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1. 发明申请

WO2015003819A1 MASSENSPEKTROMETER, DESSEN VERWENDUNG, SOWIE VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASGEMISCHES 审中-公开
标题翻译：质谱仪其用途，和方法的混合气体质谱分析
公开(公告)号：WO2015003819A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/EP2014/053361
申请日：2014-02-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： FEDOSENKO, Gennady , ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J49/14
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要： Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Untersuchung von Gasgemischen (2), umfassend: eine lonisierungseinrichtung (12) sowie eine lonenfalle (10) zur Speicherung und zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gasgemischs (2). Bei einem Aspekt der Erfindung ist die lonisierungseinrichtung (12) zur Zuführung von Ionen (13a) und/oder von metastabilen Teilchen (13b) eines lonisierungsgases (13) und/oder von Elektronen (20a) zu der lonenfalle (10) für die Ionisierung des zu untersuchenden Gasgemischs (2) ausgebildet und das Massenspektrometer (1) ist ausgebildet, vor der Untersuchung des Gasgemischs (2) die in der lonenfalle (10) vorhandene Anzahl von Ionen (13a) und/oder metastabilen Teilchen (13b) des lonisierungsgases (13) und/oder die Anzahl von Ionen (14a) eines in der lonenfalle (10) vorhandenen Restgases (14) zu ermitteln. Die Erfindung betrifft auch die Verwendung eines solchen Massenspektrometers (1) sowie ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gasgemischs (2).
摘要翻译：本发明涉及一种质量分析装置（1）的气体混合物（2）的质谱分析，其包括：一个电离装置（12）和用于存储离子阱（10）和所述混合物（2）的气体的质谱分析。在本发明中，离子化装置（12）用于供给离子（13A）和/或亚稳粒子的一个方面（13B）是一个lonisierungsgases（13）和/或电子（20A），为的电离离子阱（10）要被检查的气体混合物（2）被形成和质谱仪（1）被设计，气体混合物的调查（2）之前的lonisierungsgases的离子（13A）和/或亚稳粒子（13B）的存在于离子阱（10）号（13 ）和/或确定）的存在于离子阱（10离子（14a）的数目，所述残余气体（14）。本发明还涉及使用这样的质谱仪（1）和用于混合物（2）气体的质谱分析的方法的。

2. 发明申请

WO2014118122A3 METHOD FOR MASS SPECTROMETRIC EXAMINATION OF GAS MIXTURES AND MASS SPECTROMETER THEREFOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2014118122A3
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/EP2014/051520
申请日：2014-01-27
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/10 , H01J49/14 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要： The invention relates to a method for mass spectrometric examination of a gas mixture (2), comprising the following method steps: parallel or serial ionization of the gas mixture (2) to be examined by activating of at least two ionization devices (9a, 9b, 9c) operating using different ionization procedures, and/or ionizing of the gas mixture (2) in a detector (10), to which the gas mixture (2) and ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30), which are produced by an ionization device (9), are fed, and detecting of the ionized gas mixture (2) in the detector (10) for the mass spectrometric examination thereof. The invention also relates to a mass spectrometer (21 ) for mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionization unit (22) for ionizing the gas mixture (2), and a detector (10) for detecting the ionized gas mixture (2). The ionization unit (22) comprises at least two ionization devices (9a, 9b, 9c), arranged in parallel or in series, for ionizing the gas mixture (2) by means of different ionization procedures, wherein the ionization devices (9a, 9b, 9c) alternatively can be activated individually or together, and/or the ionization unit (22) has an ionization device (9) configured to feed ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30) to the detector (10) in order to ionize the gas mixture (2) in the detector (10).

3. 发明申请

WO2022223232A1 VORRICHTUNG ZUR SPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND LITHOGRAPHIEANLAGE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022223232A1
公开(公告)日：2022-10-27
申请号：PCT/EP2022/057761
申请日：2022-03-24
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/40 , G01N27/623
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur spektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), umfassend: eine Extraktionseinrichtung (12) zur Extraktion von Ionen (11) des zu untersuchenden Gases (2) aus einer Ionenkammer (5), einen Ionen-Detektor (13) zur Detektion der Ionen (11), eine Ionen- Transfereinrichtung (14) zum Transfer der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen-Detektor (13) entlang einer Ionen- Transferstrecke (Lm), eine Zuführungseinrichtung (16) zur Zuführung eines Bremsgases (17) zu der Ionen-Transferstrecke (Lm), sowie eine Auswerteeinrichtung (21) zur Bestimmung von Transportzeiten (tm) beim Transport der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen- Detektor (13) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm). Die Vorrichtung (1) ist ausgebildet, einen Druck (pM) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm) zwischen einem ersten, niedrigeren Druckbereich (Δp1) und einem zweiten, höheren Druckbereich (Δp2) umzuschalten und die Auswerteeinrichtung (21) ist ausgebildet, in einem ersten Betriebszustand (MS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem ersten Druckbereich (Δp1) eine massenspektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen und in einem zweiten Betriebszustand (IMS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem zweiten Druckbereich (Δp2) eine ionenmobilitäts-spektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen. Die Erfindung betrifft auch eine Lithographieanlage, insbesondere eine EUV- Lithographieanlage, die mindestens eine solche Vorrichtung (1) aufweist.

4. 发明申请

WO2013104583A2 APPARATUS AND METHOD FOR SURFACE PROCESSING OF A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：基板表面加工的装置和方法
公开(公告)号：WO2013104583A2
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/EP2013/050152
申请日：2013-01-07
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
CPC分类号： H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for surface processing on a substrate (2), for example for applying a coating (14) to the substrate (2) or for removing a coating (14) from the substrate (2), wherein the apparatus (1) comprises: a chamber (5) enclosing an interior (4) and serving for arranging the substrate (2) for the surface processing, a process gas analyser (13a, 13b) for detecting at least one gaseous constituent of a residual gas atmosphere formed in the interior (4), wherein the process gas analyser (13a, 13b) comprises an ion trap (18) for storing the gaseous constituent to be detected, and an ionization device (17) for ionizing the gaseous constituent. The invention also relates to an associated method for monitoring surface processing on a substrate (2).
摘要翻译：本发明涉及一种用于在衬底（2）上进行表面处理的设备（1），例如用于将涂层（14）施加到衬底（2）或从衬底（2）去除涂层（14），其中装置（1）包括：封闭内部（4）并用于布置用于表面处理的基板（2）的室（5），用于检测至少一种气体成分的处理气体分析器（13a，13b）在内部形成的残留气体气氛（4），其中处理气体分析器（13a，13b）包括用于存储要检测的气态成分的离子阱（18）和用于离子化气态成分的离子化装置（17）。本发明还涉及用于监测衬底（2）上的表面处理的相关方法。

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