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1. 发明申请

WO2010003612A1 MESSVORRICHTUG MIT EINEM MIKROELEKTROMECHANISCHEN KAPAZITIVEN SENSOR 审中-公开
标题翻译：用微机电电容式传感器MESSVORRICHTUG
公开(公告)号：WO2010003612A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/EP2009/004868
申请日：2009-07-06
申请人： ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG , HE, Lin , MANOLI, Yiannos , BUHMANN, Alexander , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
发明人： HE, Lin , MANOLI, Yiannos , BUHMANN, Alexander , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5726
摘要： Eine Messvorrichtung (8) weist einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b) auf, der zur Messung einer mechanischen Auslenkung einer Prüfmasse (2) aufeinander zu und voneinander weg bewegbare Elektroden hat. Die Messvorrichtung (8) hat einen Ladungsintegrator, der einen Operationsverstärker (11) aufweist, der mindestens einen mit dem Sensor (9a, 9b) verbundenen Verstärkereingang (13a, 13b) und einen Verstärkerausgang (15a, 15b) hat, der über einen Integrationskondensator (16a, 16b) mit dem Verstärkereingang (13a, 13b) rückgekoppelt ist. Der Verstärkereingang (13a, 13b) ist über einen hochohmigen elektrischen Widerstand (17a, 17b) mit einem Anschluss (18) für ein elektrisches Gleichtakt-Referenzpotential verbunden. Zusätzlich zu dem Verstärkereingang (13a, 13b) weist der Operationsverstärker (11) einen Hilfseingang (20a, 20b) auf. Der Verstärkerausgang (15a, 15b) ist über einen Tiefpass (22) mit dem Hilfseingang (20a, 20b) verbunden.
摘要翻译：的测量装置（8）包括电容性传感器的微机电（9A，9B），其具有用于测量质量块的机械位移（2）朝向和远离彼此移动的电极。的测量装置（8）包括一个电荷积分器包括一个运算放大器（11），所述至少一个所述传感器（9A，9B）放大器输入连接（13A，13B）和一个放大器输出端（15A，15B），其（通过积分电容器，16B），13b）的16A反馈到放大器输入端（13a上。经由高电阻的放大器的输入（13A，13B）（17A，17B）连接到用于电共模参考电位的端子（18）。除了放大器输入（13A，13B），所述运算放大器（11）包括一个辅助输入端（20A，20B）上。放大器输出（15A，15B）经由低通（22）到所述辅助输入连接（20A，20B）相连。

2. 发明申请

WO2012072255A1 VORRICHTUNG ZUR MESSUNG EINER DREHRATE 审中-公开
标题翻译：用于测量旋转速度
公开(公告)号：WO2012072255A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/EP2011/006018
申请日：2011-12-01
申请人： ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG , HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , ROMBACH, Stefan , NORTHEMANN, Thomas , MAURER, Michael , DIENGER, Matthias , MANOLI, Yiannos
发明人： ROMBACH, Stefan , NORTHEMANN, Thomas , MAURER, Michael , DIENGER, Matthias , MANOLI, Yiannos
IPC分类号： G01C19/5776
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5776
摘要： Eine Vorrichtung (1) zur Messung einer Drehrate hat einen mechanischen Drehratensensor (2), der eine träge Masse aufweist, die mittels einer Anregungseinrichtung entlang einer Primärachse in eine Primärschwingung versetzbar und entlang einer quer zur Primärachse verlaufenden Sekundärachse derart auslenkbar ist, dass sie beim Auftreten einer Drehrate um eine quer zur Primärachse und quer zur Sekundärachse verlaufende sensitive Achse entlang der Sekundärachse eine durch die Coriolis-Kraft angeregte Sekundärschwingung durchführt. Zur Erfassung eines amplitudenmodulierten Sensorsignals für die Sekundärschwingung ist mindestens ein Sensorelement (4) vorhanden. Ein Sigma-Delta-Modulator weist einen mit dem Sensorelement verbundenen Tiefbassfilter (6), einen Quantisierer und einen in einem Rückkopplungspfad angeordneten Sekundäraktor (10) zum Aufbringen einer der Coriolis-Kraft entgegenwirkenden Kraft auf die Masse auf. Der Sekundäraktor (10) ist derart über den Rückkopplungspfad mit dem Quantisierer verbunden, dass ein Rückkopplungssignal im zeitlichen Mittel die Auslenkung der Masse in Richtung der Sekundärschwingung kompensiert. Zum Verschieben des Frequenzbands des amplitudenmodulierten Sensorsignals in einen niedrigeren Frequenzbereich ist zwischen dem Sensorelement und dem Tiefpassfilter (6) eine erste Modulationsstufe (5) angeordnet. Zum Rückgängigmachen der Frequenzverschiebung ist im Rückkopplungspfad eine zweite Modulationsstufe (9) angeordnet.
摘要翻译：一种用于测量旋转速率的装置（1）具有（2）具有的惯性质量，其因此通过刺激装置的装置在一个主摆动位移偏转沿着主轴线沿一方向横向于主轴线次级轴的机械横摆率传感器，它们在发生关于横向于主轴线和横向于沿辅轴的敏感轴延伸的次级轴的横摆率执行由科里奥利力二次振动激励。用于检测二次振动的振幅调制的传感器信号的至少一个传感器元件（4）是否存在。 Σ-Δ调制器具有用于施加科里奥利力反作用力到质量中的一个连接到传感器元件低音滤波器（6），一个量化器和布置在反馈路径Sekundäraktor（10）的输入。所述Sekundäraktor（10）经由反馈路径到量化器，一个反馈信号，以补偿质量的在时间平均二次振动的方向偏转连接以这样的方式。对于在传感器元件和低通滤波器（6）之间的较低的频率范围偏移幅度调制传感器信号的频带具有（5）布置在第一调制级。要撤消在反馈路径中的频率偏移，第二调制级（9）被布置。

3. 发明申请

WO2011113917A1 VERFAHREN ZUR ENTKOPPELTEN REGELUNG DER QUADRATUR UND DER RESONANZFREQUENZ EINES MIKROMECHANISCHEN DREHRATENSENSORS MITTELS SIGMA-DELTA-MODULATION 审中-公开
标题翻译：法，用于控制DECOUPLED磨边的微机械的旋转速率传感器的频率响应利用sigma-delta调制
公开(公告)号：WO2011113917A1
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：PCT/EP2011/054090
申请日：2011-03-17
申请人： CONTINENTAL TEVES AG & CO. OHG , ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITY OF FREIBURG , EGRETZBERGER, Markus , KUGI, Andreas , MAIR, Florian , MAURER, Michael , MANOLI, Yiannos , NORTHEMANN, Thomas
发明人： EGRETZBERGER, Markus , KUGI, Andreas , MAIR, Florian , MAURER, Michael , MANOLI, Yiannos , NORTHEMANN, Thomas
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01P3/14 , G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5726
摘要： Verfahren zum präzisen Messbetrieb eines mikromechanischen Drehratensensors, umfassend wenigstens eine seismische Masse, zumindest eine Antriebseinrichtung zum Antreiben der seismischen Masse in der Primärmode (q 1 ) und mindestens drei Trimm-Elektrodenelemente (1), welche der seismischen Masse direkt oder indirekt gemeinsam zugeordnet sind, wobei jeweils zwischen den einzelnen dieser Trimm- Elektrodenelemente (1) und der seismischen Masse eine elektrische Trimmspannung (u 1 , u 2 , u 3 , u 4 ) angelegt wird, wobei jede dieser elektrischen Trimmspannungen (u 1 , u 2 , u 3 , u 4 ) in Abhängigkeit einer Resonanzfrequenzstellgröße (ũ T , Ũ T , o ), einer Quadraturstellgröße (ύ c , Ũ c,o ) und einer Rücksteilgröße (ũ s ) eingestellt werden.
摘要翻译：一种用于包括至少一个地震震动质量的微机械旋转速率传感器的精确测量操作的方法，至少一个驱动装置，用于驱动所述振动质量在主模式（Q1）和至少三个微调电极元件（1），其被分配给地震质量，直接或间接地在一起，其中这些微调电极元件（1）中的每一个与地震质量的电微调电压（U1，U2，U3，U4）施加之间，每个所述电微调电压（U1，U2，U3，U4）（取决于共振频率控制值u T，UT，O），正交控制值（C，UC，O）和后部大小（US）进行设置。

4. 发明申请

WO2010003605A1 MIKROELEKTROMECHANISCHER OSZILLATOR 审中-公开
标题翻译：微机电振荡器
公开(公告)号：WO2010003605A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/EP2009/004856
申请日：2009-07-06
申请人： ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG , HE, Lin , BUHMANN, Alexander , MANOLI, Yiannos , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
发明人： HE, Lin , BUHMANN, Alexander , MANOLI, Yiannos , TASCHWER, Armin , NORTHEMANN, Thomas
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5755 , G01C19/5726
摘要： Ein mikroelektromechanischer Oszillator hat einen Schwingungserreger, der einen Aktor (7a, 7b) und eine Ansteuereinrichtung (10) dafür aufweist. Der Aktor (7a, 7b) steht mit einer in Schwingung zu versetzenden Masse (2) in Antriebsverbindung. Zur Erfassung eines von der Schwingung der Masse (2) abhängigen Messsignals ist eine Messvorrichtung (8) vorgesehen, die derart mit der Ansteuereinrichtung (10) in einen Oszillator-Regelkreis geschaltet ist, dass die Masse (2) mit einer Resonanzfrequenz zur Schwingung angeregt wird. Die Messvorrichtung (8) umfasst einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b), der Elektroden aufweist, die in Abhängigkeit von der Auslenkung der Masse (2) aufeinander zu und voneinander weg bewegbar sind. Die Messvorrichtung (8) weist ein Positionssensor-Interface auf, der im Oszillator-Regelkreis angeordnet ist und mit einem Eingangsanschluss (15a, 15b) mit dem Sensor (9a, 9b) und mit einem Ausgangsanschluss (20a, 20b) mit der Ansteuereinrichtung (10) verbunden ist. Im Oszillator-Regelkreis ist ein Phasenschieber vorgesehen.
摘要翻译：具有振动激励器，其致动器（7A，7B）和驱动器（10）用于其的微机电振荡器。的致动器（7A，7B）与在质量的振动驱动器连接到移动（2）。取决于用于检测质量块的振动中的一个（2）的测量信号是被连接在振荡器回路（8），设置以这样的方式与所述驱动装置（10）的测量装置，该质量块（2）是在对振动的共振频率激发，的测量装置（8）包括一个微机电电容式传感器（9A，9B）中，具有作为电极的质量（2）的朝向和远离彼此的偏转的函数。的测量装置（8）包括一个位置传感器接口，其被布置在所述振荡器环路并具有与该传感器的输入端子（15A，15B）（9A，9B）和一个输出端（20A，20B）（与驱动装置10 ）连接。振荡器回路中，提供了一种移相器。

5. 发明申请

WO1999008347A1 SLAB LASER WITH OPTICAL IMAGING SYSTEM FOR BEAM SHAPING 审中-公开
标题翻译：用光学图象系统中的光束成形BAND半导体激光
公开(公告)号：WO1999008347A1
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：PCT/EP1998005057
申请日：1998-08-10
申请人： ROFIN-SINAR LASER GMBH , FRIEDE, Dirk , HAGE, Hermann , NORTHEMANN, Thomas , SCHOLZ, Volker
发明人： ROFIN-SINAR LASER GMBH
IPC分类号： H01S03/00
CPC分类号： G02B27/0966 , G02B27/09 , G02B27/0911 , G02B27/0983 , H01S3/005 , H01S3/0315
摘要： The invention relates to a slab laser, especially a CO2 slab laser, comprising an optical imaging system for shaping a laser beam (LS) leaving a resonator (4). The divergence of said beam is smaller in a first direction (14) which is perpendicular to the direction of propagation than in a second direction (16) which is perpendicular to the first direction and to the direction of perpendicular. According to the invention the optical imaging system comprises a first optical imaging element (24) for focusing the laser beam (LS) in the first direction (14) and collimating the laser beam (LS) in the second direction (16), as well as a second optical imaging element (26) for collimating the focused laser beam (LS) in the first direction (14).
摘要翻译：带状线激光器，尤其是CO 2平板波导激光器，它包含了波束形成的谐振器（4）输出激光束（LS），垂直于所述第一方向的传播方向，其发散的方向中的一个的成像光学系统（14）比在和与传播方向垂直较小第二方向（16）。根据本发明，包括：成像光学系统包括用于聚焦激光束（LS）在第一方向（14）的第一成像光学元件（24）和用于激光束的准直（LS）在第二方向（16）和一个第二光学成像元件（26），用于在第一方向（14）聚焦的激光束（LS）的准直。

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