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1. 发明申请

WO2009060890A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009060890A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/JP2008/070190
申请日：2008-11-06
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/10 , B32B38/1858 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092
摘要：　本発明の貼合せ基板製造装置は、上基板と下基板とを位置合わせしつつ貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって、前記下基板を支持するベース部と；上下移動可能に構成され、前記ベース部とともに貼合せ処理室を形成するチャンバ部材と；前記ベース部に立設された支持棒と；前記支持棒に沿って前記チャンバ部材から独立して上下移動可能であり、かつ、前記上基板を保持可能な上加圧部材と；を備え、前記上加圧部材が移動することにより、前記貼合せ処理室の内部で上基板と前記下基板とが貼り合わされる。
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于支撑下基板的基部，可垂直移动的腔室部件，与基部形成接合处理室，直立设置在基部上的支撑杆，以及可垂直地设置的上部加压部件沿着支撑杆独立于室构件移动并保持上基板。上基板和下基板通过移动上加压构件而在接合处理室内部彼此接合。

2. 发明申请

WO2009060861A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009060861A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/JP2008/070121
申请日：2008-11-05
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/1333 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせしつつ貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって、前記下基板を載置する載置テーブルと；この載置テーブルを移動させる移動機構と；この移動機構が設置されたベース部と；このベース部に立設された支持棒と；この支持棒に沿って上下移動可能であり、かつ、前記上基板を保持可能な上加圧部材と；を備え、前記上加圧部材を下降させることにより、前記上加圧部材に保持された前記上基板と前記載置テーブルに載置された前記下基板とが貼り合わされる。
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设置有用于放置下基板的放置台，用于移动放置台的移动机构，配置有移动机构的基部，竖直地设置在基部上的支撑杆，以及能够沿着支撑杆垂直移动并且保持上基板。由上加压构件保持的上基板和放置在载置台上的下基板通过下压上加压构件而彼此接合。

3. 发明申请

WO2009063906A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009063906A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/JP2008/070589
申请日：2008-11-12
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/1018 , B32B38/1833 , B32B2038/1891 , B32B2457/202 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせし、貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって：前記下基板を支持するベース部と；前記ベース部から立設された第一支持棒と；前記第一支持棒に沿って上下移動可能であり、前記上基板を保持可能である上加圧部材と；前記上加圧部材から独立して上下移動可能である上部チャンバ部材および下部チャンバ部材を含む貼合せ処理室と；を備え、前記上加圧部材が移動することで、前記貼合せ処理室の内部で前記上基板と前記下基板とを貼り合わせ可能であり、前記上部チャンバ部材および前記下部チャンバ部材が、互いに当接する方向または離間する方向に同時に移動可能であることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
摘要翻译：公开了一种用于通过使上基板和下基板彼此对准和结合来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于支撑下基板的基部; 从所述基部直立设置的第一支撑杆; 上部加压构件，其可以沿着所述第一支撑杆垂直移动并保持所述上部基板; 以及接合处理室，其包括能够独立于上部加压构件垂直移动的上部室构件和下部室构件。上基板和下基板可以通过移动上加压构件而在接合处理室内部彼此接合。上室构件和下室构件可以在构件彼此抵接的方向或者构件彼此分离的方向上同时移动。

4. 发明申请

WO2009060855A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009060855A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/JP2008/070114
申请日：2008-11-05
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせしつつ貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって：前記下基板を載置するベース部と；このベース部に立設された支持棒と；この支持棒に沿って上下移動可能であり、かつ、前記上基板を保持可能な上加圧部材と；を備え、前記上加圧部材を下降させることにより、前記上加圧部材に保持された前記上基板と前記ベース部に載置された前記下基板とが貼り合わせられることを特徴とする。
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于放置下基板的基部，直立设置在基部上的支撑杆，以及能够沿着支撑杆垂直移动并保持上基板的上加压构件。由上加压构件保持的上基板和位于基部上的下基板通过下压上加压构件而彼此接合。

5. 发明申请

WO2009123070A1 太陽電池の製造方法および太陽電池の製造装置审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法和太阳能电池制造设备
公开(公告)号：WO2009123070A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056354
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/186 , H02S50/00 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥を有する区画素子（２１ｓ）を特定し、前記区画素子（２１，２１ｓ）において構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する領域を特定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する一部の領域に限定的にバイアス電圧を印加することにより前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且上述隔间元件（21,21s）彼此相邻并电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷的隔室元件（21s），在上述隔间元件（21,21s）中存在缺陷（R，A1，A2，A3）的区域，并且对存在上述结构缺陷（R，A1，A2，A3）的部分区域施加偏压以消除上述结构缺陷（R，A1，A2，A3）。

6. 发明申请

WO2009123040A1 太陽電池の製造方法，太陽電池の製造装置，及び太陽電池审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法，太阳能电池制造装置和太阳能电池
公开(公告)号：WO2009123040A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056249
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04 , G01R31/00
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/0463 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を有する第１区画素子（２１ｓ）を特定し、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布に基づき、欠陥部位を特定することにより、前記第１区画素子（２１ｓ）内で構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を限定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を含む前記第１区画素子（２１ｓ）と、前記第１区画素子（２１ｓ）に隣接する第２区画素子（２１）との間の境界部（１９）を横断するように、前記第１区画素子（２１ｓ）及び前記第２区画素子（２１）にレーザー光線を照射し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去もしくは分離する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且其中相邻的上述隔间元件（21,21s）彼此电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷（R，A1，A2，A3）的第一隔室元件（21s），并且通过基于通过测量多个电阻值获得的电阻值的分布来指定缺陷位置定义相互相邻的隔间元件（21,21s）之间的位置，在上述第一隔室元件（21s）内存在结构缺陷（R，A1，A2，A3）的位置，并将激光施加到上述第一隔室元件（21s）和与上述第一隔室元件（21s）相邻的第二隔室元件（21），以跨过上述第一隔室元件（21s）之间的边界部分（19），其包括上述结构缺陷（R ，A1，A2，A3），并且上述第二隔室元件（21）和上述缺陷（R，A1，A2，A3）被消除或隔离。

7. 发明申请

WO2009123039A1 太陽電池の製造方法および太陽電池の製造装置审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法和太阳能电池制造设备
公开(公告)号：WO2009123039A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056247
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04 , G01R31/00
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥を有する区画素子（２１ｓ）を特定し、互いに隣接する区画素子（２１，２１ｓ）どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布から欠陥部位を特定することにより、前記区画素子（２１ｓ）内で前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を限定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位にバイアス電圧を印加して前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且其中相邻的上述隔间元件（21,21s）彼此电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷的隔室元件（21s），并且通过基于通过测量相互相邻的隔间元件（21,22）之间的多个位置处的电阻值而获得的电阻值的分布来指定缺陷位置， 21s）中规定了在上述隔室元件（21s）内存在结构缺陷（R，A1，A2，A3）的位置，并且将偏置电压施加到上述结构缺陷（R，A1， A2，A3）以消除上述结构缺陷（R，A1，A2，A3）。

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