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    • 8. 发明申请
    • BETRIEBSVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTRAHLUNG EINES SUBSTRATS
    • 照射基板的操作方法及设备
    • WO2014195172A1
    • 2014-12-11
    • PCT/EP2014/060832
    • 2014-05-26
    • HERAEUS NOBLELIGHT GMBH
    • WEBER, JürgenLINOW, SvenWEISS, Oliver
    • H01L21/67
    • F26B3/30H01L21/67115
    • Bekannte Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zur Modifizierung eines Substrats durch Bestrahlen mit Infrarotstrahlung mit einer Bestrahlungseinheit, in der mehrere zylinderförmige Infrarotstrahler mit parallel zueinander angeordneten Längsachsen zusammengefasst sind, umfassen die Verfahrensschritte: (a) Vorgeben einer Gesamtbestrahlungsleistung in Abhängigkeit von der zu erzielenden Modifizierung des Substrats, (b) Betreiben der Infrarotstrahler mit einer jeweiligen Soll-Betriebsleistung. Um hiervon ausgehend ein effizientes Betriebsverfahren anzugeben, das eine einfache und schnelle Umrüstung der Vorrichtung auf eine neue Betriebsart und gleichzeitig einen einfachen und kostengünstigen Betrieb der Vorrichtung ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass (c) in Abhängigkeit von der zu erzielenden Modifizierung des Substrats ein Soll-Strahlungsspektrum vorgegeben wird, (d) und dass die jeweiligen Soll-Betriebsleistungen der Infrarotstrahler individuell so gewählt werden, dass sich aus ihrer Addition das Soll- Strahlungsspektrum und die Gesamtbestrahlungsleistung ergibt, (e) unter der Maßgabe, dass die Infrarotstrahler baugleich sind und dass die Gesamtbestrahlungsleistung von einem vorgegebenen Soll-Wert um maxi¬ mal 15 % abweicht.
    • 要达到的底物的修饰(a)中预先确定的总照射功率作为的函数:通过照射红外辐射操作装置用于在基板的变形例具有照射单元,其中多个圆柱形红外辐射的相结合,与相互平行的纵向轴线,包括以下步骤的公知的方法 (b)操作与相应的期望的操作性能的红外发射器。 以指定此基础上的有效操作方法,其能够使所述设备的操作的新模式,并在同一时间的装置的一个简单且成本有效的操作的简单而快速的转换,它根据响应在(c)中,本发明所要达到的底物的修饰,提出所需的 -Strahlungsspektrum被指定的红外线辐射器的各自期望的工作性能被单独地选择,使得所期望的辐射光谱和来自它们的加入条件是红外辐射器是相同的,并且(d)根据所述总发射功率的结果,(e)和 从由maxi¬预定的所需值的总辐射功率偏离15%倍。
    • 9. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN UND SINTERN METALLHALTIGER TINTE AUF EINEM SUBSTRAT
    • 设备干燥和烧结金属油墨在基底上
    • WO2014177354A1
    • 2014-11-06
    • PCT/EP2014/057258
    • 2014-04-10
    • HERAEUS NOBLELIGHT GMBH
    • ZISSING, HolgerWEBER, JürgenLINOW, SvenWEISS, Oliver
    • H05K3/12H05K3/22F26B3/30H01L21/67H05K1/09
    • B22F7/08B22F3/10B22F7/008F26B3/30F27B9/066F27B2009/122F27B2009/3607H01L21/67034H01L21/67115H01L21/6776H05K1/092H05K3/1283H05K3/227H05K2203/1131H05K2203/1476
    • Bekannte Vorrichtungen zum Trocknen und Sintern metallhaltiger Tinte auf einem Substrat weisen mehrere optische Strahler zur Bestrahlung des Substrats und einen Reflektor zur Reflexion von Strahlung auf das Substrat auf. Hierbei sind Strahler und Substrat in einer Transportrichtung relativ zueinander bewegbar. Um hiervon ausgehend eine effiziente Vorrichtung zum Trocknen und Sintern metallhaltiger Tinte anzugeben, die eine homogene Bestrahlung des Substrats ermöglicht, eine kompakte Bauform aufweist und darüber einfach und kostengünstig zu fertigen ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die optischen Strahler Infrarotstrahler mit einem zylinderförmigen Strahlerrohr und einer Strahlerrohr-Längsachse sind, die Strahlung mit einem Strahlungsanteil an IR-B-Strahlung von mindestens 30% und an IR-C-Strahlung von mindestens 5% der Gesamtstrahlerleistung emittieren und die in einem Strahlermodul so angeordnet sind, dass ihre Strahlerrohr-Längsachsen parallel zueinander und quer zur Transportrichtung verlaufen und dabei auf der Oberfläche des Substrats ein Bestrahlungsfeld derart bestrahlen, dass dieses in eine Trocknungszone sowie eine der Trocknungszone in Transportrichtung gesehen nachgelagerte Sinterzone geteilt wird, wobei die Trocknungszone entlang einer in Transportrichtung verlaufenden Mittenachse eine um mindestens 15% geringere mittlere Bestrahlungsdichte als die Sinterzone ausgesetzt ist.
    • 用于干燥和在基板上烧结含金属墨水已知的装置包括多个光发射器的用于照射所述衬底和用于反射辐射到衬底上的反射器。 在这种情况下,散热器和衬底在输送方向相对于彼此移动。 以指定此基础上进行干燥和烧结包含金属的墨,这使得能够在衬底的均匀照射,具有紧凑的设计并且也简单,制造成本低的有效装置,则根据本发明,所述光学发射器的红外辐射器与圆柱形辐射管和所提出的 散热管纵轴具有至少30%的IR-B辐射和总灯功率的至少5%的IR-C辐射并且其辐射部分,其发射辐射布置的散热器模块中,以便其发射极管的纵向轴线相互平行 和横向延伸于输送方向,从而照射所述衬底的所述表面被划分的照射场,使得它在干燥区中,并在输送方向上的下游烧结区的干燥区域看到的,其中,沿着输送版本的方向上的干燥区 运行中心轴是由至少15%的平均辐照下暴露于烧结区。