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    • 2. 发明申请
    • MEMSスイッチ
    • MEMS开关
    • WO2005062332A1
    • 2005-07-07
    • PCT/JP2004/019032
    • 2004-12-20
    • 松下電器産業株式会社橋村 昭範内藤 康幸中村 邦彦中西 淑人
    • 橋村 昭範内藤 康幸中村 邦彦中西 淑人
    • H01H59/00
    • H01H59/0009H01H2001/0078
    •    製造が容易かつ微細で、十分なON/OFF静電容量変化比を得ることができるMEMSスイッチを提供する。    基板46と、前記基板表面に形成された導電性梁42と、前記基板表面に形成され、前記導電性梁に対向する位置に配置された3層構造梁B1,B2とを備えるMEMSスイッチであって、前記3層構造梁は、第1の導電体層38,40、第2の導電体層30,32、及び前記第1の導電体層と前記第2の導電体層に挟まれた誘電体層34,36を含み、前記第1の導電体層は、前記導電性梁42に対向しており、前記導電性梁42及び前記3層構造梁の少なくとも一方が、前記基板46に平行な面上で静電力によって変位して前記導電性梁42と前記第1の電極38,40が接触可能であり、前記導電性梁42と前記第1の導電体層が接触時に、前記導電性梁42と前記第2の導電体層30,32との間で導電路が形成されることを特徴とする。
    • 精密的MEMS开关易于生产,并具有足够的IN / OFF电容变化率。 MEMS开关包括基板(46),形成在基板上的导电梁(42)和形成在基板上并与导电梁相对的三层结构梁(B1,B2)。 MEMS开关的特征在于,三层结构梁包括介于相应的第一和第二导电层之间的第一导电层(38,40),第二导电层(30,32)和介电层(34,36) 第一导电层与导电梁(42)相对,导电梁(42)和三层结构梁中的至少一个通过平行于基板(46)的平面中的静电力而变形,从而 使导电梁(42)和第一电极(38,40)彼此接触,并且当导电梁(42)和第二导电层(30,32)之间的导电路径 42)并且第一导电层彼此接触。
    • 8. 发明申请
    • 電気機械メモリ、それを用いた電気回路及び電気機械メモリの駆動方法
    • 电子机械存储器,使用其的电路和电子机械存储器驱动方法
    • WO2006137455A1
    • 2006-12-28
    • PCT/JP2006/312443
    • 2006-06-21
    • 松下電器産業株式会社内藤 康幸
    • 内藤 康幸
    • H01L27/10B81B3/00
    • H01L27/10G11C23/00
    •  従来の半導体プロセスとの親和性が高く、機械的に電気的導通路を完全遮断するスイッチング機能を有し、かつ不揮発性の情報記録を可能とするメモリ素子を実現する。  基板上に形成された電気機械メモリであって、メモリセルを電極で挟む形で形成されており、ポスト部を介して中空に架橋された梁である可動電極を具備した電気機械メモリを実現する。この構成により、簡易な構造で不揮発性メモリを実現することが可能となり、従来実現困難であった低消費電力、低コストの高性能電気機械メモリおよびそれを用いた電気機器が実現可能となる。                                                                      
    • 可以实现与常规半导体处理具有高亲和度的存储元件和用于完全机械地切断电路并且能够执行非易失性信息记录的切换功能。 提供了形成在基板上的机电存储器。 存储器具有由电极夹持的存储单元和作为通过柱部分桥接中空的光束的可动电极。 通过使用该结构,能够实现结构简单的非易失性存储器。 也就是说,可以实现低功耗和低成本的高性能机电存储器和使用它的电子装置。
    • 9. 发明申请
    • 電気機械スイッチ
    • 电动开关
    • WO2006043542A1
    • 2006-04-27
    • PCT/JP2005/019111
    • 2005-10-18
    • 松下電器産業株式会社内藤 康幸中西 淑人
    • 内藤 康幸中西 淑人
    • H01H59/00B81B3/00
    • H01P1/127H01G5/16H01H59/0009H01L2924/0002H01L2924/00
    •   高い信頼性の電気機械スイッチを実現するために、セルフアクチュエーションを回避する機構を具備した電気機械スイッチおよびそれを用いた電気機器を提供する。   本発明電気機械フィルタは、基板上に形成された電気機械スイッチであって、信号の伝送線路となる固定電極および前記固定電極とギャップを介して中空に形成された可動電極を具備し、前記固定電極の上には絶縁膜を具備し、ポスト部上に形成され前記可動電極の周囲に形成されたアクチュエータを具備することにより、従来実現困難であったセルフアクチュエーションを回避する可動電極固定機構を具備した電気機械スイッチを実現する。
    • 提供具有用于防止自动致动的机构的机电开关,以实现高度可靠的机电开关,并且提供使用机电开关的电子设备。 机电滤波器是形成在电路板上的机电开关,并且设置有作为信号传输线的固定电极和通过固定电极形成中空的可动电极和间隙。 在固定电极上设置绝缘膜,在可动电极周边的后部形成有致动器。 因此,实现了设置有难以提供的用于防止自身致动的可动电极固定机构的机电开关。