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1. 发明申请

WO2005049881A1 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法审中-公开
标题翻译：金属蒸发加热元件和金属蒸发方法
公开(公告)号：WO2005049881A1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：PCT/JP2004/017023
申请日：2004-11-16
申请人：電気化学工業株式会社 , 五十嵐厚樹 , 宮井明 , 渡辺祥二郎 , 須崎純一 , 岩元健太郎
发明人：五十嵐厚樹 , 宮井明 , 渡辺祥二郎 , 須崎純一 , 岩元健太郎
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , H05B3/141
摘要：　溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸発ボート及びそれを用いた金属の蒸発方法を提供する。　二硼化チタン（ＴｉＢ２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ２）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の１又は２以上を有してなることを特徴とする金属蒸発発熱体。この場合において、通電方向と平行でない方向が、通電方向に対して２０～１６０度であること、セラミックス焼結体がキャビティを有し、その底面に溝を形成させてなること、セラミックス焼結体の上面及び／又はキャビティ上面に複数の溝によって所望の模様が描かれていることが好ましい。また、この金属蒸発発熱体を用い、その溝の一部分又は全部と金属とを接触させた状態で、真空中、加熱することを特徴とする金属の蒸発方法。
摘要翻译：能够改善对熔融金属的润湿性以延长使用寿命的金属蒸发船以及使用它的金属蒸发方法。一种金属蒸发加热元件，其特征在于，在包含二硼化钛（TiB 2）和/或二硼化锆（ZrB 2）的陶瓷烧结体的上表面中，在不平行于导电方向的方向上形成一个或两个以上的槽，氮化硼（BN）。在这种情况下，优选的是，与导电方向不平行的方向与20-160°的导电方向交叉，陶瓷烧结体的底面形成有凹槽，并且在陶瓷烧结体的上表面和/或空腔的上表面通过多个凹槽。另外，一种金属蒸发方法，其特征在于在真空中加热该金属蒸发加热元件，其部分或全部与金属保持接触。

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