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    • 4. 发明申请
    • 게이트 메탈을 안테나로 활용한 링 형의 테라헤르쯔파 검출용 전계효과트랜지스터
    • 环形场效应晶体管,用于使用门极金属作为天线的太赫兹波检测
    • WO2017115896A1
    • 2017-07-06
    • PCT/KR2015/014578
    • 2015-12-31
    • 울산과학기술원
    • 김경록류민우안상효
    • H01L29/78
    • H01L29/41758H01L29/0847H01L29/1033H01L29/42376H01L29/4238H01L29/78H01L31/1126
    • 본 발명은 소스/드레인 및 게이트 자체의 형상만으로 비대칭 특성을 나타내어 높은 감도를 구현할 수 있으며, 추가적으로 게이트를 안테나로 활용하여 제조가 편리한 게이트 메탈을 안테나로 활용한 링 형의 테라헤르쯔파 검출용 전계효과트랜지스터를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 실리콘 베이스; 실리콘 베이스 일부에 도핑에 의하여 형성되는 소스; 평면 상으로 상기 소스를 감싸는 형태로 형성되는 채널; 상기 채널 외부에 형성되는 드레인; 상기 소스, 채널 및 드레인 상단에 형성되는 유전층; 및 상기 유전층 상단에 위치하는 게이트;를 포함하여 구성되되, 평면상으로 상기 소스의 중심과 상기 채널의 중심은 일정 거리 이격되어 형성되고, 상기 게이트는 메탈 재질로 상기 채널 상단에 위치하며 상기 채널의 상면을 모두 덮고, 소스의 일부와 드레인의 일부와 오버랩되는 것을 특징으로 한다.
    • 通过仅通过源极/漏极和栅极本身的形状显示不对称特性,本发明可以实现高灵敏度,此外,环形金属 用于检测太赫兹波的场效应晶体管。 根据本发明的一个方面,提供了一种半导体器件,包括:硅基底; 通过掺杂硅基底的一部分而形成的源极; 形成为平面形状以围绕源的通道; 通道外形成排水沟; 形成在源极,沟道和漏极顶部的介电层; 并且,其位于所述介电层的顶部上的栅极; doedoe配置,包括,在集中于源和该信道的中心的平面间隔开一个预定距离,其中,所述栅极位于所述通道的顶部到该信道的金属材料 并覆盖一部分上表面,并与部分源和漏的一部分重叠。
    • 8. 发明申请
    • 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법
    • 悬空沟道等离子体三极管的性能评估方法
    • WO2017115895A1
    • 2017-07-06
    • PCT/KR2015/014575
    • 2015-12-31
    • 울산과학기술원
    • 김경록박종률김성호정유정
    • G01R31/28G01R23/02G01R27/02G01R31/26
    • G01R31/2601G01R23/02G01R27/02G01R31/26G01R31/28
    • 본 발명을 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 물리적 특성을 이용하여 해당 소자의 테라헤르쯔 발진 가능성을 평가하는 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법에 있어서, 전자 표류 속도를 x축으로 설정하는 x축 설정 단계; 플라즈마파 속도를 y축으로 설정하는 y축 설정 단계; 및 전자 표류 속도에 따른 플라즈마파 속도의 관계식과 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 플라즈마파 발생 조건을 이용하여 디자인 윈도우를 생성하여 소자의 동작을 판단하는 소자 성능 판단 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
    • 通过使用信道等离子体波晶体管的物理特性,以提供悬浮频道的等离子波晶体管的性能评估方法来评估太赫兹振荡悬浮本发明看来,用于该目的的装置。 本发明为了达到上述目的,在悬浮等离子体波沟道晶体管的性能评价方法中,x轴设置在x轴设定步骤中的电子漂移速度; 将等离子体波速度设定为y轴的y轴设定步骤; 其特征在于它包括一<;以及使用所述表达的等离子体波速度和根据所述电子漂移速度阶段的器件性能的悬浮频道的等离子波晶体管的等离子体波生成条件被确定为生成设计窗口,以确定该设备的操作。 / p>

    • 10. 发明申请
    • 전계효과트랜지스터를 이용한 테라헤르츠 검출기
    • TERAHERTZ检测器使用场效应晶体管
    • WO2016117724A1
    • 2016-07-28
    • PCT/KR2015/000692
    • 2015-01-23
    • 울산과학기술원
    • 김경록류민우김관성
    • G01R33/00
    • H01Q1/2283G01J5/20G01R33/00G01R33/066H01L27/14H01L29/0692H01L29/41725H01L29/42316H01L29/4238H01L29/7835
    • 본 발명은 소스/드레인 및 게이트 자체의 형상만으로 비대칭 특성을 나타내어 높은 감도를 구현할 수 있는 전계효과트랜지스터를 이용한 테라헤르츠 검출기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전계효과트랜지스터를 이용한 테라헤르츠 검출기에 있어서, 상기 전계효과트랜지스터는: 실리콘 베이스 일부에 도핑에 의하여 형성되는 소스; 평면 상으로 상기 소스를 감싸는 형태로 형성되는 채널; 상기 채널 외부에 형성되는 드레인; 상기 소스, 채널 및 드레인 상단에 형성되는 유전층; 및 상기 유전층 상단에 위치하는 게이트;를 포함하여 구성되며, 상기 게이트를 통하여 테라헤르츠 전자기파가 인가되는 경우 상기 소스와 드레인에서 출력되는 전류/전압으로 전자기파의 정도를 감지하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明的目的是提供一种使用场效应晶体管的太赫兹检测器,其能够通过以源/漏和栅极的形式表现出非对称特性来实现高灵敏度。 为此,本发明涉及使用场效应晶体管的太赫兹检测器,该场效应晶体管包括:通过掺杂在硅基底的一部分上形成的源; 形成为在平面上包围源的通道; 在通道外形成的排水沟; 形成在源极的上端,沟道和漏极上的电介质层; 以及位于电介质层的上端的栅极,其中当通过栅极施加太赫兹电磁波时,使用从源极和漏极输出的电流/电压来检测电磁波的强度。