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1. 发明申请

WO2005041156A1 基板重ね合せ封止方法审中-公开
标题翻译：在堆叠时密封衬底的方法
公开(公告)号：WO2005041156A1
公开(公告)日：2005-05-06
申请号：PCT/JP2003/013536
申请日：2003-10-23
申请人：信越エンジニアリング株式会社 , 竹節憲之 , 古閑泰行 , 大嶋秀樹 , 稲葉亮一
发明人：竹節憲之 , 古閑泰行 , 大嶋秀樹 , 稲葉亮一
IPC分类号： G09F9/30
CPC分类号： H01J9/261
摘要：　静電吸着手段（５ｂ）による上側基板（Ａ）の保持解除と連動して、該上側基板の背面側から気体（Ｇ）を噴出させ、この気体を上方保持板（１）の静電吸着面（５b1）と上側基板の背面との間に強制注入することにより、これら静電吸着面と基板面の密着状態を破壊し両者を剥離することで、両者間の静電吸着力が強制的に減衰されて消滅すると共に、注入した気体の圧力で下側基板（Ｂ）への落下力、即ち落下の加速度が強制的に作用され、それにより、該上側基板が瞬時に下側基板の上へ圧着し、静電吸着手段（５ｂ）で保持したまま上側基板が姿勢変化することなく下側基板の上へ移動して圧着され、上下基板を封止して重ね合わされる。従って、静電吸着力の解除ムラに関係なく上側基板を位置合わせされたまま強制的に落下できる。
摘要翻译：在与上部基板（A）的释放用静电吸引装置（5b）的动作联动的同时，从上部基板的背面喷射气体（G），并强制地注入上部基板的静电吸引面（5b1）保持板（1）和上基板的背面。由于静电吸引面和基板表面的粘附状态被破坏并且它们彼此剥离，所以它们之间的静电吸引力被强制地衰减并被消除。由于由于注入气体的压力而在下基板（B）上产生下降的力或下降的加速度，所以上基板立即粘附到下基板上。上部基板在被静电吸引装置（5b）保持的同时被移动到下基板上，而不改变姿态，并且在被密封的同时粘合并堆叠在其上。因此，无论静电吸引力的变化被释放，上基板能够被对准而强制地下降。

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