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    • 7. 发明申请
    • インプリント装置
    • INPRINT设备
    • WO2008142784A1
    • 2008-11-27
    • PCT/JP2007/060497
    • 2007-05-23
    • パイオニア株式会社橋本 和信今井 哲也
    • 橋本 和信今井 哲也
    • B29C59/02B29C33/30B29C33/44G11B5/84H01L21/027
    • G11B5/855B29C33/42B29C37/0003B29C59/02B29C2033/426B29L2017/003
    •  表面に凹凸パターンが形成されたモールドと、前記モールドと転写層を有する被転写基板とを密着させて加圧して前記転写層に前記凹凸パターン形状を転写する加圧ピストンとを含むインプリント装置であり、モールドを保持するモールド保持面を有するモールド保持部と、被転写基板を保持し且つモールド保持面に対向する基板保持面を有する基板保持部と、モールド保持部と基板保持部とを近接離間可能に支持する支持部とを含む。加圧ピストンは、モールド保持面および基板保持面に対して交差する方向に可動であり、加圧時においてモールド保持部または基板保持部の一方と当接し得る加圧面と、後退時においてモールド保持部または基板保持部の一方と係合し得る複数の係合部とを有する。
    • 包括具有形成在表面上的凹凸图案的模具的压印设备和用于通过将模具和具有转印层的基板关闭而将凹凸图案转印到待转印的基板的转印层上的按压活塞 联系并按压它们。 压印设备包括具有用于保持模具的模具保持平面的模具保持部分,具有用于保持面对模具保持平面的基板的基板保持平面的基板保持部分和用于保持模具保持部分的支撑部分和 基板保持部分以足够接近但可彼此分离的方式。 按压活塞能够在与模具保持平面和基板保持平面相交的方向上移动,并且具有能够在按压时与模具保持部或基板保持部抵接的按压面和多个卡合部, 当其退回时,可以与模具保持部分或基板保持部分接合。