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热词
    • 1. 发明申请
    • 基板重ね合せ封止方法
    • 在堆叠时密封衬底的方法
    • WO2005041156A1
    • 2005-05-06
    • PCT/JP2003/013536
    • 2003-10-23
    • 信越エンジニアリング株式会社竹節 憲之古閑 泰行大嶋 秀樹稲葉 亮一
    • 竹節 憲之古閑 泰行大嶋 秀樹稲葉 亮一
    • G09F9/30
    • H01J9/261
    •  静電吸着手段(5b)による上側基板(A)の保持解除と連動して、該上側基板の背面側から気体(G)を噴出させ、この気体を上方保持板(1)の静電吸着面(5b1)と上側基板の背面との間に強制注入することにより、これら静電吸着面と基板面の密着状態を破壊し両者を剥離することで、両者間の静電吸着力が強制的に減衰されて消滅すると共に、注入した気体の圧力で下側基板(B)への落下力、即ち落下の加速度が強制的に作用され、それにより、該上側基板が瞬時に下側基板の上へ圧着し、静電吸着手段(5b)で保持したまま上側基板が姿勢変化することなく下側基板の上へ移動して圧着され、上下基板を封止して重ね合わされる。従って、静電吸着力の解除ムラに関係なく上側基板を位置合わせされたまま強制的に落下できる。
    • 在与上部基板(A)的释放用静电吸引装置(5b)的动作联动的同时,从上部基板的背面喷射气体(G),并强制地注入上部基板的静电吸引面(5b1) 保持板(1)和上基板的背面。 由于静电吸引面和基板表面的粘附状态被破坏并且它们彼此剥离,所以它们之间的静电吸引力被强制地衰减并被消除。 由于由于注入气体的压力而在下基板(B)上产生下降的力或下降的加速度,所以上基板立即粘附到下基板上。 上部基板在被静电吸引装置(5b)保持的同时被移动到下基板上,而不改变姿态,并且在被密封的同时粘合并堆叠在其上。 因此,无论静电吸引力的变化被释放,上基板能够被对准而强制地下降。
    • 2. 发明申请
    • 基板位置合わせ装置
    • 基板定位装置
    • WO2005041154A1
    • 2005-05-06
    • PCT/JP2004/014066
    • 2004-09-27
    • 信越エンジニアリング株式会社横田 明義石坂 一朗大嶋 秀樹関川 利夫竹節 憲之
    • 横田 明義石坂 一朗大嶋 秀樹関川 利夫竹節 憲之
    • G09F9/00
    • G02F1/1341
    •  【課題】 XYθステージを用いずに精度良く基板同士を位置合わせする。  【解決手段】 上下保持板1,2のどちらか一方を他方に対し両基板A,B同士を平行に保持したままXYθ方向へ調整移動自在に支持するための手段として、上下保持板1,2の一方から真空室Sの天井壁3又は底壁4へ向けて揺動リンクガイド機構6を設け、この揺動リンクガイド機構6をXYθ方向移動手段5でXYθ方向へ揺動させることにより、上下保持板1,2の一方が他方に対しXYθ方向へ調整移動されて、これら上基板Aと下基板BがXYθ方向へ相互に位置合わせされる。  
    • [问题]为了在不使用XYθ台的情况下相对于彼此精确地定位基板。 用于解决问题的手段作为用于在XYθ方向上支撑,可调和可移动的装置的摆动引导机构(6),两个基板(A)的上和下保持板(1)和(2)之一 )和彼此平行地保持的(B)安装在从上和下保持板(1)和(2)中的一个到真空室的顶壁(3)或底壁(4)的区域中 S)。 当通过XYθ方向移动装置(5)使摆动连杆引导机构(6)在XYθ方向上摆动时,上,下夹持板(1)和(2)中的一个在XYθ中相对于另一个可调节地移动 方向将这些上下基板(A)和(B)相对于XYθ方向定位。
    • 3. 发明申请
    • プロピレン−エチレンブロック共重合体およびその成形体
    • 丙烯 - 乙烯嵌段共聚物及其成型品
    • WO2007026913A1
    • 2007-03-08
    • PCT/JP2006/317405
    • 2006-08-29
    • 住友化学株式会社大嶋 秀樹眞田 隆
    • 大嶋 秀樹眞田 隆
    • C08F297/08
    • C08F297/083C08F210/06C08F297/08C08L53/00C08L2666/04C08L2666/02C08F210/16C08F2500/17C08F2500/11
    •  ポリプロピレン部分60~85重量%と、プロピレン−エチレンランダム共重合体部分15~40重量%とを含有し、下記(1)および(2)を満足するプロピレン−エチレンブロック共重合体が提供される。さらに、かかるプロピレン−エチレンブロック共重合体を含有する成形体が提供される。 (1)プロピレン−エチレンランダム共重合体部分が、プロピレン−エチレンランダム共重合体成分(EP−A)とプロピレン−エチレンランダム共重合体成分(EP−B)とを含有し、共重合体成分(EP−A)の固有粘度が4dl/g以上8dl/g未満、エチレン単位含有量が20~60重量%であり、共重合体成分(EP−B)の固有粘度が0.5dl/g以上3dl/g未満、エチレン単位含有量が40~60重量%である。 (2)プロピレン−エチレンブロック共重合体のメルトフローレートが5~120g/10分である。
    • 公开了一种丙烯 - 乙烯嵌段共聚物,其包含60至85重量%的聚丙烯部分和15至40重量%的丙烯 - 乙烯无规共聚物部分,并且满足以下要求(1)和(2):(1 )丙烯 - 乙烯无规共聚物部分包括丙烯 - 乙烯无规共聚物部分(EP-A)和丙烯 - 乙烯无规共聚物部分(EP-B); 共聚物部分(EP-A)的特性粘度不低于4dl / g且小于8dl / g,乙烯单元含量为20〜60重量% 共聚物部分(EP-B)的特性粘度不低于0.5dl / g且小于3dl / g,乙烯单元含量为40〜60wt% 和(2)丙烯 - 乙烯嵌段共聚物的熔体流动速率为每10分钟5至120g。 还公开了包含丙烯 - 乙烯嵌段共聚物的模塑制品。
    • 4. 发明申请
    • プロピレン−エチレン−ブテンブロック共重合体およびその成形体
    • 丙烯 - 乙烯 - 嵌段共聚物及其成型品
    • WO2007026912A1
    • 2007-03-08
    • PCT/JP2006/317404
    • 2006-08-29
    • 住友化学株式会社大嶋 秀樹眞田 隆若松 和気
    • 大嶋 秀樹眞田 隆若松 和気
    • C08F297/08
    • C08F297/08C08F297/083C08L23/12C08L53/00C08L2666/06
    •  プロピレン−エチレン−ブテンブロック共重合体であって、ポリプロピレン部分60~85重量%と、プロピレン−エチレン−ブテンランダム共重合体部分15~40重量%とを含有し、下記要件(1)および(2)を満足するプロピレン−エチレン−ブテンブロック共重合体が提供される。さらに、かかるプロピレン−エチレン−ブテンブロック共重合体を含有する成形体が提供される。 (1)前記ランダム共重合体部分が、プロピレン−エチレンランダム共重合体成分(EP)とプロピレン−エチレン−ブテンランダム共重合体成分(EPB)とを含有し、共重合体成分(EP)の固有粘度が1.5~8dl/g、エチレン単位含有量が20~50重量%、共重合体成分(EPB)の固有粘度が0.5~8dl/g、エチレン単位含有量が47~77重量%、ブテン単位含有量が3~33重量%、エチレン単位含有量とブテン単位含有量の合計量が50~80重量%である。 (2)プロピレン−エチレン−ブテンブロック共重合体のメルトフローレートが5~120g/10分である。
    • 公开了一种丙烯 - 乙烯 - 丁烯嵌段共聚物,其包含60至85重量%的聚丙烯部分和15至40重量%的丙烯 - 乙烯 - 丁烯无规共聚物部分,并且满足以下要求(1)和(2 ):(1)无规共聚物部分包含丙烯 - 乙烯无规共聚物部分(EP)和丙烯 - 乙烯 - 丁烯无规共聚物部分(EPB); 共聚物部分(EP)的特性粘度为1.5〜8dl / g,乙烯单元含量为20〜50重量% 共聚物部分(EPB)的特性粘度为0.5〜8dl / g,乙烯单元含量为47〜77重量%,丁烯单元含量为3〜33重量%,其中乙烯 单位含量和丁烯单元含量为50〜80重量% 和(2)丙烯 - 乙烯 - 丁烯嵌段共聚物的熔体流动速率为每10分钟5至120g。 还公开了包含丙烯 - 乙烯 - 丁烯嵌段共聚物的模塑制品。