专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2005041154A1 基板位置合わせ装置审中-公开
标题翻译：基板定位装置
公开(公告)号：WO2005041154A1
公开(公告)日：2005-05-06
申请号：PCT/JP2004/014066
申请日：2004-09-27
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 横田明義 , 石坂一朗 , 大嶋秀樹 , 関川利夫 , 竹節憲之
发明人：横田明義 , 石坂一朗 , 大嶋秀樹 , 関川利夫 , 竹節憲之
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： G02F1/1341
摘要：　【課題】　ＸＹθステージを用いずに精度良く基板同士を位置合わせする。　【解決手段】　上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対し両基板Ａ，Ｂ同士を平行に保持したままＸＹθ方向へ調整移動自在に支持するための手段として、上下保持板１，２の一方から真空室Ｓの天井壁３又は底壁４へ向けて揺動リンクガイド機構６を設け、この揺動リンクガイド機構６をＸＹθ方向移動手段５でＸＹθ方向へ揺動させることにより、上下保持板１，２の一方が他方に対しＸＹθ方向へ調整移動されて、これら上基板Ａと下基板ＢがＸＹθ方向へ相互に位置合わせされる。　
摘要翻译： [问题]为了在不使用XYθ台的情况下相对于彼此精确地定位基板。用于解决问题的手段作为用于在XYθ方向上支撑，可调和可移动的装置的摆动引导机构（6），两个基板（A）的上和下保持板（1）和（2）之一）和彼此平行地保持的（B）安装在从上和下保持板（1）和（2）中的一个到真空室的顶壁（3）或底壁（4）的区域中 S）。当通过XYθ方向移动装置（5）使摆动连杆引导机构（6）在XYθ方向上摆动时，上，下夹持板（1）和（2）中的一个在XYθ中相对于另一个可调节地移动方向将这些上下基板（A）和（B）相对于XYθ方向定位。

2. 发明申请

WO2003091970A1 フラットパネル用基板の貼り合わせ装置审中-公开
标题翻译：平板底板用贴装装置
公开(公告)号：WO2003091970A1
公开(公告)日：2003-11-06
申请号：PCT/JP2003/004963
申请日：2003-04-18
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 関川利夫 , 横田明義 , 石坂一朗
发明人：関川利夫 , 横田明義 , 石坂一朗
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： H01J9/241 , G02F1/1341 , H01J9/24 , H01J9/261
摘要：移動シール手段（４）により両保持板（１，２）の周縁部（１ａ，２ａ）間が密閉状態に維持されて閉空間（Ｓ）内を真空状態に維持しながら、該閉空間（Ｓ）の外に配設された位置決め用移動手段（８）で、両保持板（１，２）を相対的にＸＹθ方向へ調整移動することにより、同方向へ位置調整手段（５）が移動して、両基板（Ａ，Ｂ）同士の位置合わせが行われると共に、該位置調整手段（５）が有するＺ方向への大きな剛性によって、両保持板（１，２）の周縁部（１ａ，２ａ）間が所定間隔に保持されるため、移動シール手段４が受ける支持抵抗が適正な値に保たれる。従って、ＸＹθステージを用いずに真空中で両基板を外部からスムーズにＸＹθ移動させてアライメントできる。
摘要翻译：一种用于平板基板的粘贴装置，其中通过位于封闭空间（S）的外部的定位移动装置（8），两个保持板（1,2）在XYθ方向上相对于彼此可调节地移动，同时保持闭合通过移动密封装置（4）在两个保持板（1,2）的周边边缘部分（1a，2a）之间保持间隙，使得定位调节装置（5）移动到真空状态的空间（S）两个基板（A，B）相对于彼此定位的方向相同，并且两个保持板（1,2）的周边边缘部分（1a，2a）之间的间隙由于刚度大定位调节装置（Z）在Z方向上，从而可以将施加到移动密封装置（4）上的支撑阻力保持在适当的值，并且两个基板可以平滑地从XY外方向移动，使用XYtheta舞台。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式