专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2006106876A1 微小構造体のプローブカード、微小構造体の検査装置、検査方法およびコンピュータプログラム审中-公开
标题翻译：微结构探针卡和微结构检测器件，方法和计算机程序
公开(公告)号：WO2006106876A1
公开(公告)日：2006-10-12
申请号：PCT/JP2006/306745
申请日：2006-03-30
申请人：株式会社オクテック , 東京エレクトロン株式会社 , 奥村勝弥 , 八壁正巳 , 池内直樹
发明人：奥村勝弥 , 八壁正巳 , 池内直樹
IPC分类号： G01R1/073 , G01P21/00 , G01C9/06
CPC分类号： G01C19/56 , B81C99/005 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：　プローブあるいは検査用電極を傷つける事無く、また、プローブと検査用電極との接触とにおいて針圧の影響を抑制することにより、精度の高い検査を実行する、可動部を有する微小構造体のための検査方法を提供する。　微小構造体の検査を行なう場合には、まず、一対のプローブ（２）を各電極パッド（ＰＤ）に接触させた後、リレー（３０）を介して一対のプローブ（２）とフリッティング用電源（５０）とを接続する。次に、フリッティング用電源（５０）から一対のプローブ（２）に一方のプローブ（２）に対して電圧を印加する。そして、徐々に昇圧すると、フリッティング現象により一対のプローブ（２）間の酸化膜を破って一対のプローブ（２）間で電流が流れ、プローブ（２）と電極パッド（ＰＤ）間で電気的に導通する。次いで、リレー（３０）を介して一対のプローブ（２）をフリッティング用電源（５０）から測定部（４０）側に切り替えて測定部（４０）と電気的に結合させる。
摘要翻译：一种用于通过减小当探针与检查电极接触时针压的影响而高精度地检查具有可移动部件的微结构的方法，而不损坏探针或检查电极。为了检查微结构，一对探针（2）与电极焊盘（PD）接触，并且一对探针（2）通过继电器（30）连接到飞行电源（50）。从飞溅电源（50）向一个探针（2）施加电压。随着电压逐渐升高，由于闪络现象，电流通过探针（2）的氧化膜制动，并从一个探针（2）流到另一个（2），以在探针（2）之间建立电连接，和电极垫（PD）。电源从飞溅电源（50）切换到测量单元（40），以通过继电器（30）将探针（2）电连接到测量单元（40）。

2. 发明申请

WO2007125756A1 微小構造体の検査装置、及び微小構造体の検査方法审中-公开
标题翻译：检查细微结构的装置和检查细微结构的方法
公开(公告)号：WO2007125756A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/JP2007/058069
申请日：2007-04-12
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 池内直樹 , 八壁正巳 , 上郡明子
发明人：池内直樹 , 八壁正巳 , 上郡明子
IPC分类号： H01L21/66 , B81C5/00 , G01P21/00 , G01R1/073 , G01R31/28
CPC分类号： G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01R31/2829
摘要：　多方向の自由度を有する微小構造体について、可動部に直に接触することなく、各自由度方向の特性の動的試験を行うことができる検査装置を提供する。基板（８）上に形成された可動部（１６ａ）を有する、少なくとも１つの微小構造体（１６）の特性を評価する微小構造体の検査装置であって、微小構造体（１６）の電気信号を取り出すために、微小構造体（１６）に形成されたパッド（８ａ）に電気的に接続するプローブ（４ａ）と、微小構造体（１６）の可動部（１６ａ）の近傍に配置され、気体を噴出又は吸入する複数のノズル（１０）と、前記複数のノズル（１０）から噴出又は吸入する気体の流量を制御するノズル流量制御部（３）と、ノズル（１０）から噴出又は吸入する気体によって印加された可動部（１６ａ）の変位を、プローブ（４ａ）を介して得られる電気信号によって検出し、検出結果に基づいて微小構造体（１６）の特性を評価する評価手段と、を備える。
摘要翻译：本发明提供一种检测装置，其能够进行各自自由度的特性的动态试验，而不进行与多个方向的自由度的精细结构的直接接触。精细结构检查装置设置有形成在基板（8）上的可动部（16a），并评价至少一个精细结构（16）的特性。检查装置设置有与形成在精细结构（16）上的用于提取精细结构（16）的电信号的焊盘（8a）电连接的探针（4a）。布置在所述精细结构（16）的可移动部分（16a）附近用于吹出或吸入气体的多个喷嘴（10）; 喷嘴流量控制部（3），用于控制要从喷嘴（10）吹出或吸出的空气的流量; 以及评估装置，其通过由探针（4a）获得的电信号检测由喷嘴（10）吹出或吸出的气体施加的可动部分（16a）的位移，并评估精细结构（16）的特性）基于检测结果。

3. 发明申请

WO2006093232A1 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム审中-公开
标题翻译：分钟结构检查装置，分钟结构检查方法和分钟结构检查程序
公开(公告)号：WO2006093232A1
公开(公告)日：2006-09-08
申请号：PCT/JP2006/303996
申请日：2006-03-02
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 松本俊行 , 池内直樹 , 八壁正巳 , 円城寺啓一 , 林聖人
发明人：松本俊行 , 池内直樹 , 八壁正巳 , 円城寺啓一 , 林聖人
IPC分类号： G01N29/00 , G01P21/00
CPC分类号： G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：　スピーカ部（２）において、複数の音源を有し、各音源から音波を出力する。スピーカ部（２）から出力される疎密波である音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化についてプローブ（４）を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部（２０）は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。また、複数の音源の間隔は、３軸加速度センサの可動部までの距離差とテスト音波の波長に基づいて音源の間隔を所定の値に設定することにより、合成された音波の合成音場が最大となるように合成波であるテスト音波が可動部に対して印加される。
摘要翻译：扬声器单元（2）具有多个声源，从而从每个声源输出声波。作为从扬声器单元（2）输出的压缩波的声波的到来，即空气振动使作为检测芯片TP的微小结构的3轴加速度传感器的可动部移动。根据该运动而改变的电阻值的变化根据通过探针（4）给出的输出电压来测量。控制单元（20）根据所测量的特性值即测量数据判断3轴加速度传感器的特性。此外，根据与3轴加速度传感器的距离差和测试声波的波长，将多个声源之间的间隔设定为预定值，从而将作为合成波的测试声波应用于可动部，使合成声波的合成声场最大化。

4. 发明申请

WO2006030716A1 微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法审中-公开
标题翻译：微结构检测装置和微结构检测方法
公开(公告)号：WO2006030716A1
公开(公告)日：2006-03-23
申请号：PCT/JP2005/016663
申请日：2005-09-09
申请人：株式会社オクテック , 東京エレクトロン株式会社 , 八壁正巳 , 松本俊行 , 池内直樹 , 奥村勝弥
发明人：八壁正巳 , 松本俊行 , 池内直樹 , 奥村勝弥
IPC分类号： G01N29/12
CPC分类号： G01N29/14 , B81C99/005 , G01N29/4427 , G01N2291/2695 , G01N2291/2697
摘要：　電圧駆動部３０よりプローブ針Ｐを介して電圧をチップＴＰに印加して、微小構造体の可動部を動かす。微小構造体の可動部の動きに応答して発生する音をマイク３で検出する。そして、マイク３で検出した音を測定部２５で測定し、制御部２０で理想的なチップＴＰで検出される音との比較に基づいて検出チップＴＰの特性を評価する。
摘要翻译：电压通过探针（P）通过电压驱动部件（30）施加到芯片（TP），并且微结构体的可移动部分移动。通过麦克风（3）检测响应于微结构的可移动部分的运动而产生的声音。然后，通过测量部件（25）测量由麦克风（3）检测到的声音，并且通过与从理想芯片检测到的声音进行比较的控制部分（20）来评估检测芯片（TP）的特性（TP）。

5. 发明申请

WO2007018186A1 微小構造体の検査装置，検査方法および検査プログラム审中-公开
标题翻译：检查精细结构和检查程序的装置和方法
公开(公告)号：WO2007018186A1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/JP2006/315610
申请日：2006-08-07
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 八壁正巳 , 池内直樹
发明人：八壁正巳 , 池内直樹
IPC分类号： G01P21/00 , B81C5/00 , G01N27/00 , G01P15/18 , G01R1/073 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2829 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/0842
摘要：　３次元加速度センサの測定チップをチャックに装着し（ＳＰ１）、プローブ針を測定チップに移動させ（ＳＰ２）、フリッティング制御を行って（ＳＰ４）、プローブ針を測定チップの電極パッドに接続し、ＤＣテストを行った（ＳＰ７～ＳＰ１０）後、スピーカから測定チップの可動部にテスト音波を与えて加振テストを行い（ＳＰ１１～ＳＰ１３）、その結果に基づいて３次元加速度センサの特性を測定する。
摘要翻译：在三维加速度传感器中测量的芯片被装载在卡盘（SP1）上，探针移动到待测芯片（SP2），进行烧结控制（SP4），探针连接到要测量的芯片的电极焊盘和进行直流测试（SP7-SP10）。然后，通过从扬声器（SP11-SP13）向测量用芯片的可动部施加测试声波，进行振动试验，根据该结果，测定三维加速度传感器的特性。

6. 发明申请

WO2007013580A1 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体装置の製造方法プログラムおよび半導体製造装置审中-公开
标题翻译：半导体器件，半导体器件制造方法，半导体器件制造方法程序和半导体制造器件
公开(公告)号：WO2007013580A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：PCT/JP2006/314957
申请日：2006-07-28
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 池内直樹 , 八壁正巳
发明人：池内直樹 , 八壁正巳
IPC分类号： G01P21/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
摘要：　テスタでのテスト結果を用いて製造段階でのばらつきを補償することが可能な微小構造体を有する半導体装置、その製造方法およびその製造方法プログラムおよび半導体製造装置を提供する。テスタ１において、テスト音波を入力して、テスト音波の入力に応答したデバイスの出力電圧を検出する。ボンダー（６０）は、テスタ（１）のテスト結果を受けて、デバイスの分類分けを実行する。そして、分類分けされたグループに対応する増幅器の増幅率となるようにボンディングを実行して調整する。
摘要翻译：提供了一种半导体器件，其具有能够通过使用由测试仪，其制造方法，其制造方法程序和半导体制造器件进行的测试的结果来补偿制造阶段的不规则性的微结构。在测试器（1）中，输入测试声波，以响应于测试声波的输入来检测设备的输出电压。接合器（60）从测试器（1）接收测试结果并执行设备的分类。执行用于调整与分类组相对应的放大器的放大率的接合。

7. 发明申请

WO2006049133A1 プローブ审中-公开
标题翻译：探测
公开(公告)号：WO2006049133A1
公开(公告)日：2006-05-11
申请号：PCT/JP2005/020016
申请日：2005-10-31
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 八壁正巳 , 星野智久 , 池内直樹
发明人：八壁正巳 , 星野智久 , 池内直樹
IPC分类号： G01R1/067 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R1/07342
摘要：　梁部３は支持部２によってプローブ基板１に対して、所定の間隔を有して片持ち支持されており、梁部３にはプローブ基板１から遠ざかる方向に延びる接触子４が設けられている。梁部３には、プローブ基板１に対向して延びる突起５が設けられる。プローブ基板１に荷重をかけたとき、突起５がプローブ基板１に当接することで梁部３に加わる応力を分散できる。
摘要翻译：一种探针，其中梁部分（3）相对于探针基板（1）以指定的间隔被支撑部分（2）悬臂，以及沿与探针基板（1）相离的方向延伸的接触器（4）装配到梁部分（3）上。在梁部（3）上形成有朝向探针基板（1）延伸的突起（5）。由于当向探针基板（1）施加负载时，由于使突起（5）与探针基板（1）接触，所以能够分散施加到梁部（3）的应力。

8. 发明申请

WO2003023422A1 静電容量検出回路、静電容量検出装置及びマイクロホン装置审中-公开
标题翻译：电容测量电路，电容测量仪器和麦克风设备
公开(公告)号：WO2003023422A1
公开(公告)日：2003-03-20
申请号：PCT/JP2002/009139
申请日：2002-09-06
申请人：住友金属工業株式会社 , 八壁正巳 , 池内直樹
发明人：八壁正巳 , 池内直樹
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： H04R29/004 , G01N27/22 , H04R19/04
摘要： A capacitance measuring circuit 10 comprising an AC voltage generator 11, a first operational amplifier 14 having a noninverted input terminal connected to a predetermined potential in this example, to the ground, a second operational amplifier 16 constituting a voltage follower, a resistor R1 12 connected between the AC voltage generator 11 and the inverted input terminal of the first operational amplifier 14, a resistor R2 13 connected between the inverted output terminal of the first operational amplifier 14 and the output terminal of the second operational amplifier 16, and an impedance element capacitor 15 connected between the output terminal of the first operational amplifier 14 and the noninverted input terminal of the second operational amplifier 16, wherein a capacitor 17 to be measured is connected between the noninverted input terminal of the second operational amplifier 16 and a predetermined potential, and the capacitor measuring circuit 10 is provided in a position adjacent to the capacitor 17 to be measured.
摘要翻译：一个电容测量电路10包括一个交流电压发生器11，一个第一运算放大器14，具有连接到本例中的预定电位的非反相输入端，一个构成电压跟随器的第二运算放大器16，一个连接的电阻器R112 在交流电压发生器11和第一运算放大器14的反相输入端之间，连接在第一运算放大器14的反相输出端和第二运算放大器16的输出端之间的电阻R213和阻抗元件电容连接在第一运算放大器14的输出端和第二运算放大器16的非反相输入端之间，其中待测量的电容器17连接在第二运算放大器16的非反相输入端和预定电位之间，以及电容器测量电路10设置在相邻的位置将电容器17进行测量。

9. 发明申请

WO2003023421A1 静電容量検出回路、静電容量検出装置及びマイクロホン装置审中-公开
标题翻译：电容测量电路，电容测量仪器和麦克风设备
公开(公告)号：WO2003023421A1
公开(公告)日：2003-03-20
申请号：PCT/JP2002/009138
申请日：2002-09-06
申请人：住友金属工業株式会社 , 八壁正巳 , 池内直樹
发明人：八壁正巳 , 池内直樹
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： H04R29/004 , G01R27/26
摘要： A capacitance measuring circuit 10 comprising an AC voltage generator 11, an operational amplifier 14 having a noninverted input terminal connected to a predetermined potential in this example, to the ground, an impedance converter 16, a resistor R1 12 connected between the AC voltage generator 11 and the inverted input terminal of the operational amplifier 14, a resistor R2 13 connected between the inverted output terminal of the operational amplifier 14 and the output terminal of the impedance converter 16, and an impedance element capacitor 15 connected between the output terminal of the operational amplifier 14 and the input terminal of the impedance converter 16, wherein a capacitor 17 to be measured is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and a predetermined potential, and the capacitor measuring circuit 10 is provided in a position adjacent to the capacitor 17 to be measured.
摘要翻译：一个电容测量电路10包括一个交流电压发生器11，一个运算放大器14，其在本例中连接到一个预定电位的非反相输入端，一个阻抗转换器16，一个连接在交流电压发生器11 和运算放大器14的反相输入端子，连接在运算放大器14的反相输出端子和阻抗转换器16的输出端子之间的电阻器R2 13和连接在运算放大器14的输出端子之间的阻抗元件电容器15 放大器14和阻抗转换器16的输入端，其中待测量的电容器17连接在阻抗转换器16的输入端和预定电位之间，电容测量电路10设置在与电容器相邻的位置 17被测量。

10. 发明申请

WO2003023420A1 インピーダンス検出回路、その方法及び静電容量検出回路审中-公开
标题翻译：阻抗测量电路，其方法和电容测量电路
公开(公告)号：WO2003023420A1
公开(公告)日：2003-03-20
申请号：PCT/JP2002/009137
申请日：2002-09-06
申请人：住友金属工業株式会社 , 八壁正巳 , 池内直樹
发明人：八壁正巳 , 池内直樹
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： H04R29/004 , G01R27/26
摘要： A capacitance measuring circuit 10 comprising a DC voltage generator 11, an operational amplifier 14 having a noninverted input terminal connected to a predetermined potential, an impedance converter 16, a resistor R1 12 connected between the DC voltage generator 11 and the inverted input terminal of the operational amplifier 14, a resistor R2 13 connected between the inverted output terminal of the operational amplifier 14 and the output terminal of the impedance converter 16, and a capacitor 15 connected between the output terminal of the operational amplifier 14 and the input terminal of the impedance converter 16, wherein a capacitor 17 to be measured is connected between the input terminal of the impedance converter 16 and a predetermined potential.
摘要翻译：电容测量电路10包括直流电压发生器11，具有连接到预定电位的非反相输入端的运算放大器14，阻抗转换器16，连接在直流电压发生器11和反相输入端之间的电阻器R112 运算放大器14，连接在运算放大器14的反相输出端和阻抗转换器16的输出端之间的电阻器R2 13和连接在运算放大器14的输出端与阻抗转换器16的输出端之间的电容器15 转换器16，其中待测量的电容器17连接在阻抗转换器16的输入端和预定电位之间。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式