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    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTOELEKTRONISCHEN HALBLEITERBAUTEILS
    • 方法用于制造光电半导体元件
    • WO2010136304A1
    • 2010-12-02
    • PCT/EP2010/055986
    • 2010-05-03
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHBAUR, ElmarHEINDL, AlexanderBOEHM, BerndRODE, PatrickZULL, Heribert
    • BAUR, ElmarHEINDL, AlexanderBOEHM, BerndRODE, PatrickZULL, Heribert
    • H01L33/00H01L33/22G03F7/00
    • H01L33/22B82Y10/00B82Y40/00G03F7/0002H01L33/005H01L33/20
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist, wobei die strukturierte Oberfläche (11) zumindest stellenweise durch Erhebungen (E1, E2) erster (H1) und zweiter Höhe (H2) gebildet ist, wobei die erste Höhe (H1) größer ist als die zweite Höhe (H2); - Bereitstellen eines zweiten Wafers (3); - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Wafers (3); - Strukturieren der dem zweiten Wafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2), wobei die Erhebungen (E1, E2) als Gräben (G1, G2) erster und zweiter Tiefe in den Fotolack (2) abgedruckt werden; - Anwendung eines Strukturierungsverf ahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (30) des zweiten Wafers (3) übertragen wird.
    • 公开的是用于制造光电子半导体器件,其包括以下步骤的方法: - 提供(1)具有结构化表面(11),第一晶片,其中所述结构化表面(11)至少局部地通过凸起(E1,E2) 首先(H1)形成,并且第二高度(H2),其中,所述第一高度(H1)比所述第二高度(H2)更大; - 提供第二晶片(3); - 施加抗蚀剂(2)所述第二晶片的外表面(3)上; - 通过在光致抗蚀剂(2)压印在第一晶片(1)的图案化表面(11),图案化(3)的面向远离所述光致抗蚀剂(2)的表面的第二晶片,其中所述凸起(E1,E2)(如沟槽G1, G2)的第一和第二深度(在光致抗蚀剂2)将被打印; - 一个Strukturierungsverf Ahrens的(6)到所述光致抗蚀剂(2),其中,所述结构化表面(21)的应用 - 的光致抗蚀剂(2)施加的结构被至少局部地转移到第二晶片(3)的外表面(30)。