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    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR BESTRAHLUNG EINES SUBSTRATS
    • 用于照射基底的装置
    • WO2014016178A8
    • 2014-01-30
    • PCT/EP2013/065082
    • 2013-07-17
    • HERAEUS NOBLELIGHT GMBH
    • LINOW, SvenVON RIEWEL, Larisa
    • H01L21/67
    • Bekannte Vorrichtungen zur Bestrahlung eines Substrats weisen ein Gehäuse, sowie innerhalb des Gehäuses eine Aufnahme für das zu bestrahlende Substrat mit einer kreisrunden Bestrahlungsfläche und einen ersten Strahler für die Erzeugung optischer Strahlung mit einem in einer parallel zur Bestrahlungsfläche verlaufenden Krümmungsebene angeordneten, ersten Strahlerrohr mit einem Strahlerrohr-Ende auf, wobei die Aufnahme und der erste Strahler relativ zueinander bewegbar sind. Bei diesen Vorrichtungen umfasst die Bestrahlungsfläche eine erste halbkreisförmige Teilfläche und eine zweite halbkreisförmige Teilfläche. Um hiervon ausgehend eine Vorrichtung zur Bestrahlung eines Substrats anzugeben, die eine rotationssymmetrisch-homogene Temperaturverteilung des Substrats ermöglicht, und die darüber hinaus einen geringen konstruktiven und steuerungstechnischen Aufwand erfordert, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das erste Strahlerrohr einen gebogenen Beleuchtungs-Längenabschnitt hat, welcher in der Krümmungsebene mit spiegelsymmetrisch-ovaler Grundform verläuft, wobei der erste Beleuchtungs-Längenabschnitt im Wesentlichen einer der halbkreisförmigen Teilflächen zugeordnet ist.
    • 已知用于衬底的照射装置有一个去BEAR使用,以及内壳体BEAR使用的容器进行导航使用r来照射基板具有圆形BestrahlungsflÄ枝和用于导航使用的第一放热器R的生成 在平行于Bestrahlungsfl&AUML的方向与光辐射;枝延伸氪导航用途布置mmungsebene,具有发射极管端第一散热器管,其中,所述容器和所述第一散热器是相对于彼此可移动的。 在这些装置中,照射表面包括第一半圆形部分表面和第二半圆形部分表面。 到用于照射具有基板ERM&ouml的旋转对称的均质温度分布的衬底指定此基础的装置; glicht,并且表示除了OVER需要小的设计和控制技术的努力将发明BEAR ROAD 提出,所述第一辐射器管具有弯曲的照度L BEAR具有ngenabschnitt其中,在氪导航用途的运行,其中,所述第一照度L BEAR; mmungsebene镜像对称椭圆基本形状VERL&相关陈AUML;半圆形&OUML的ngenabschnitt基本上一个;状的部分区域&AUML

    • 5. 发明申请
    • BESTRAHLUNGSVORRICHTUNG
    • WO2012065688A3
    • 2012-05-24
    • PCT/EP2011/005494
    • 2011-10-31
    • HERAEUS NOBLELIGHT GMBHLINOW, Sven
    • LINOW, Sven
    • H01K1/38H01K3/20H05B3/44H05B3/00
    • Übliche Bestrahlungsvorrichtungen haben ein Gehäuse (5) mit einem Innenraum und einem darin angeordneten Infrarotstrahler (1). Der Infrarotstrahler (1) weist ein Strahlerrohr (2) aus hochkieselsäurehaltigem Glas mit Rundquerschnitt und vorgegebenem Außendurchmesser, mit darin angeordnetem band- oder wendelförmigem Heizfilament (3) auf, welches mit elektrischen Anschlusselementen (4) aus einem metallischen Werkstoff versehen ist, die über eine Abdichtung (13) aus dem Strahlerrohr (2) herausgeführt sind. Mindestens eines der Strahlerrohr-Enden (8) erstreckt sich in einen Außenraum, welcher vom Innenraum über ein an dem Strahlerrohr (2) außen anliegendes Dichtelement (11) fluidisch getrennt ist. Um hiervon ausgehend eine Bestrahlungsvorrichtung mit einem Infrarotstrahler langer Lebensdauer und potenziell hoher Leistung anzugeben, die außerdem geeignet ist, von einer Dichtung eingefasst zu werden, die Bereiche unterschiedlicher Medien, Temperaturen oder Drücke separiert, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass auch das Strahlerrohr-Ende (8) den Rundquerschnitt und den vorgegebenen Außendurchmesser aufweist, und dass zwischen dem elektrischen Anschlusselement (4) und dem Strahlerrohr (2) eine Abdichtung (13) vorgesehen ist, die mindestens ein Übergangsglas umfasst, das einen thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der zwischen demjenigen des metallischen Werkstoffs und dem des hochkieselsäurehaltigen Glases liegt.
    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ELEKTRISCH LEITENDEN MATERIALS, ELEKTRISCH LEITENDES MATERIAL SOWIE STRAHLER MIT ELEKTRISCH LEITENDEM MATERIAL
    • 生产导电材料,导电材料和导电材料的方法
    • WO2013020620A2
    • 2013-02-14
    • PCT/EP2012/002800
    • 2012-07-04
    • HERAEUS NOBLELIGHT GMBHLINOW, SvenKLUMPP, Maike
    • LINOW, SvenKLUMPP, Maike
    • H01K1/06
    • H01K1/06H01K3/02H05B3/0033H05B3/146H05B2203/017
    • Vorgeschlagen wird ein Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitenden Materials (5), wobei das Verfahren die Schritte beinhaltet: a. Bereitstellen einer Carbonfaser (3), b. Bereitstellen einer von der Carbonfaser (3) verschiedenen Kunststofffaser (4), c. Herstellen einer Mischung in Form eines flächigen Geleges (2) aus der Carbonfaser (3) und der Kunststofffaser (4), d. gegebenenfalls Trocknen der Mischung (1), e. Konsolidieren der Mischung (1), f. gegebenenfalls Zuschneiden der Mischung (1), g. Carbonisieren der Mischung (1), wobei die carbonisierten Kunststofffasern (4) eine kohlenstoffbasierte, elektrische Leitfähigkeit aufweisende Matrix (6) bilden, welche die Carbonfasern (3) mindestens teilweise umgibt. Ferner werden auf entsprechende Weise erhältliche elektrisch leitende Materialien (5) vorgeschlagen. Schließlich ist ein Strahler (12) angegeben, welcher ein transparentes oder transluzentes Gehäuse (13) sowie ein erfindungsgemäßes elektrisch leitendes Material (5) enthält. Mit der Erfindung lassen sich elektrisch leitende Materialien (5) mit vergrößertem elektrischen Widerstand bereitstellen. Damit können nunmehr insbesondere Strahler (12) mit nahezu beliebiger Länge bei üblichen Netzspannungen betrieben werden.
    • 其提出了一种用于制造导电材料(5)的方法,该方法包括以下步骤:a。 提供碳纤维(3),b。 提供碳纤维(3)以外的塑料纤维(4),c。 由碳纤维(3)和塑料纤维(4)制造脆弱织物(2)形式的混合物,d。 任选地干燥混合物(1),例如, 巩固混合物(1),f。 如果需要,切割混合物(1),g。 碳化混合物(1),其中碳化塑料纤维(4)形成至少部分地围绕碳纤维(3)的碳基导电基体(6)。 此外,以相应的方式提出合适的导电材料(5)。 最后,提供一种散热器(12),其包括根据本发明的透明或半透明外壳(13)和导电材料(5)。 利用本发明,可以提供具有增加的电阻的导电材料(5)。 特别是几乎任何长度的发射器(12)现在都可以在通常的电源电压下工作。