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    • 2. 发明申请
    • WELLENDICHTUNG
    • 轴封
    • WO2006106069A1
    • 2006-10-12
    • PCT/EP2006/061185
    • 2006-03-30
    • LEYBOLD VACUUM GMBHDREIFERT, ThomasGIEBMANNS, WolfgangKLIEM, BernhardTHÖREN, Heinz
    • DREIFERT, ThomasGIEBMANNS, WolfgangKLIEM, BernhardTHÖREN, Heinz
    • F16J15/447F04C27/00
    • F16J15/406F04C18/16F04C27/009F04D29/104
    • Eine Wellendichtung, die insbesondere für Vakuumpumpen, wie Schraubenpumpen, geeignet ist, weist einen mit der Weile verbindbaren inneren DichtrÊng (18) und einen den inneren Dichtring ( 18) umgebenden äußeren DÊchtring (20) auf. In dem äußeren Dichtring (20) ist eine umlaufende Nut (30) vorgesehen, in die über einen Zuführkanal (22) Sperrgas eÊnleÊtbar ist. Ferner ist mit der Welle (10) eine Sperrgasscheibe (34) verbindbar, die einen in die Nut (30) weisenden Ansatz (32) aufweist. Hierdurch ist eine Sperrgaskammer (28) in der Nut (30) ausgebildet. Die Sperrgaskammer (28) ist über einen Kammerspalt (36), durch den das Sperrgas gelangen kann, mit einem Dichtspalt (40), der zwischen dem inneren und dem äußeren Dichtring (18, 20) angeordnet ist, verbunden . An den Dichtspalt (40) schließt sich eine durch den inneren und den äußeren Dichtring ( 18, 20) gebildete Trennkammer (42) an, die zur Sperrgasabfuhr mit einem Abführkanal (44) verbunden ist.
    • 轴封,其特别适用于真空泵,如螺杆泵,具有可连接与所述内而DichtrÊng(18)和围绕外DÊchtring(20)的内密封环(18)。 在外部密封环(20)具有周向槽(30)设置,在其中一个供给通道(22)的密封气体是eÊnleÊtbar。 另外,气体隔离片(34)可连接到具有在所述凹槽(30)凸耳(32)的对向的轴(10)。 这导致在该槽中的阻挡气体室(28),(30)形成。 密封气室(28)经由腔室间隙(36),通过该可通阻挡气体,与被设置在所述内和外密封环(18,20)之间的密封间隙(40)相连接。 在密封间隙(40),由内和外密封环(18,20)形成的分离室(42)关闭时,其被连接到与排出通道(44)的阻挡气体放电。
    • 10. 发明申请
    • VAKUUMPUMPE
    • 真空泵
    • WO2008031819A1
    • 2008-03-20
    • PCT/EP2007/059521
    • 2007-09-11
    • OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBHGIEBMANNS, Wolfgang
    • GIEBMANNS, Wolfgang
    • F04D17/02F04D17/16F04D19/04F04D29/40
    • F04D17/168F04D17/02F04D19/046F04D29/403
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine schnelidrehende Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Hochvakuums. Schnelldrehende Vakuumpumpen könnten zusammen mit schnelidrehenden Hochvakuumpumpen, beispielsweise Turbomolekularpumpen, zu einwelligen Vakuumpumpen zusammengesetzt werden, die von Hochvakuum- bzw. Ultrahochvakuum auf Atmosphärendruck verdichten können. Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe (10) weist hierzu eine Saugstufe (12) und eine nachgelagerte Zentripetal-Verdichterstufe (21) mit radial verlaufenden Verdichterkammern (33) auf, deren Auslassquerschnitt kleiner als das 0,4-fache ihres Einlassquerschnittes ist. Da die Zentripetal-Verdichterstufe keine Verdrängermaschine ist, kann sie mit hohen Drehzahlen betrieben werden und Gase von Vorvakuumdrücken auf Atmosphärendruck mit hohen Drehzahlen verdichten. Hierdurch ist die Möglichkeit geschaffen, mit einer einzigen einwelligen schnelldrehenden Vakuumpumpe Hochvakuum bzw. Uitrahochvakuum zu erzeugen.
    • 本发明涉及一种schnelidrehende真空泵用于产生高真空。 快速移动的真空泵可以与schnelidrehenden高真空泵,如涡轮分子泵配合,组装成单螺杆真空泵能缩合到高真空或超高真空的大气压力。 为了这个目的,根据本发明(10)中的真空泵具有吸入叶轮(12)和具有径向延伸的压缩室(33),其出口部分是其入口的横截面小于0.4倍的下游心式压缩机级(21)。 由于心式压缩机阶段是没有位移,它可以以高的速度运转,并从压缩Vorvakuumdrücken气体以高速大气压。 从而,创建的可能性,以产生单个轴与单个快速旋转的真空泵或高真空Uitrahochvakuum。