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1. 发明申请

WO2015139979A1 CMUT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD 审中-公开
标题翻译： CMUT设备和制造方法
公开(公告)号：WO2015139979A1
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：PCT/EP2015/054801
申请日：2015-03-09
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
发明人： MAUCZOK, Ruediger , MARCELIS, Bout
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , B81C1/00428 , B81C1/00476 , B81C1/00547
摘要： Disclosed is a method of manufacturing a device (1) comprising a plurality of micro-machined ultrasonic transducer cells (100) in a first region (10) on a substrate (30) and a plurality of interconnects (200) in a second region (20) on said substrate, each of said cells comprising a first electrode (100) separated by a cavity (130) from a second electrode (120) supported by a membrane (140), the method comprising forming a dielectric layer stack (11, 13, 15, 17) over the substrate, said dielectric layer stack defining the respective membranes of the micro-machined ultrasonic transducers in the first region; reducing the thickness of the dielectric layer stack in the second region by partially etching away the dielectric layer stack in the second region; etching a plurality of trenches (22) in the reduced thickness portion of the dielectric layer stack, each of said trenches exposing a conductive contact (210) in the second region; and filling said trenches with a conductive material. A device manufactured in accordance with this method and an apparatus including the device are also disclosed.
摘要翻译：公开了一种在衬底（30）上的第一区域（10）中的多个微加工的超声换能器单元（100）和在第二区域中的多个互连（200）的装置（1）的制造方法， 20），所述单元中的每一个包括由与由膜（140）支撑的第二电极（120）分隔开的空腔（130）的第一电极（100），所述方法包括形成介电层堆叠（11， 13,15,17），所述电介质层叠层在第一区域中限定微加工超声换能器的相应膜; 通过部分地蚀刻掉第二区域中的介电层堆叠来减小第二区域中的电介质层堆叠的厚度; 蚀刻介电层堆叠的厚度减小的部分中的多个沟槽（22），每个所述沟槽暴露第二区域中的导电接触（210）; 并用导电材料填充所述沟槽。还公开了根据该方法制造的装置和包括该装置的装置。

2. 发明申请

WO2013111063A1 CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 审中-公开
标题翻译：电容式微机械传动器及其制造方法
公开(公告)号：WO2013111063A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/IB2013/050572
申请日：2013-01-23
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
发明人： DIRKSEN, Peter , MAUCZOK, Ruediger , KARAKAYA, Koray , KLOOTWIJK, Johan Hendrik , MARCELIS, Bout , MULDER, Marcel
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B81B3/0086 , B06B1/0292 , B81B3/0027 , B81B2201/0271 , B81C1/00523 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/003
摘要： The present invention relates to a method of manufacturing a capacitive micro- machined transducer (100), in particular a CMUT, the method comprising depositing a first electrode layer (10) on a substrate (1), depositing a first dielectric film (20) on the first electrode layer (10), depositing a sacrificial layer (30) on the first dielectric film (20), the sacrificial layer (30) being removable for forming a cavity (35) of the transducer, depositing a second dielectric film (40) on the sacrificial layer (30), depositing a second electrode layer (50) on the second dielectric film (40), and patterning at least one of the deposited layers and films (10, 20, 30, 40, 50), wherein the depositing steps are performed by Atomic Layer Deposition. The present invention further relates to a capacitive micro-machined transducer (100), in particular a CMUT, manufactured by such method.
摘要翻译：本发明涉及一种制造电容式微机械传感器（100），特别是CMUT的方法，该方法包括在基片（1）上沉积第一电极层（10），沉积第一介电膜（20）在所述第一电极层（10）上，在所述第一介电膜（20）上沉积牺牲层（30），所述牺牲层（30）可去除以形成所述换能器的空腔（35），沉积第二电介质膜在所述牺牲层（30）上，在所述第二电介质膜（40）上沉积第二电极层（50），并且对所述沉积层和膜（10,20,30,40,50）中的至少一个进行构图，其中沉积步骤通过原子层沉积进行。本发明还涉及通过这种方法制造的电容式微加工的换能器（100），特别是CMUT。

3. 发明申请

WO2013111040A1 CAPACITIVE MICRO-MACHINED TRANSDUCER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 审中-公开
标题翻译：电容式微机械传动器及其制造方法
公开(公告)号：WO2013111040A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/IB2013/050481
申请日：2013-01-18
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
发明人： DIRKSEN, Peter , MAUCZOK, Ruediger , KARAKAYA, Koray , KLOOTWIJK, Johan Hendrik , MARCELIS, Bout , MULDER, Marcel
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0292 , B81B3/00 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , H02N1/08
摘要： The present invention relates to a method of manufacturing a capacitive micro- machined transducer (100), in particular a CMUT, the method comprising depositing a first electrode layer (10) on a substrate (1), depositing a first dielectric film (20) on the first electrode layer (10), depositing a sacrificial layer (30) on the first dielectric film (20), the sacrificial layer (30) being removable for forming a cavity (35) of the transducer, depositing a second dielectric film (40) on the sacrificial layer (30), and depositing a second electrode layer (50) on the second dielectric film (40), wherein the first dielectric film (20) and/or the second dielectric film (40) comprises a first layer comprising an oxide, a second layer comprising a high-k material, and a third layer comprising an oxide, and wherein the depositing steps are performed by Atomic Layer Deposition. The present invention further relates to a capacitive micro-machined transducer (100), in particular a CMUT, manufactured by such method.
摘要翻译：本发明涉及一种制造电容式微机械传感器（100），特别是CMUT的方法，该方法包括在基片（1）上沉积第一电极层（10），沉积第一介电膜（20）在所述第一电极层（10）上，在所述第一介电膜（20）上沉积牺牲层（30），所述牺牲层（30）可去除以形成所述换能器的空腔（35），沉积第二电介质膜 40），并且在所述第二电介质膜（40）上沉积第二电极层（50），其中所述第一电介质膜（20）和/或所述第二电介质膜（40）包括第一层包括氧化物，包含高k材料的第二层和包含氧化物的第三层，并且其中所述沉积步骤通过原子层沉积进行。本发明还涉及通过这种方法制造的电容式微加工的换能器（100），特别是CMUT。

4. 发明申请

WO2017001636A1 ULTRASOUND SYSTEM AND ULTRASONIC PULSE TRANSMISSION METHOD 审中-公开
标题翻译：超声波系统和超声波脉冲传输方法
公开(公告)号：WO2017001636A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：PCT/EP2016/065440
申请日：2016-06-30
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
发明人： PHAM, Hoa , MAUCZOK, Ruediger , DE WILD, Nico Maris Adriaan
IPC分类号： B06B1/02 , A61B8/00 , G01N29/24
CPC分类号： B06B1/0215 , A61B8/06 , A61B8/4494 , A61B8/483 , A61B8/488 , A61N7/00 , B06B1/0292 , B06B2201/76
摘要： An ultrasound system is disclosed comprising a probe (10) including an array (110) of CMUT (capacitive micromachined ultrasound transducer) cells (100), each cell comprising a substrate (112) carrying a first electrode (122) of an electrode arrangement, the substrate being spatially separated from a flexible membrane (114) including a second electrode (120) of said electrode arrangement by a gap (118), the flexible membrane comprising a mass element (140) in a central region (17, 17'); and a voltage supply (45) coupled to said probe and adapted to, in a transmission mode of the ultrasound system, provide the respective electrode arrangements of at least some of the CMUT cells with a voltage including a bias voltage component driving the at least some of the CMUT cells into a collapsed state in which a central part of the flexible membrane contacts the substrate, said central part including the central region; and a stimulus component having a set frequency for resonating the respective flexible membranes of the at least some of the CMUT cells in said collapsed state, wherein the mass element of each of the at least some CMUT cells forces at least the central region of the flexible membrane of said cell to remain in contact with the substrate during said resonating. A pulse transmission method for such a system is also disclosed.
摘要翻译：公开了一种超声系统，其包括包括CMUT（电容微加工超声换能器）单元（100）的阵列（110）的探针（10），每个单元包括承载电极装置的第一电极（122）的基板（112）所述衬底在空间上与包括所述电极装置的第二电极（120）的柔性膜（114）间隔开，间隙（118），所述柔性膜在中心区域（17,17'）中包括质量元件（140） ; 以及耦合到所述探针并且适于在所述超声系统的传输模式中的电压源（45）提供至少一些所述CMUT单元的相应电极布置，所述电压包括驱动所述至少一些的所述CMUT单元的偏置电压分量的电压的CMUT细胞进入折叠状态，其中柔性膜的中心部分接触基底，所述中心部分包括中心区域; 以及具有设定频率的刺激分量，用于使处于所述折叠状态的所述至少一些所述CMUT单元的所述柔性膜谐振，其中所述至少一些CMUT单元中的每一个的所述质量元件至少迫使所述柔性在所述谐振期间所述电池的膜保持与衬底接触。还公开了一种用于这种系统的脉冲传输方法。

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