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    • 3. 发明申请
    • 磁界センサ
    • 磁场传感器
    • WO2005096007A1
    • 2005-10-13
    • PCT/JP2005/006073
    • 2005-03-30
    • 日本電気株式会社安道 徳昭増田 則夫
    • 安道 徳昭増田 則夫
    • G01R33/02
    • G01R29/0878G01R31/315G01R33/028
    •  導電体層により形成された2つのコイル形成要素(12,14)と、導電体層の間に介在する層間絶縁膜(13)に形成されかつ上下のコイル形成要素をヴィアコンタクトさせるコンタクト手段(19)とから、積層コイル(10)を構成する。積層コイルの一端を、ストリップ線路(20)の上部グランド層(27)に接続し、積層コイルの他端をストリップ線路のストリップ導体(23)に接続する。積層コイルのターン数は1よりも大きい。したがって、積層コイルを貫く磁束が大きくなり、比較的大きな起電力を誘導させることができるので、高空間分解能化を図ることが容易になる。
    • 层叠线圈(10)由形成有导体层的两个线圈形成元件(12,14)和形成在设置在导体层之间的层间绝缘膜(13)上的接触装置(19)构成, 上下线圈形成元件通过通孔接触。 层叠线圈的一个边缘连接到带状线(20)的上接地层(27),并且层叠线圈的另一边缘连接到带状线的带状导体(23)。 层叠线圈的匝数大于1.由于穿过层叠线圈的磁通量变大并且可以引起较大的电动势,因此可以容易地获得高空间分辨率。