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    • 3. 发明申请
    • 金属微細構造体の製造方法
    • 制造金属微结构的方法
    • WO2003037783A1
    • 2003-05-08
    • PCT/JP2002/011120
    • 2002-10-25
    • 住友電気工業株式会社依田 潤平田 嘉裕羽賀 剛
    • 依田 潤平田 嘉裕羽賀 剛
    • B81C1/00
    • B81C99/0085B81C2201/032C25D1/003H01L21/4821H05K3/202H05K3/205
    • A method for manufacturing a metal microstructure (1) comprising a resin mold (13). For setting a mild manufacturing condition with little damage of the resin mold (13), and for mass−producing a high− precision metal microstructure (1) by uniform casting, this method is characterized by having the step of forming a resin mold laminate by fixing on a conductive substrate (11) a resin mold (13) having a vacancy penetrating in the thickness direction via a photosensitive polymer (12) the chemical composition of which is varied by an electron ray, ultraviolet ray, or a visible ray, the step of exposing the resin type laminate (2) to the electron ray, ultraviolet ray, or visible ray, the step of removing a photosensitized polymer (12c) present in the vacancy of the resin mold (13), and the step of filling the vacant section of the resin type laminate (2) with a metal (14) by casting.
    • 一种用于制造包括树脂模具(13)的金属微结构(1)的方法。 为了设定温和的制造条件,树脂模具(13)几乎没有损坏,并且通过均匀铸造大量生产高精度金属微结构(1),该方法的特征在于具有以下步骤:通过 在导电基板(11)上固定具有通过电子射线,紫外线或可见光线变化的光敏聚合物(12)在空间贯穿厚度方向的树脂模具(13), 将树脂型层压体(2)暴露于电子射线,紫外线或可见光的步骤,除去存在于树脂模具(13)的空位的光敏聚合物(12c)的步骤,以及填充 通过铸造,用金属(14)将树脂型层叠体(2)的空隙部分。