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    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON THERMODYNAMISCH KALTEM MIKROWELLENPLASMA
    • 器具,用于产生THERMO动态冷微波等离子体
    • WO2013029593A2
    • 2013-03-07
    • PCT/DE2012/000865
    • 2012-08-25
    • WEISGERBER, Martin
    • WEISGERBER, Martin
    • H01J25/55
    • H01J37/32229H01J25/55H01J37/3244H05H1/46H05H2001/4622H05H2240/10
    • Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines thermodynamisch kalten Plasmas unter Standard Atmosphären Bedingungen durch Einbringung von Mikrowellenstrahlung einer Frequenz > 3 GHz in eine Plasmakammer und anschließender Überlagerung mehrerer Wellen in konstruktiver Interferenz. Die in speziell geometrisch angeordneten, vorzugsweise zylinderförmigen Resonanzräumen in einem evakuierten Anodenblock erzeugte Mikrowellenstrahlung wird über Hohlleiter ausgekoppelt und einer separierten Plasmakammer zugeführt. Durch die Kombination mehrerer Mikrowellenerzeuger kann eine Vielzahl an Mikrowellen in die Plasmakammer eingebracht werden. Durch eine Zuleitung an der Oberseite der Plasmakammer kann ein Materiestrom, z.B. ein Prozessgas zu- und durch eine Ableitung z.B. in Düsenform an der Unterseite der Plasmakammer abgeleitet und der zu bearbeitenden Oberfläche zugeführt werden.
    • 用于通过引入在等离子体室中的频率> 3千兆赫的微波辐射和在长干涉几种模式的后续叠加的生产标准大气条件下在热力学更冷等离子体的装置。 排列在特定的几何,优选为圆柱形的谐振腔中抽空阳极块产生的微波辐射通过波导耦合并提供给一个分离的等离子体室。 通过组合几个微波发生器的多个微波到等离子体腔室可以被引入。 通过在等离子体腔室的顶部的进料管线,物质的流动,例如 处理气体供给,并通过一个例如衍生 在等离子体腔室的底部和所述表面在喷嘴形状衍生待处理被提供。