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    • 3. 发明申请
    • 加速度センサおよびその製造方法
    • 加速传感器及其制造方法
    • WO2008146624A1
    • 2008-12-04
    • PCT/JP2008/059034
    • 2008-05-16
    • ローム株式会社吉川 泰弘田尻 浩之
    • 吉川 泰弘田尻 浩之
    • G01P15/125
    • G01P15/125G01P15/0802G01P15/18G01P2015/0814G01P2015/082G01P2015/084Y10T29/49139
    •  高い検出感度を有するとともに、製造効率を向上させることが可能な加速度センサを提供する。この加速度センサ(50)は、Al 2 O 3 からなるセラミック基板(1)と、セラミック基板(1)上の所定領域に、スクリーン印刷法によって形成されたBaTiO 3 からなる強誘電体層(2)と、強誘電体層(2)と対向するように配置され、強誘電体層(2)から所定の距離dだけ隔てて形成されたプルーフマス(4)と、このプルーフマス(4)の強誘電体層(2)側に固定されるようにそれぞれ形成された第1電極(7)および第2電極(8)とを備えている。そして、第1電極(7)および第2電極(8)は、それぞれ、櫛歯状に形成されているとともに、互いの櫛歯部(7a)および(8a)が交互に配列されている。
    • 提供了一种具有高检测灵敏度并且可以以提高的制造效率制造的加速度传感器。 加速度传感器(50)具有由Al 2 O 3构成的陶瓷基板(1) 通过丝网印刷在陶瓷基板(1)上的规定区域中由BaTiO 3形成的铁电体层(2) 被配置为与强电介质层(2)规定的距离(d)相对的铁电体层(2)的检验质量块(4)。 以及第一电极(7)和第二电极(8),所述第一电极(7)和第二电极(8)固定在所述强电介质层(2)一侧的所述检测质量块(4)上。 交叉地形成第一电极(7)和第二电极(8),电极的叉指部(7a,8a)交替排列。