专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009107250A1 常温接合装置审中-公开
标题翻译：冷连接装置
公开(公告)号：WO2009107250A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/JP2008/054344
申请日：2008-03-11
申请人：三菱重工業株式会社 , 津野武志 , 後藤崇之 , 木ノ内雅人 , 田原諭 , 内海淳 , 津村陽一郎 , 井手健介 , 鈴木毅典
发明人：津野武志 , 後藤崇之 , 木ノ内雅人 , 田原諭 , 内海淳 , 津村陽一郎 , 井手健介 , 鈴木毅典
IPC分类号： H01L21/02 , B23K20/00 , B23K20/14
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67092 , H01L21/6732 , H01L21/67748 , H01L21/68 , H01L21/683 , Y10T156/1744
摘要：第１基板を保持する第１試料台の向きを変更可能に、第１ステージにその第１試料台を支持する角度調整機構と、その第１ステージを第１方向に駆動する第１駆動装置と、第２基板を保持する第２試料台を第２方向に駆動する第２駆動装置と、その第２基板とその第１基板とが圧接されるときに、その第１方向にその第２試料台を支持するキャリッジ支持台とを備えている。このとき、常温接合装置は、第２駆動装置の耐荷重を越えた大きな荷重を第１基板と第２基板とに加えることができる。常温接合装置は、さらに、第１基板と第２基板とが平行に接触するように、角度調整機構を用いて第１基板の向きを変更することができ、その大きな荷重を接合面に均一に負荷することができる。
摘要翻译：冷连接装置具有角度调节机构，用于在第一平台上支撑保持第一基板的第一样本基底，使得可以改变第一样本基底的方向，用于沿第一方向驱动的第一驱动装置第一级，用于在第二方向上驱动用于保持第二基板的第二样品台的第二驱动装置，以及当第二基板被压靠在第一基板上时，沿第一方向支撑第二样品基体的滑架支撑基座。冷连接装置可以将超过第二驱动装置的承载能力的大负载施加到第一基板和第二基板。此外，冷连接装置可以通过使用角度调节机构改变第一基板的方向，使得第一基板和第二基板彼此平行接触，从而可以将大的负载均匀地施加到基板之间的接合表面。

2. 发明申请

WO2010018621A1 接合装置および接合装置メンテナンス方法审中-公开
标题翻译：粘接装置的粘接和维护方法
公开(公告)号：WO2010018621A1
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/JP2008/064457
申请日：2008-08-12
申请人：三菱重工業株式会社 , 木ノ内雅人 , 田原諭 , 後藤崇之 , 井手健介
发明人：木ノ内雅人 , 田原諭 , 後藤崇之 , 井手健介
IPC分类号： B23K15/00 , G21K5/00 , B23K20/00 , B23K20/06 , H01J37/067
CPC分类号： B23K15/06 , B23K15/0006 , B23K15/002 , B23K2201/36 , H01J37/16 , H01J37/30 , H01J2237/31
摘要：粒子を放出するガンと、その粒子が放出される雰囲気が内部に生成される真空チャンバと、引出し機構チャンバと、その真空チャンバとその引出し機構チャンバとの間を開閉するゲートバルブとを備えている。そのガンは、そのゲートバルブを通って移動可能に支持される。このような接合装置は、そのゲートバルブを通ってその引出し機構チャンバの内部から真空チャンバの内部に配置される照射対象の近傍にガンを移動させることができ、照射対象に粒子をより確実に照射することができる。このような接合装置は、さらに、ガンをその引出し機構チャンバの内部に移動させた後に、そのゲートバルブを閉鎖することにより、その真空チャンバの内部を昇圧させることなく、ガンを真空チャンバの外部に取り出すことができる。
摘要翻译：接合装置包括用于排出颗粒的喷枪，产生用于排出颗粒的气体的真空室，抽出机构室和用于在真空室和抽出机构室之间打开/关闭的闸阀。枪被支撑以使其能够移动通过闸阀。这样的接合装置可以将喷枪从抽出机构室的内部移动到通过闸阀配置在真空室内的照射物体的附近，并且能够更可靠地将物体照射到粒子上。这种接合装置可以将枪移动到抽出机构室之后，通过关闭闸阀来提升真空室中的压力，而不会增加真空室的外部压力。

3. 发明申请

WO2009087796A1 常温接合装置および常温接合方法审中-公开
标题翻译：冷连接装置和冷连接方法
公开(公告)号：WO2009087796A1
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/JP2008/067676
申请日：2008-09-29
申请人：三菱重工業株式会社 , 木ノ内雅人 , 後藤崇之 , 田原諭 , 津野武志 , 内海淳 , 井手健介 , 鈴木毅典
发明人：木ノ内雅人 , 後藤崇之 , 田原諭 , 津野武志 , 内海淳 , 井手健介 , 鈴木毅典
IPC分类号： B23K20/00 , B81C3/00 , H01L21/02
CPC分类号： B32B37/1009 , B23K20/02 , B32B37/10 , B32B2309/68 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/67092 , H01L21/67253
摘要：常温接合装置は、排気装置とガス供給装置と圧力計と清浄化装置と圧力コントローラと圧接機構とを備えている。その排気装置は、チャンバーの内部から気体を排気する。そのガス供給装置は、そのチャンバーの内部に導入ガスを供給する。その圧力計は、そのチャンバーの内部の圧力を測定する。その清浄化装置は、その測定された圧力が所定の真空度にあるときに、そのチャンバーの内部で第１基板と第２基板とを清浄化する。その圧力コントローラは、その測定された圧力が目標圧力に一致するように、その排気装置とそのガス供給装置との両方を制御する。その圧接機構は、その測定された圧力がその目標圧力であるときに、そのチャンバーの内部でその第１基板と第２基板とを圧接する。
摘要翻译：提供一种冷接头装置，其包括排出装置，气体供给装置，压力计，澄清装置，压力控制器和按压机构。排出装置从室内排出气体。气体供给装置将引入气体供给到室的内部。压力表测量室内的压力。当测量的压力处于预定的真空度时，澄清装置澄清室中的第一板和第二板。压力控制器控制排出装置和气体供给装置，使得测量的压力可以等于目标压力。当所测量的压力为目标压力时，按压机构将腔室中的第一板和第二板按压。

4. 发明申请

WO2010058481A1 ウェハ接合装置审中-公开
标题翻译： WAFER BONDING APPARATUS
公开(公告)号：WO2010058481A1
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/JP2008/071232
申请日：2008-11-21
申请人：三菱重工業株式会社 , 田原諭
发明人：田原諭
IPC分类号： B23K20/02 , B23K20/00 , B30B15/02 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67092 , B30B15/068
摘要：　本発明によるウェハ接合装置は、第１基板を保持する第１試料台と、その第１基板に対向する第２基板を保持する第２試料台と、その第１試料台の周縁部に接合され、その第１試料台を第１ステージに支持する荷重伝達部と、その第１ステージに対してその第２試料台を駆動することにより、その第１基板とその第２基板とを圧接する駆動装置とを備えている。このとき、そのウェハ接合装置は、その第１基板と第２基板とを圧接するときに、その第１基板の周縁部に印加される荷重より大きい荷重がその第１基板の中央に印加されることを防止し、その第１基板とその第２基板とに荷重を均一に印加することができる。
摘要翻译：晶片接合装置设置有用于保持第一基板的第一样品台; 用于保持面向第一基板的第二基板的第二样品台; 负载传递部分，其结合到第一样品台的周边并将第一样品台支撑到第一级; 以及驱动装置，其通过将第二样品台驱动到第一级而将压力与第一基板和第二基板接合。晶片接合装置防止在施加到第一基板的周围的负载大于在第一基板和第二基板的压力下施加到第一基板的中心的负载时，负载被均匀地施加到第一基板和第二基板。

5. 发明申请

WO2009104345A1 積層接合装置用治具审中-公开
标题翻译： JIG用于层压接合装置
公开(公告)号：WO2009104345A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2008/073720
申请日：2008-12-26
申请人：三菱重工業株式会社 , 田原諭
发明人：田原諭
IPC分类号： H01L21/02 , B65G49/06 , B81C3/00 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67092 , B65G49/061
摘要：　本発明による積層接合装置用治具は、位置合わせ部分と支持部分とを備えている。その位置合わせ部分は、位置合わせ対象基板の縁に接触する位置合わせ面が形成されている。その支持部分は、接合対象基板を保持するチャックに接触するチャック接触面が形成されている。そのチャックは、そのチャック接触面に接触する面に第１嵌合部分が形成されている。その支持部分は、さらに、そのチャック接触面に第２嵌合部分が形成されている。このとき、その積層接合装置用治具は、その第１嵌合部分と第２嵌合部分とが嵌合するように配置され、その位置合わせ対象基板の縁がその位置合わせ面に接触するようにその位置合わせ対象基板が配置されることにより、所定の位置にその位置合わせ対象基板をより容易に配置することができる。
摘要翻译：公开了一种包括定位部分和支撑部分的层压接合装置夹具。定位部具有形成为与定位对象基板的边缘接触的定位面。支撑部具有形成为接触用于保持接合对象基板的卡盘的卡盘接触面。卡盘具有形成在与卡盘接触面接触的面上的第一装配部分。支撑部分还具有形成在卡盘接触面上的第二装配部分。层叠接合装置夹具布置成使得第一装配部分和第二装配部分彼此配合。定位对象基板被布置成使其边缘接触定位面，使得定位对象基板能够更容易地布置在预定位置。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式