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    • 1. 发明申请
    • 可変容量素子
    • 可变电容元件
    • WO2011096460A1
    • 2011-08-11
    • PCT/JP2011/052208
    • 2011-02-03
    • 株式会社村田製作所久万田明柴原輝久田中堅志
    • 久万田明柴原輝久田中堅志
    • H01G5/16B81B3/00B81B7/02
    • H01G5/16H03J3/20H03J2200/19
    •  キャパシタンスの変動要素が生じても、所望とするキャパシタンスを安定して得られる可変容量素子を実現する。MEMS機構部(10)の駆動用キャパシタ(10B)と、参照用キャパシタ(40)には、容量検出用信号発生部(30)からパルス信号の容量検出用信号が印加される。容量検出用信号と駆動電圧に基づく駆動用キャパシタ(10B)の素子電圧は、コンパレータ(50)の反転入力端子へ与えられる。一方、容量検出用信号と駆動電圧に基づく参照用キャパシタ(40)の素子電圧は、コンパレータ(50)の非反転入力端子へ与えられる。コンパレータ(50)はこれらの素子電圧の差から、「Hi」,「Low」の2値からなる比較出力信号を生成し、駆動電圧発生部(20)へ与える。駆動電圧発生部(20)は、比較出力信号に基づいて、駆動電圧を上昇もしくは低下する。
    • 公开了即使在出现波动的电容因素的情况下也能够稳定地获得所需电容的可变电容元件。 脉冲信号的电容检测信号由电容检测信号发生器单元(30)施加到MEMS机构单元(10)和参考电容器(40)的驱动电容器(10B)。 基于电容检测信号和驱动电压将驱动电容器(10B)的元件电压发送到比较器(50)的反相输入端子。 相反,基于电容检测信号和驱动电压的参考电容器(40)的元件电压被发送到比较器(50)的非反相输入端子。 比较器(50)基于各元件电压的差,使用两个值“High”和“Low”产生比较输出信号,并将其发送到驱动电压发生器单元(20)。 驱动电压发生器单元(20)基于比较输出信号来增加或减小驱动电压。
    • 3. 发明申请
    • 可変容量装置
    • 可变电容器件
    • WO2011158708A1
    • 2011-12-22
    • PCT/JP2011/063101
    • 2011-06-08
    • 株式会社村田製作所山田宏柴原輝久
    • 山田宏柴原輝久
    • H01G5/16B81B3/00H01G5/00H01G5/01
    • H01G5/18B81B3/007B81B2201/0221B81B2203/0118H01G5/01
    •  可変容量装置(1)は、支持板(2)と、可動梁(6)と、下側RF容量電極(3A,3B)と、下側駆動容量電極(4A,4B)とを備える。可動梁(6)は支持板(2)の主面に平行し、支持板(2)に接続される。下側RF容量電極(3A,3B)と、下側駆動容量電極(4A,4B)とは、可動梁(6)の主軸方向を長手として支持板(2)に形成される。下側駆動容量電極(4A,4B)は、可動梁(6)との間に形成される駆動容量に基づいて可動梁(6)を変形させる。下側RF容量電極(3A,3B)は、可動梁(6)との間に生じるRF容量を介してRF信号を伝搬させる。可動梁(6)は、Z軸方向の厚みが薄く、Y軸方向に線路状に延設される線路状溝部(6A2)を備え、複数の線路状溝部(6A2)を間隔を隔てて平行させた構成である。
    • 所公开的可变电容装置(1)设置有支撑板(2),可动梁(6),下侧RF电容电极(3A,3B)和下侧驱动电容电极(4A,4B)。 可移动梁(6)平行于支撑板(2)的主表面设置并连接到支撑板(2)。 下侧RF电容电极(3A,3B)和下侧驱动电容电极(4A,4B)形成在支撑板(2)上,其长度尺寸与可动梁(6)的轴向对准。 下驱动电容电极(4A,4B)根据形成在可动光束(6)和驱动电容电极(4A,4B)之间的驱动电容使可动光束(6)变形。 下侧RF电容电极(3A,3B)通过发生在可动光束(6)和RF电容电极(3A,3B)之间的RF电容传播RF信号。 可移动梁(6)沿着Z轴是薄的,并且设置有沿着Y轴延伸的轨道状槽(6A2),多个轨道状槽(6A2)彼此平行地布置在 间隔。
    • 4. 发明申请
    • 可変容量装置
    • 可变电容器件
    • WO2011092980A1
    • 2011-08-04
    • PCT/JP2010/073119
    • 2010-12-22
    • 株式会社村田製作所柴原輝久
    • 柴原輝久
    • H01G5/16H01G5/18
    • H01G5/18Y10T307/675
    •  可変容量装置(1)は、基板(2)と梁部(6)と駆動容量(C1)と可変キャパシタンス(C2)と駆動電圧制御回路(11)とを備える。梁部(6)は片持ち梁構造で基板(2)に接続される。駆動容量(C1)は梁部(6)および基板(2)にて対向して構成され、DC電圧が印加されて生じる静電引力に応じて梁部(6)を変位させる。可変キャパシタンスは、梁部(6)および基板(2)にて対向して構成され、梁部(6)の変位に応じて容量が変化する。駆動電圧制御回路(11)は、駆動容量(C1)に応じて変化する検出電圧を検出し、この検出電圧が所望値に近づくように駆動容量(C1)に印加するDC電圧を制御する。
    • 公开了设置有基板(2),光束部分(6),驱动电容(C1),可变电容(C2)和驱动电压控制电路(11)的可变电容器件(1)。 梁部分(6)具有悬臂结构并且连接到基板(2)。 驱动电容(C1)被构造为面对波束部分(6)和基板(2),并且相应于施加DC电压时产生的静电吸引力使光束部分(6)移位。 可变电容被配置为面对波束部分(6)和基板(2),并且改变对应于波束部分(6)的位移的电容。 驱动电压控制电路(11)检测对应于驱动电容(C1)的变化的检测电压,并控制施加到驱动电容(C1)的直流电压,使得检测电压接近期望值。
    • 5. 发明申请
    • 可変容量装置
    • 可变电容器件
    • WO2011158620A1
    • 2011-12-22
    • PCT/JP2011/061925
    • 2011-05-25
    • 株式会社村田製作所梅田圭一柴原輝久
    • 梅田圭一柴原輝久
    • H01G5/16B81B3/00
    • H01G5/18H01G5/01
    •  チャージアップによるMEMSの動作不良を防ぐことができ、さらには駆動容量とRF容量との相関関係を一定に保つことが容易な、可変容量装置を提供する。可変容量装置(1)は、支持板(2)と可動梁(3)と駆動容量部(C2A,C2B)とRF容量部(C1A,C1B)とストッパ部(12)と同電位電極(9A,9B)とを備える。可動梁(3)は支持板(2)の主面に平行する片持ち梁構造である。ストッパ部(12)は、駆動容量部(C2A,C2B)を構成する駆動容量電極(7A,7B)にギャップ空間を介して対向する誘電体膜(8)の領域に、可動梁の主軸方向を長手として設ける。同電位電極(9A,9B)はストッパ部(12)を設けた領域に誘電体膜(8)を介して対向し、駆動容量電極(7A,7B)と同電位に接続される。
    • 提供了可以防止由于静电电荷引起的MEMS的故障的可变电容装置,并且可以容易地保持驱动电容和射频(RF)电容之间的恒定的相关性。 可变电容装置(1)具有支撑板(2),可动梁(3),驱动电容单元(C2A,C2B),RF电容单元(C1A,C1B),止动单元(12)和 单电极(9A,9B)。 可移动梁(3)具有平行于支撑板(2)的主表面的悬臂梁结构。 在构成驱动电容的驱动电容电极(7A,7B)的相反的电介质膜(8)的区域上,设置止动器单元(12),使其长度方向沿着可动光束的主轴方向 单位(C2A,C2B)。 单电极(9A,9B)经由电介质膜(8)与设置有止动器单元(12)的区域相反,并以相同的电位与驱动电容电极(7A,7B)连接。
    • 6. 发明申请
    • 可変容量装置
    • 可变电容器件
    • WO2011058826A1
    • 2011-05-19
    • PCT/JP2010/066643
    • 2010-09-27
    • 株式会社村田製作所梅田圭一柴原輝久山田宏
    • 梅田圭一柴原輝久山田宏
    • H01G5/16B81B3/00H01G7/00
    • H01G5/18H01G5/011
    •  必要とするDC電圧を抑制したまま、高電圧のRF信号が流れる信号ラインで適正に動作させることが可能な可変容量装置の提供を図る。可変容量装置(1)は、基板(2)と梁部(6)と下駆動電極(3A,3B,4A,4B)とを備える。梁部(6)は支持部(6C)で基板(2)に接続される。下駆動電極(4A,4B)および梁部(6)は、DC電圧が印加されて静電容量が生じ、この静電容量に基づく静電力によって梁部(6)は変形する。下駆動電極(3A,3B)は梁部(6)に対向し、梁部(6)を介して結合する。この下駆動電極(3A,3B)の間でRF信号が伝搬する。
    • 提供了一种可变电容器件,其可以在抑制所需的DC电压的同时,在通过高压RF信号的信号线中适当地工作。 可变电容器件(1)设置有基板(2),梁部(6)和下驱动电极(3A,3B,4A,4B)。 梁部分(6)经由支撑部分(6C)连接到基底(2)。 当向下驱动电极(4A和4B)和光束部分(6)施加DC电压时,下驱动电极(4A和4B)和光束部分(6)产生电容,并且光束部分(6)通过装置 由所述电容产生的静电力。 下驱动电极(3A和3B)面对光束部分(6),并通过光束部分(6)接合。 RF信号在下驱动电极(3A和3B)之间传输。