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1. 发明申请

WO2013118004A1 PROZESSMODUL 审中-公开
标题翻译：处理模块
公开(公告)号：WO2013118004A1
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：PCT/IB2013/050416
申请日：2013-01-17
申请人： ROTH & RAU AG , MAI, Joachim , MUELLER, Danny , RASCHKE, Sebastian , HEINZE, Andreas
发明人： MAI, Joachim , MUELLER, Danny , RASCHKE, Sebastian , HEINZE, Andreas
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： C23C16/50 , C23C16/45565 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/463 , H01L21/67173 , H01L21/67706 , H01L21/67751 , H01L21/6776
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Prozessmodul mit wenigstens einer in dem Prozessmodul befindlichen evakuierbaren Prozesskammer und wenigstens einer horizontal durch das Prozessmodul in wenigstens einer Substrattransportrichtung bewegbaren Trägervorrichtung zur Aufnahme von jeweils wenigstens einem flächigen, in der Prozesskammer zu prozessierenden Substrat. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Prozessmodul der oben genannten Gattung vorzuschlagen, das bei großer Produktionsgeschwindigkeit eine gleichmäßige und hochwertige Bearbeitung aller Substrate bei möglichst niedrigen Anlagenkosten ermöglicht. Diese Aufgabe wird durch ein Prozessmodul der eingangs genannten Gattung gelöst, bei dem die wenigstens eine Prozesskammer durch die Trägervorrichtung, deren Position in wenigstens einer Schließrichtung quer zu der Substrattransportrichtung veränderbar ist, gegenüber dem Prozessmodul körperlich abschließbar ist, wobei die wenigstens eine Trägervorrichtung einen Boden der wenigstens einen Prozesskammer ausbildet.
摘要翻译：本发明涉及具有至少一个位于处理模块抽空处理室和至少一个由处理模块水平移动在载体设备中的至少一个基片传输方向，用于接收在每种情况下的至少一个平坦的，在处理室中被处理基板的处理模块。本发明的目的是提出一种上述类型的，它允许所有的衬底的均匀且高品质的加工在以高生产速度尽可能低的系统成本的处理模块。该目的通过上述类型，其特征在于，由所述运送装置的所述至少一个处理腔室，其位置在至少一个闭合方向横向于改变基片传输方向，与所述处理模块相比在物理上是可锁定的，其中，所述至少一个支撑装置包括的一个底部的处理模块来实现至少形成处理室。

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