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    • 1. 发明申请
    • 生産システム、生産装置、生産プログラム及び記録媒体
    • 制造系统,制造设备,制造程序和记录介质
    • WO2009034772A1
    • 2009-03-19
    • PCT/JP2008/062769
    • 2008-07-15
    • シャープ株式会社中谷 喜紀波多野 晃継御園 健司平木 純一
    • 中谷 喜紀波多野 晃継御園 健司平木 純一
    • G05B19/418G06Q10/00G06Q50/00
    • H04L63/08H04L67/12Y02P90/18Y02P90/265
    •  本発明の生産システムは、設計データに基づいてカラーフィルタを生産するマスクパターン露光システム(100)内に設けられ、パターンジェネレータ(103)に当該設計データを提供する稼動制御装置(106)と、上記カラーフィルタを生産するのに必要な設計データを、通信ネットワーク(400)を介して上記稼動制御装置(106)に提供するパターン設計装置(201)と、上記カラーフィルタを生産するのに必要な設計データの認証を行う認証データを、通信ネットワーク(400)を介して上記稼動制御装置(106)に提供する認証管理装置(301)を含む。上記稼動制御装置(106)は、設計データを認証データで認証し、認証後の設計データをパターンジェネレータ(103)に提供することで、生産に必要な情報の漏洩を防止することができる。すなわち、生産対象物(カラーフィルタ)の生産に必要な情報(設計情報等)の漏洩を防止することができる。
    • 制造系统包括:操作控制装置(106),其布置在基于设计数据制造滤色器的掩模图案曝光系统(100)中,并向图案生成器(103)提供设计数据; 通过通信网络(400)向操作控制装置(106)提供制造滤色器所需的设计数据的图案设计装置(201); 以及通过通信网络(400)向操作控制装置(106)提供用于认证制造滤色器所需的设计数据的认证数据的认证管理装置(301)。 通过使操作控制装置(106)使用认证数据认证设计数据并且向模式发生器(103)提供认证的设计数据,防止制造所需的信息泄漏。 即,可以防止制造制造对象(滤色器)所需的信息(设计信息等)泄漏。