintervall (I2) liegt, in welchem das chemische Gleichgewicht des Sensorelements (16) nicht vorliegt.

2. 发明申请

WO2003027654A2 SENSORBAUSTEIN MIT EINEM SENSORELEMENT, DAS VON EINEM HEIZELEMENT UMGEBEN IST 审中-公开
标题翻译：有传感器元件传感器模块，周围是由加热器
公开(公告)号：WO2003027654A2
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/003129
申请日：2002-08-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BAUER, Michael , SIMON, Isolde , ARNDT, Michael
发明人： BAUER, Michael , SIMON, Isolde , ARNDT, Michael
IPC分类号： G01N25/18
CPC分类号： G01N27/18
摘要： Es wird ein Sensorbaustein beschrieben, der eine Heizstruktur und ein Sensorelement aufweist. Die Heizstruktur umgibt das Sensorelement, so dass das Sensorelement weitgehend von einem Wärmeabfluss über einen Rahmen entkoppelt ist. Damit wird eine grössere Messgenauigkeit des Sensorbausteins erreicht. Insbesondere werden störende Einflüsse durch einen Temperaturabfluss über den Halterahmen vermieden.
摘要翻译：将描述的传感器装置，其具有加热结构，和一个传感器元件。加热结构围绕所述传感元件，使得传感器元件基本上由在一帧的热流解耦。因此，传感器模块的更高的精确度得以实现。特别的干扰影响的条件由温度流出在保持框避免。

3. 发明申请

WO2003026932A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERKENNEN EINES SEITENAUFPRALLS AN EINEM KRAFTFAHRZEUG 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用于识别机动车辆的侧面碰撞
公开(公告)号：WO2003026932A1
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/002792
申请日：2002-07-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KOCHER, Pascal , SIMON, Isolde , ARNDT, Michael , RECKNAGEL, Rolf-Juergen , AIDAM, Rolf
发明人： KOCHER, Pascal , SIMON, Isolde , ARNDT, Michael , RECKNAGEL, Rolf-Juergen , AIDAM, Rolf
IPC分类号： B60R21/01
CPC分类号： B60R21/0136 , B60R2021/0006
摘要： Um eine genaue Erkennung eines Seitenaufpralls zu gewährleistenund weiterhin die Funktionsfähigkeit der Vorrichtung bzw. des Verfahrens zu gewährleisten, wird eine Vorrichtung vorgeschlagen mit einem in einem abgeschlossenen Luftvolumen eines Turinnenraums vorgesehenen Temperatursensor (6), einer in dem abgeschlossenen Luftvolumen vorgesehenen Heizeinrichtung (4, 14, 21, 22), und einer Messeinrichtung (15) zur Aufnahme und Konditionierung eines Messsignals des Temperatursensors (6) und Ausgabe eines Temperatursignals, einem Heizgenerator (17) zum Ansteuern der Heizeinrichtung (4), und einer Auswerte- und Steuereinrichtung (16) zur Aufnahme des Temperatursignals der Messeinrichtung (15) und Ansteuerung des Heizgenerators (17).
摘要翻译：为了确保侧面碰撞精确的检测，并进一步确保该装置或方法的可操作性，提出一种装置，在一个Turinnenraums温度传感器（6），在空气加热装置（4，14的封闭容积设置的开口部的封闭的空气容积的预见，21，用于驱动加热器（4）接收和调理温度传感器（6）的测量信号，并输出温度信号，热发生器（17），以及评估和控制装置22），以及一个测量装置（15）（16）用于接收所述测量装置（15）的温度信号并驱动Heizgenerators（17）。

4. 发明申请

WO2002095344A1 TEMPERATURSENSOR 审中-公开
标题翻译：温度传感器
公开(公告)号：WO2002095344A1
公开(公告)日：2002-11-28
申请号：PCT/DE2002/001756
申请日：2002-05-16
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SIMON, Isolde , ARNDT, Michael
发明人： SIMON, Isolde , ARNDT, Michael
IPC分类号： G01K3/10
CPC分类号： G01K3/10 , G01K7/186
摘要： Es wird ein Temperatursensor vorgeschlagen, bei dem mehrere Widerstände, die zur Temperatursensierung verwendet werden, mit unterschiedlichen Zeitkonstanten in einer Schaltung miteinander verdrahtet sind. Es wird dabei vorzugsweise eine Wheatstone-Brücke verwendet, bei der aufgrund der unterschiedlichen Zeitkonstanten bei einem schnellen Temperaturanstieg es zu einer Verstimmung der Brücke kommt und somit ein schneller Temperaturanstieg insbesondere zur Seitenaufprallsensierung leicht aus den Messsignalen herausgefiltert werden kann.
摘要翻译：公开的是，其中多个电阻器，其用于Temperatursensierung的布线彼此在电路不同的时间常数的温度传感器。优选使用惠斯通电桥，其中它是由于在温度迅速上升到桥的失谐的不同的时间常数，因此在特定的温度的急剧上升为侧可以容易地过滤掉所述测量信号。

5. 发明申请

WO2004027406A1 SENSOR UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：传感器和方法
公开(公告)号：WO2004027406A1
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：PCT/DE2003/000632
申请日：2003-02-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SIMON, Isolde
发明人： SIMON, Isolde
IPC分类号： G01N27/18
CPC分类号： G01N27/18 , G01N25/18
摘要： Es wird eine Sensoranordnung mit einer ersten Wärmequelle (36a) und mit einer zweiten Wärmequelle (36b) vorgeschlagen, wobei deren Wärmekopplungen an ein Medium jeweils unterschiedlich gross vorgesehen sind.
摘要翻译：所以建议与第一热源（36A）和与第二热源（36B），其中所述热联接器提供不同大小的介质上的传感器装置。

6. 发明申请

WO2004005942A1 THERMISCHER BESCHLEUNIGUNGS-ODER STOSS-SENSOR MIT EINER HEIZEINRICHTUNG UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：热加速或碰撞传感器，具有加热装置和方法
公开(公告)号：WO2004005942A1
公开(公告)日：2004-01-15
申请号：PCT/DE2003/000502
申请日：2003-02-19
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ARNDT, Michael , SIMON, Isolde , JAKOBY, Bernhard
发明人： ARNDT, Michael , SIMON, Isolde , JAKOBY, Bernhard
IPC分类号： G01P15/12
CPC分类号： G01P15/12 , B60R21/013 , G01P15/008 , G01P15/18
摘要： Es wird ein thermischer Sensor (1) und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei der Sensor der Messung der Bewegung eines Fluids relativ zu einer Heizeinrichtung (30), speziell rue Bestimmung von Beschleunigung oder Stoßereignissen, dient, wobei Temperaturmessmittel (30, 31) derart vorgesehen sind, in Abhängigkeit der Bewegung des Fluids die Temperatur des Fluids an einem Messort zu messen, wobei als Messort der Ort der Heizeinrichtung oder in ihrer umnittelbaren Nähe vorgesehen ist. Durch Überwachung der Temperatur des Heizelementes ist ein einfacher Aufbau möglich. Mehrdimensionale Messungen sind ebenfalls möglich. Die Heizleistung kann abhängig von der Umgebungstemperatur variiert werden.
摘要翻译：它提出了一种热传感器（1），并且其中所述传感器测量流体相对于加热装置（30），尤其是芸香加速度或冲击事件确定的运动中使用的方法，所述温度测量装置（30，31）以这样的方式被设置 ,,被提供作为测定部位的加热器的或在其附近umnittelbaren位置响应于所述流体，所述流体的在测量位置处的温度的运动来测量。通过监测所述加热元件的温度，以简单的结构是可能的。多维测量也是可能的。加热功率可以根据环境温度而变化。

7. 发明申请

WO2017148715A1 MIKROMECHANISCHE SENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机电传感器装置及其相应的制造方法
公开(公告)号：WO2017148715A1
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：PCT/EP2017/053656
申请日：2017-02-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： WEBER, Heribert , SIMON, Isolde , FREY, Tobias Sebastian , DELHEUSY, Melissa , KNAUSS, Michael
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N27/128 , G01N27/123
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Sensorsubstrat (MC) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS) und einer Rückseitenkaverne (K); wobei auf der Vorderseite (VS) ein im Wesentlichen geschlossener Membranbereich (M) ausgebildet ist, der oberhalb der Rückseitenkaverne (K) des Sensorsubstrats (MC) angeordnet ist; einem im oder auf dem Membranbereich (M) angeordneten Sensorbereich (SB); und einer im oder auf dem Membranbereich (M) angeordneten Heizeinrichtung (HE) zum Beheizen des Sensorbereichs (SB); wobei der Membranbereich (M) ein oder mehrere Druckausgleichlöcher (L1–L6; L1–L4) für einen Druckausgleich der Rückseitenkaverne (K) aufweist.
摘要翻译：本发明提供了一种微机械传感器装置及相应的生产方法。该微机械传感器装置配备有具有前侧（VS）和后侧（RS）和后侧穴室（K）的传感器基板（MC）; 其中在所述前侧（VS）上形成基本封闭的薄膜区域（M），所述薄膜区域（M）布置在所述传感器基板（MC）的所述背侧穴室（K）上方; 布置在所述膜区域（M）中或上的传感器区域（SB）; 和布置在膜区域（M）中或膜区域（M）上用于加热传感器区域（SB）的加热装置（HE）; 其中膜区域（M）具有用于背侧穴室（K）的压力平衡的一个或多个压力平衡孔（L1-L6; L1-L4）。

8. 发明申请

WO2018234144A1 BONDPADSCHICHTSYSTEM, GASSENSOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES GASSENSORS 审中-公开
公开(公告)号：WO2018234144A1
公开(公告)日：2018-12-27
申请号：PCT/EP2018/065780
申请日：2018-06-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： KNAUSS, Michael , NEDELMANN, Heinz , KLEIN, Bernd , KONDRASHOV, Vitaliy , BARAKI, Raschid , LAPISA, Martin , WEBER, Heribert , SCHEURLE, Andreas , SIMON, Isolde , DELHEUSY, Melissa
IPC分类号： B81C1/00 , H01L21/768 , H01L23/00 , H01L23/532 , B81B7/00
摘要： Die vorliegende Erfindung schafft ein Bondpadschichtsystem (1), einen Gassensor und ein Herstellungsverfahren für ein hochtemperaturstabiles Bondpadschichtsystem (1). Das Bondpadschichtsystem (1), wird auf einem Halbleiterchip als Basis, z.B. einem mikromechanischen Halbleiterchip (11) in welchem mindestens eine freitragende dielektrische Membran bestehend aus dielektrischen Schichten (13, 14), eine Platin-Leiterbahn (10) und ein Heizer (15) aus Platin integriert ist, abgeschieden. Dabei erfolgt zuerst die Abscheidung einer Tantal-Schicht (6), darauf die Abscheidung einer erste Platin-Schicht (5), darauf die Abscheidung einer Tantalnitrid-Schicht (4), darauf die Abscheidung einer zweiten Platin-Schicht (3), und darauf die Abscheidung eine Gold-Schicht (2), wobei in der Gold-Schicht (2) mindestens ein Bondpad (8) zur Verbindung mit einem Bonddraht (8a) ausgebildet ist. Das Bondpad (8) befindet sich dabei im Wesentlichen im Bereich eines Kontaktlochs (9) auf dem Halbleiterchip (11), in dem der Anschluss einer zum Heizer (15) führenden Platin-Leiterbahn (10) mit Hilfe eines Ringkontakts erfolgt und/oder außerhalb dieses Bereichs.

9. 发明申请

WO2018091412A1 GASSENSOR MIT EINEM HALBLEITERSUBSTRAT MIT MINDESTENS EINER ISOLATIONSSCHICHT UND EINER LEITERBAHN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018091412A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：PCT/EP2017/079061
申请日：2017-11-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： WEBER, Heribert , SIMON, Isolde , DELHEUSY, Melissa , KNAUSS, Michael
IPC分类号： G01N27/12 , H01L23/00
摘要： Es wird ein Gassensor mit einem Halbleitersubstrat (10) mit einem Schichtverbund mit mindestens einer Isolationsschicht (11, 12; beispielsweise Siliziumoxid) und mit mindestens einer weiteren Schicht (13, 25; beispielsweise Siliziumnitrid) und mit mindestens eine ein Kontaktpad (16) und eine elektrischen Kontaktierung (17) umfassende Kontaktanordnung zur Kontaktierung einer Leiterbahn (19; beispielsweise eine Ta/Pt-Leiterbahn) vorgeschlagen, wobei die Leiterbahn (19) direkt mit der weiteren Schicht (13, 25) verbunden ist, um eine sichere mechanische und elektrische Kontaktierung zu ermöglichen.

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