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1. 发明申请

WO2017039861A1 RADIO FREQUENCY MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS HAVING INVERTED MICROSTRIP TRANSMISSION LINES AND METHOD OF MAKING THE SAME 审中-公开
标题翻译：具有反相微波传输线的无线电频率微机电系统及其制造方法
公开(公告)号：WO2017039861A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/US2016/043282
申请日：2016-07-21
申请人： GENERAL ELECTRIC COMPANY
发明人： LEE, Yongjae , IANNOTTI, Joseph, Alfred , KEIMEL, Christopher, Fred , KAPUSTA, Christopher, James
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： H01P1/127 , B81B7/007 , H01H49/00 , H01H59/0009 , H01P11/00
摘要： A radio frequency (RF) microelectromechanical system (MEMS) package includes a first mounting substrate, a signal line formed on a top surface of the first mounting substrate, the signal line comprising a MEMS device selectively electrically coupling a first portion of the signal line to a second portion of the signal line, and a ground assembly coupled to the first mounting substrate. The ground assembly includes a second mounting substrate, a ground plane formed on a bottom surface of the second mounting substrate, and at least one electrical interconnect extending through a thickness of the second mounting substrate to contact the ground plane, wherein the ground plane is spaced apart from the signal line.
摘要翻译：射频（RF）微机电系统（MEMS）封装包括第一安装衬底，形成在第一安装衬底的顶表面上的信号线，该信号线包括选择性地电耦合信号线的第一部分到信号线的第二部分，以及耦合到第一安装基板的接地组件。接地组件包括第二安装基板，形成在第二安装基板的底表面上的接地平面以及延伸穿过第二安装基板的厚度以接触接地平面的至少一个电互连，其中接地平面间隔开除了信号线。

2. 发明申请

WO2013066968A1 SYSTEMS AND METHODS FOR HIGH POWER RF CHANNEL SELECTION 审中-公开
标题翻译：用于大功率射频通道选择的系统和方法
公开(公告)号：WO2013066968A1
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：PCT/US2012/062729
申请日：2012-10-31
申请人： TECHNOLOGY SERVICE CORPORATION
发明人： WOLFSON, Brandon, Joseph , FITZPATRICK, Douglas, Don
IPC分类号： H01P1/12 , H01P1/15 , H01P5/18
CPC分类号： H01P1/127 , H01P1/15 , H01P5/187 , H01Q1/36 , H01Q1/48 , H01Q5/50 , H01Q15/002
摘要： A switch is disclosed for selecting a port. The switch includes a dielectric layer, a first circuit, and a second circuit. The first and second circuits are disposed on the dielectric layer and electrically coupled to each other through the dielectric layer. The first circuit includes a set of ports. The switch further includes a control port for receiving a control signal and a plurality of switching elements. The control signal selects at least one of the set of ports to be connected to the second circuit by setting operational states of the plurality of switching elements.
摘要翻译：公开了用于选择端口的开关。开关包括电介质层，第一电路和第二电路。第一和第二电路设置在电介质层上并通过电介质层彼此电耦合。第一个电路包括一组端口。开关还包括用于接收控制信号的控制端口和多个开关元件。控制信号通过设置多个开关元件的操作状态来选择要连接到第二电路的一组端口中的至少一个。

3. 发明申请

WO2010148405A2 TUNABLE MEMS RESONATORS 审中-公开
标题翻译： TUNABLE MEMS谐振器
公开(公告)号：WO2010148405A2
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：PCT/US2010039374
申请日：2010-06-21
申请人： QUALCOMM INC , PARK SANG-JUNE
发明人： PARK SANG-JUNE
IPC分类号： H03H9/46 , H01P1/219 , H01P7/06 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02244 , E05Y2900/402 , H01P1/127 , H01P1/2084 , H03H9/462
摘要： Tunable MEMS resonators having adjustable resonance frequency and capable of handling large signals are described. In one exemplary design, a tunable MEMS resonator includes (i) a first part having a cavity and a post and (ii) a second part mated to the first part and including a movable plate located under the post. Each part may be covered with a metal layer on the surface facing the other part. The movable plate may be mechanically moved by a DC voltage to vary the resonance frequency of the MEMS resonator. The cavity may have a rectangular or circular shape and may be empty or filled with a dielectric material. The post may be positioned in the middle of the cavity. The movable plate may be attached to the second part (i) via an anchor and operated as a cantilever or (ii) via two anchors and operated as a bridge.
摘要翻译：描述了具有可调谐共振频率并且能够处理大信号的可调谐MEMS谐振器。在一个示例性设计中，可调MEMS MEMS谐振器包括（i）具有空腔和柱的第一部分和（ii）与第一部分配合的第二部分，并且包括位于柱下方的可动板。每个部分可以在面向另一部分的表面上被金属层覆盖。可移动板可通过DC电压机械地移动以改变MEMS谐振器的谐振频率。空腔可以具有矩形或圆形形状，并且可以是空的或者用电介质材料填充。柱可以位于腔的中间。可移动板可以经由锚固件附接到第二部件（i）并作为悬臂操作，或者（ii）经由两个锚定件并作为桥梁操作。

4. 发明申请

WO2010137447A1 可変容量素子审中-公开
标题翻译：可变能力元素
公开(公告)号：WO2010137447A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/JP2010/057802
申请日：2010-05-07
申请人：株式会社村田製作所 , 竹村光治
发明人：竹村　光治
IPC分类号： H01G5/16
CPC分类号： H01G5/011 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2059/0072 , H01P1/127
摘要：　幅寸法が４μｍ以下に設定された支持梁９をＩＣＰエッチングにより成形した後、熱酸化処理を施して支持梁９の全部を酸化させる。これにより、下側ガラス基板３に設けられた固定側信号電極２１,２２に供給される高周波信号が、可動部７、支持梁９を介して支持部５側へ漏洩するのを阻止または抑制することができる。また、可動部７を、単層のシリコン基板４により形成することで、その厚さ方向において対称の構造とすることができる。これにより、可動部７の反りを抑制して可動側信号電極２０と固定側信号電極２１,２２との間の静電容量を高精度に設定することができる。
摘要翻译：通过ICP蚀刻对设定为不大于4μm的宽度尺寸的支撑梁（9）进行成形，然后进行热氧化处理以氧化整个支撑梁（9）。以这种方式，可以通过可移动的方式防止或抑制提供给设置在下面的玻璃基板（3）上的固定侧信号电极（21,22）的高频信号的泄漏到支撑部分（5）（7）和支撑梁（9）。此外，通过使用单层硅基板（4）形成，可动部（7）也可以在其厚度方向上赋予对称的结构。以这种方式，能够抑制可动部（7）的翘曲，可以高精度地设定可动侧的信号电极（20）与固定侧的信号电极（21,22）之间的静电电容。

5. 发明申请

WO2007138101A1 CIRCULATEUR RADIOFREQUENCE OU HYPERFREQUENCE 审中-公开
标题翻译：无线电或高频电路
公开(公告)号：WO2007138101A1
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/EP2007/055355
申请日：2007-05-31
申请人： THALES , ZIAEI, Afshin
发明人： ZIAEI, Afshin
IPC分类号： H01P1/38 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/38 , H01H59/0009 , H01P1/127
摘要： Un circulateur à au moins trois ports (p1, p2, p3), comprend deux micro- commutateurs électromécaniques de type série identiques (MEMS1, MEMS2) formés sur un même substrat, un premier micro-commutateur étant disposé pour permettre la transmission d'une signal radiofréquence ou hyperfréquence depuis un port d'entrée (p1) vers un port (p2) destiné à être connecté à une antenne, un deuxième micro-commutateur étant disposé pour permettre la transmission de signal entre le port (p2) destiné à être connecté à une antenne vers ledit port de sortie. Application à un système de télécommunication radiofréquence ou hyperfréquence.
摘要翻译：本发明涉及具有至少三个端口（p1，p2，p3）的循环器。所述循环器包括形成在同一衬底上的两个相同的串联型机电微型开关（MEMS1，MEMS2），第一微型开关以这样一种方式被布置，以使得能够将射频或超频信号从入口端口（p1）传输到要连接到天线的端口（p2）和第二微型开关，以便能够将要连接到天线的端口（p2）与出口端口之间的信号传输。本发明可应用于射频或超频电信系统。

6. 发明申请

WO2006076182A1 IMPROVED MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL VARIABLE CAPACITOR DEVICE AND METHOD OF MAKING SAME 审中-公开
标题翻译：改进的微机电变压电容器及其制造方法
公开(公告)号：WO2006076182A1
公开(公告)日：2006-07-20
申请号：PCT/US2006/000069
申请日：2006-01-03
申请人： RAYTHEON COMPANY
发明人： ALLISON, Robert C. , NAKAHIRA, Ron K , PARK, Joon , TRAN, Brian H.
IPC分类号： H01G5/16 , H01P1/18 , H01P1/203
CPC分类号： H01G5/18 , H01P1/127 , H01P11/003
摘要： A micro-electro-mechanical variable capacitor device including a first substrate (24) ; a first contact (34) disposed on a first surface of the substrate; a piezoelectric actuator (16) disposed over the first surface of the substrate; a second contact (18) coupled to the actuator and disposed in proximity to the first contact; a gap control mechanism disposed between the substrate and the actuator for limiting movement of the first contact relative to the second contact. In the exemplary embodiment, the gap control mechanism is a gap control stop (37) constructed of dielectric material. In practice, plural stops are used. In the exemplary embodiment, plural thermosonic bonds (25) are used to connect the actuator to the first substrate. A second substrate (14) is disposed over the piezo-electric actuator. The second substrate has wells (15, 17) over the bonds to facilitate application of a bonding tool (19) to the bonds. The gap control mechanism provides consistent height control between a flipped chip and its base substrate without exposing the assembly to high temperatures.
摘要翻译：一种微机电可变电容器装置，包括第一基板（24）; 设置在所述基板的第一表面上的第一触点（34）设置在所述基板的所述第一表面上的压电致动器（16）耦合到所述致动器并且设置在所述第一触点附近的第二触点（18）; 间隙控制机构，设置在所述基板和所述致动器之间，用于限制所述第一接触件相对于所述第二接触件的移动。在示例性实施例中，间隙控制机构是由介电材料构成的间隙控制停止件（37）。实际上，使用多个停止点。在示例性实施例中，多个热声键（25）用于将致动器连接到第一基板。第二基板（14）设置在压电致动器的上方。第二衬底在结合物上具有孔（15,17），以便于将粘合工具（19）施加到结合物上。间隙控制机构在翻转芯片与其基底之间提供一致的高度控制，而不将组件暴露于高温。

7. 发明申请

WO2005060453A2 SLOTTED PLANAR POWER CONDUCTOR 审中-公开
标题翻译：插槽式平面电源导体
公开(公告)号：WO2005060453A2
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/US2004037093
申请日：2004-11-05
申请人： FREESCALE SEMICONDUCTOR INC , STAUDINGER JOSEPH , MILLER MONTE G
发明人： STAUDINGER JOSEPH , MILLER MONTE G
IPC分类号： H01B7/24 , H01B11/02 , H01B11/06 , H01B12/00 , H01P1/12 , H01P5/00 , H01R4/00 , H02G3/06 , H02G15/08 , H03F3/04 , H03F3/60 , H03F3/68 , H05K9/00
CPC分类号： H01P1/127 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/49175 , H01L2924/00014
摘要： Because current can concentrate at planar wire edges, devices are often non-uniformly driven so that edge portions of devices burn out faster than interior portions, thereby causing a loss in performance or otherwise damaging the device. Traditional planar conductors (e.g., power dividers/combiners) ignore edge characteristics in attempting to address this problem. Conductors (and therefore power dividers (122)) are formed to include edge features to urge current away from the edges of the conductors to more uniformly drive devices fed by the conductors. In this way, for example, signal phase and amplitude are more uniform over a number of outputs of power dividers.
摘要翻译：由于电流可以集中在平面的线边缘，器件通常是不均匀的驱动，使得器件的边缘部分比内部部分燃烧得更快，从而导致性能的损失或以其他方式损坏器件。传统的平面导体（例如，功率分配器/组合器）在尝试解决该问题时忽略边缘特性。导体（以及因此功率分配器（122））形成为包括边缘特征以促使电流远离导体的边缘以更均匀地驱动由导体馈送的装置。以这种方式，例如，信号相位和幅度在功率分配器的多个输出上更均匀。

8. 发明申请

WO2004006276A3 RF RECEIVER SWITCHES 审中-公开
标题翻译： RF接收器开关
公开(公告)号：WO2004006276A3
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/US0319567
申请日：2003-06-20
申请人： SUPERCONDUCTOR TECH
发明人： SAITO ELNA R , HEY-SHIPTON GREGORY L , COSTA JAMES R , BILSKI STACEY M
IPC分类号： H01P1/12 , H04B1/036 , H04B1/38
CPC分类号： H01P1/127 , H04B1/036
摘要： RF switches and methods of use are provided. In one embodiment, a RF switch includes first and second switch assemblies, each comprising an elongate member and a magnetic housing on an end of the member. The magnet is disposed between contact pads for first and second circuits, and an electromagnetic source is coupled to the assemblies. Each switch has a first and second state. Another RF switch of the present invention includes a rotor, an elongate member disposed centrally through the rotor, an actuator coupled to the member and configured to rotate the member and the rotor, and a contact on the rotor that may touch a substrate. The contact is used to complete a first path or a second path.
摘要翻译：提供射频开关和使用方法。在一个实施例中，RF开关包括第一和第二开关组件，每个开关组件包括细长构件和位于构件的端部上的磁性壳体。磁体布置在用于第一和第二电路的接触垫之间，并且电磁源联接到组件。每个交换机都有第一和第二状态。本发明的另一种RF开关包括转子，设置在中心穿过转子的细长构件，联接到构件并构造成使构件和转子旋转的致动器，以及可接触基板的转子上的接触件。该联系人用于完成第一个路径或第二个路径。

9. 发明申请

WO2004055935A9 VARACTOR APPARATUSES AND METHODS 审中-公开
标题翻译：变压器装置和方法
公开(公告)号：WO2004055935A9
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：PCT/US0339806
申请日：2003-12-15
申请人： WISPRY INC , MUSALEM FRANCOIS-XAVIER , BOUWSTRA SIEBE , GILBERT JOHN R , MORRIS ARTHUR S III , RICHARDS RANDY J
发明人： MUSALEM FRANCOIS-XAVIER , BOUWSTRA SIEBE , GILBERT JOHN R , MORRIS ARTHUR S III , RICHARDS RANDY J
IPC分类号： A63H13/16 , H01G5/01 , H01G5/011 , H01G5/04 , H01G5/08 , H01G5/10 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01L21/20 , H01L29/93 , H01P1/10
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/04 , H01G5/08 , H01G5/10 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01P1/127
摘要： Micro-electro-mechanical system (MEMS) variable capacitor apparatuses, system and related methods are provided.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）可变电容器装置，系统及相关方法。

10. 发明申请

WO2002080207A1 MICRO-MACHINED RADIO FREQUENCY SWITCHES AND METHOD OF OPERATING THE SAME 审中-公开
标题翻译：微机无线电频率开关及其操作方法
公开(公告)号：WO2002080207A1
公开(公告)日：2002-10-10
申请号：PCT/US2002/009905
申请日：2002-03-29
申请人： ARIZONA STATE UNIVERSITY , SHEN, Jun , RUAN, Meichun
发明人： SHEN, Jun , RUAN, Meichun
IPC分类号： H01H1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/20 , H01H50/005 , H01H2050/007 , H01P1/127
摘要： A micro-machined radio frequency (RF) switch is described. The micro-machined RF switch includes a substrate, a moveable micro-machined cantilever supported by the substrate, and an actuation mechanism that causes the cantilever to switch between two or more states. In a first state, a conducting layer of the cantilever couples a RF transmission line to a reference signal. In a second state, the conducting layer does not couple the RF transmission line to the reference signal. In further states, the conducting layer can couple one or more additional RF transmission lines to respective reference signals. A portion of the cantilever can flex or be angled to enhance coupling of an RF transmission line to a reference signal.
摘要翻译：描述了微加工射频（RF）开关。微加工RF开关包括基板，由基板支撑的可移动的微加工悬臂，以及使悬臂在两个或多个状态之间切换的致动机构。在第一状态下，悬臂的导电层将RF传输线耦合到参考信号。在第二状态下，导电层不将RF传输线耦合到参考信号。在进一步的状态下，导电层可以将一个或多个附加RF传输线耦合到相应的参考信号。悬臂的一部分可以弯曲或成角度以增强RF传输线与参考信号的耦合。

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