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1. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

2. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

3. 发明申请

WO2010046155A2 ELEKTROSTATISCHER ANTRIEB, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEB UND EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：静电驱动器，微机电组件及制造静电驱动器和微机电组件的方法
公开(公告)号：WO2010046155A2
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/060881
申请日：2009-08-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006 , Y10T29/49002
摘要： Die Erfindung betrifft einen elektrostatischer Antrieb mit einem Innenrahmen (16), mindestens einem den Innenrahmen umgebenden Zwischenrahmen (14), und einem den Innenrahmen (12) und den mindestens einen Zwischenrahmen (14) umgebenden Außenrahmen (12), wobei jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) von den Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14, 16) über mindestens ein Federelement (22, 24, 26) miteinander verbunden sind, wobei die Federelemente (22, 24, 26), über welche jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) der Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14,16) miteinander verbunden sind, so angeordnet sind, dass die Längsrichtungen der Federelemente (22, 24, 26) auf einer gemeinsamen Federlängsachse (28) liegen, und wobei direkt an parallel zu der Federlängsachse (28) ausgerichteten Rahmenbalken (12a,14a,16a) des Innenrahmens (16), des mindestens einen Zwischenrahmens (14) und des Außenrahmens (12) Elektrodenfinger angeordnet sind. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen elektrostatischen Antrieb. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：
本发明涉及具有内框架（16），至少一个围绕所述内框架中间框架（14）和所述内框架（12）和所述至少一个中间框架（14）周围的Au ROAD enrahmen的静电驱动（12），所述内层，中间和Au ROAD enrahmen的每两个相邻的帧（12，14，16）（12,14，16）上的至少一个弹簧元件（22，24，26）被连接到彼此其中，所述弹簧元件（22，24,26）在其每两个相邻的帧（12，14，16）大街内层，中间和Au＆; enrahmen（12，14,16）被连接到彼此，布置成是，所述L＆AUML;在共同Federl BEAR弹簧元件的ngsrichtungen（22，24，26）是纵向轴线（28），并且其中直接平行于Federl BEAR对准纵轴（28）框架梁（12A，14A，16A）内部框架（16），至少一个中间框架（14）和外部框架（12）Elektrodenfing 他被安排。本发明还涉及用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械构件（10）以及一种用于微机械构件（10）的制造方法，

4. 发明申请

WO2009141022A1 UMLENKEINRICHTUNG FÜR ELEKTROMAGNETISCHE STRAHLEN MIT MAGNETISCHEM ANTRIEB 审中-公开
标题翻译：偏转电磁辐射磁驱动
公开(公告)号：WO2009141022A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/EP2008/066806
申请日：2008-12-04
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , GRABMAIER, Florian , FRIESE, Christoph
发明人： KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , GRABMAIER, Florian , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/10 , H02K33/18
CPC分类号： G02B26/085 , G02B26/101 , G02B26/105 , H02K16/02 , H02K33/18
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Umlenkeinrichtung für elektromagnetische Strahlen, insbesondere Licht, mit wenigstens einem Reflektionselement (4,5) sowie einem ersten und einem zweiten gesonderten Antrieb eines Reflektionselementes zur Umlenkung eines Strahls, bei der durch eine magnetische Antriebseinrichtung mit einem Magneten (15) und mit Flussleitelementen (18, 19, 28, 29, 30, 31, 33, 36, 37, 39, 40, 42, 43, 44, 45, 49, 54, 55, 59, 60) die an wenigstens zwei räumlich getrennten Positionen einen ersten und einen zweiten Luftspalt (26, 32, 35, 38, 41) in unterschiedlich gerichteten Flussbereichen des magnetischen Flusses des Magneten (15) aufweisen in einfacher Weise unterschiedlich gerichtete Antriebskräfte erzeugt werden können.
摘要翻译：本发明涉及用于电磁辐射，特别是光的偏转装置，其具有至少一个反射元件（4,5）以及第一和第二独立的驱动的反射元件用于束的偏转，其中由磁驱动装置，包括一个磁体（15）和磁通传导元件（18，19，28，29，30，31，33，36，37，39，40，42，43，44，45，49，54，55，59，60）的空间上分离的至少两个定位在第一和在所述磁体（15）的磁通量的不同定向的流动面积的第二空气间隙（26，32，35，38，41）具有不同地定向驱动力可以被以简单的方式制造。

5. 发明申请

WO2009127275A2 ELEKTRODENKAMM, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTRODENKAMM UND FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：电极的梳，微机械结构和方法的电极的梳和微机械部件
公开(公告)号：WO2009127275A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/067690
申请日：2008-12-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/004 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , G02B26/0841 , H02N1/008
摘要： Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (52,54) für ein mikromechanisches Bauteil welcher so ausgebildet ist, dass mindestens zwei Elektrodenfinger (52a,54a) an einem ersten Ende an einem ersten Befestigungsteil (52b,54b) befestigt sind und an einem dem ersten Ende gegenüberliegenden zweiten Ende an einem zweiten Befestigungsteil (52b,54b) befestigt sind. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil mit einem Stator-Elektrodenkamm (54) und einem Aktor-Elektrodenkamm (52), zwischen denen eine Spannung (U) anlegbar ist, wobei, durch Anlegen der Spannung (U) zwischen dem Stator-Elektrodenkamm (54) und dem Aktor-Elektrodenkamm (52), der Aktor-Elektrodenkamm (52) um eine Drehachse (56) des Aktor-Elektrodenkamms (52) drehbar ist, und wobei die Drehachse (56) des Aktor-Elektrodenkamms (52) mindestens eine Oberfläche eines Elektrodenfingers (54a) des Stator-Elektrodenkamms (44,54) senkrecht durchsticht. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm (52,54) und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明涉及一种如此形成，使得至少两个电极指（52A，54A）在其第一端的第一附接部（52B，54B）被固定且相对的第一端部用于微机械部件的电极梳（52,54）第二端连接到第二附接部分（52B，54B）附连。此外，本发明涉及一种具有定子电极的梳（54）和致动器的电极的梳（52），在它们之间的电压（U）可应用于微机械部件，其特征在于，由（定子电极的梳54之间施加的电压（U））和致动器的电极的梳（52），致动器的电极的梳（52）（围绕致动器的电极的梳（52的旋转轴线56））是可旋转的，并且其中所述致动器的电极的梳（52）的至少一个表面的旋转（56）的轴线定子电极的梳（44,54）的电极指（54A）垂直地刺穿。此外，本发明涉及一种用于电极的梳（52,54）和用于微机械部件的制造方法的制造方法。

6. 发明申请

WO2009127273A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构和微机械结构
公开(公告)号：WO2009127273A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066715
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00007 , B81B2201/032 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/019 , B81C1/00142 , B81C2201/017
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) mit den Schritten: Bilden einer ersten Elektrodeneinheit (14) in einer ersten Stellung zu einem Grundsubstrat (16); Bilden eines Stützelements (22) mit einer ersten Untereinheit (23,28,30) mit einer ersten EigenSpannung und einer zweiten Untereinheit (23,28,30) mit einer von der ersten Eigenspannung abweichenden zweiten Eigenspannung, wobei das Stützelement (22) an einem ersten Ende an der ersten Elektrodeneinheit (14) und an einem zweiten Ende an dem Grundsubstrat (16) befestigt ist; und Biegen des Stützelements (22) aufgrund einer Differenz zwischen der ersten Eigenspannung und der zweiten Eigenspannung, wobei aufgrund des Biegens des Stützelements (22) die erste Elektrodeneinheit (14) aus der ersten Stellung zu dem Grundsubstrat (16) in eine zweite Stellung zu dem Grundsubstrat (16) verstellt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22）第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲基底基板（16）被调整。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

7. 发明申请

WO2023078684A1 RELAIS UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES RELAIS 审中-公开
公开(公告)号：WO2023078684A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/EP2022/079175
申请日：2022-10-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MOECK, Johannes Holger , LEWIS, Matthew , FARSHCHI YAZDI, Seyed Amir Fouad , REINMUTH, Jochen , BILL, David , KLEIN, Bernd , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael
IPC分类号： H01H59/00 , H01H1/00
摘要： Die Erfindung stellt ein Relais bereit, mit einem Gehäuse und einer mikroelektromechanischen, MEMS,-Komponente mit einem MEMS-Schalter, welcher zwischen zwei stabilen Zuständen schaltbar ist. Weiter umfasst das Relais eine anwendungsspezifische-integrierte-Schaltung, ASIC,-Komponente, welche zusammen mit der MEMS-Komponente in dem Gehäuse angeordnet ist. Die ASIC-Komponente ist dazu ausgebildet, den MEMS-Schalter zu steuern und/oder eine Funktionalität des MEMS-Schalters zu überwachen.

8. 发明申请

WO2012156175A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR NUTZUNG DER ABWÄRME EINER BRENNKRAFTMASCHINE 审中-公开
标题翻译：装置和方法用于内燃发动机使用废热
公开(公告)号：WO2012156175A2
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：PCT/EP2012/057256
申请日：2012-04-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , KRUEGER, Michael , REWERS, Gregory , EISENMENGER, Nadja , BRENK, Achim , SEHER, Dieter , MAGEL, Hans-Christoph , WENGERT, Andreas
发明人： KRUEGER, Michael , REWERS, Gregory , EISENMENGER, Nadja , BRENK, Achim , SEHER, Dieter , MAGEL, Hans-Christoph , WENGERT, Andreas
IPC分类号： F01K23/12
CPC分类号： F02M25/07 , F01K15/02 , F01K23/065 , F01K23/14 , F02M26/00 , Y02T10/16
摘要： Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Abwärmenutzung einer Brennkraftmaschine (2) mit einem thermodynamischen Arbeitskreis (4), in dem ein Arbeitsmedium zirkuliert, wobei in Strömungsrichtung des Arbeitsmediums eine Pumpe (6), wenigstens ein Wärmetauscher (8), wenigstens eine Expansionsmaschine (10) und wenigstens ein Kondensator (12) angeordnet sind, wobei die von der Expansionsmaschine (10) erzeugte mechanische Energie wahlweise an einen Antriebsstrang (23) und/oder wenigstens eine weitere mechanisch antreibbare Komponente (25) übertragen wird.
摘要翻译：一种方法和一种用于内燃发动机的废热利用装置（2）具有热力学工作组（4），其中循环的工作介质，其中在所述工作介质的流动方向，泵（6），至少一个热交换器（8），至少一个膨胀机（10）和至少一个电容器（12），所述由所述膨胀机（10）产生机械能选择性地到传动系（23）和/或至少一个额外的机械上可驱动部件（25）被发送。

9. 发明申请

WO2009124609A1 UMLENKEINRICHTUNG FÜR EINEN STRAHL EINER ELEKTROMAGNETISCHEN WELLE 审中-公开
标题翻译：偏转电磁波一缕
公开(公告)号：WO2009124609A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066713
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Umlenkeinrichtung für den Strahl einer elektromagnetischen Welle mit zwei kaskadierten Reflektionselementen (1, 2), die einzeln in unterschiedlichen Richtungen gesteuert schwenkbar sind, wobei die Reflektionsflächen (3, 4) mit Abstand einander gegenüber liegen und einander zugewandt sind. Damit werden weitere Reflektionselemente überflüssig und es kann eine geringe Baugröße erreicht werden.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转装置用于电磁波的具有两个级联的反射元件的光束（1,2），它们在不同的方向分别控制可以枢转，其中，所述反射表面（3,4）由远彼此相对且彼此面对。以便进一步反射元件是不必要的，并且它可以是一个小的尺寸就可以实现。

10. 发明申请

WO2018059827A3 OPTISCHE SENSORVORRICHTUNG, VERFAHREN ZUM EINSTELLEN EINER SPEKTRALEN AUFLÖSUNG EINER OPTISCHEN SENSORVORRICHTUNG UND SPEKTRALES MESSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018059827A3
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：PCT/EP2017/070840
申请日：2017-08-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： BADEJA, Michael , SCHAEFER, Frank , KRUEGER, Michael , KOOP, Paul
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/12
摘要： Die Erfindung betrifft eine optische Sensorvorrichtung mit einem linear variablen Filter (10) mit einer vorgegebenen Achse (12), entlang welcher eine Durchlasswellenlänge des linear variablen Filters (10) innerhalb eines von einer minimalen Druchlasswellenlänge und einer maximalen Durchlasswellenlänge begrenzten Wertebereichs linear variiert, und einer Detektionseinrichtung (18) mit einer Detektionsfläche (20), auf welcher ein Feld von Sensorpixeln (22) derart ausgebildet ist, dass von jedem der Sensorpixeln (22) ein Sensorsignal (24) bezüglich einer auf den jeweiligen Sensorpixel (24) auftreffenden Lichtintensität ausgebbar oder abgreifbar ist, wobei die Detektionseinrichtung (18) so zu dem linear variablen Filter (10) angeordnet ist, dass durch den linear variablen Filter (10) transmittierende Lichtstrahlen auf die Detektionsfläche (20) auftreffen. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einstellen einer spektralen Auflösung einer optischen Sensorvorrichtung. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein spektrales Messverfahren.

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