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1. 发明申请

WO2002095939A1 PIEZOELEKTRISCHE RESONATORVORRICHTUNG MIT VERSTIMMUNGSSCHICHTFOLGE 审中-公开
标题翻译：与心烦层影响的压电谐振器
公开(公告)号：WO2002095939A1
公开(公告)日：2002-11-28
申请号：PCT/EP2002/004717
申请日：2002-04-29
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
发明人： AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/171 , H03H3/04 , H03H9/564 , H03H2003/0428
摘要： Eine Resonatorvorrichtung umfasst einen piezoelektrischen Resonator (10) mit einer Verstimmungsschichtfolge (52), die an dem piezoelektrischen Resonator (10) angeordnet ist. Die Verstimmungsschichtfolge (52) umfasst zumindest eine erste Schicht (52A) mit einer hohen akustischen Impedanz und eine zweite Schicht (52B) mit einer niedrigen akustischen Impedanz.
摘要翻译：一种谐振器，包括具有一个失谐层序列（52），其被设置在压电谐振器（10）的压电谐振器（10）。失谐的层序列（52）包括至少一个具有高的声阻抗，并且具有低的声阻抗的第二层（52B）的第一层（52A）。

2. 发明申请

WO2002071940A1 MEDIZINISCHE BANDELEKTRODE 审中-公开
标题翻译：医疗导线BAND
公开(公告)号：WO2002071940A1
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：PCT/AT2002/000081
申请日：2002-03-12
申请人： CNSYSTEMS MEDIZINTECHNIK GMBH , NESSLER MEDIZINTECHNIK GMBH & CO KG , FORTIN, Jürgen , NESSLER, Winfried , NESSLER, Bernhard , SKRABAL, Falko
发明人： FORTIN, Jürgen , NESSLER, Winfried , NESSLER, Bernhard , SKRABAL, Falko
IPC分类号： A61B5/053
CPC分类号： A61B5/04087 , A61B5/0535
摘要： Die Erfindung besteht in einer medizinischen Elektrode zur Messung des elektrischen Widerstands des Körpers von Patienten, insbesondere einer Impedanz-Kardiografie-Elektrode, aus einem elektrisch nicht leitenden, einseitig klebenden Träger (1), der länglich geformt ist und an einem Ende in eine Anschlusslasche (1') zum Verbinden der Elektrode mit elektrischen Anschlüssen übergeht; zwei Kontaktstreifen (2a, 2b) aus elektrisch leitender Al-Verbundfolie als Elektrodenmaterial, die an der klebenden Seite des Trägers (1) auf diesen aufgeklebt sind, an ihrer vom Träger (1) abgewandten Oberfläche unter Aussparung der Anschlusslaschen (2a', 2b') eine Verbundstruktur mit einem hautverträglichen elektrisch leitenden Kleber bilden und am Anschlussende des Trägers (1) ebenfalls in jeweilige Anschlusslaschen (2a', 2b') übergehen; sowie gegebenenfalls einer abziehbaren Schutzabdeckung für die in Verwendung mit dem Körper des Patienten in Kontakt kommenden klebenden Oberflächen des Trägers (1) und der Kontaktstreifen (2a, 2b).
摘要翻译：本发明包括在医疗电极，用于测量在一个连接支架患者的身体，特别是由一个不导电的阻抗心动描记电极，单方面粘合剂支架（1），它是长方形的，并且在一端的电阻（ 1“）通过用于连接与电连接器的电极; 两个接触片（2A，2B）（由导电铝复合膜作为电极材料，其是（1）键合到其上的支撑的粘合剂侧，从所述载体（1）表面下的连接板2a的凹部背向“ 2B” 合格）形成具有皮肤相容导电粘合剂的复合结构，以及（在载体1）的终端也（在相应的连接板2a“ 2b的”）; 和任选地用于接触与所述支架（1）和所述接触片的粘合面的进入使用与患者的身体可移除的保护盖（2A，2B）。

3. 发明申请

WO2003032486A1 BAW-RESONATOR 审中-公开
标题翻译：体声波谐振
公开(公告)号：WO2003032486A1
公开(公告)日：2003-04-17
申请号：PCT/EP2002/007700
申请日：2002-07-10
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
发明人： AIGNER, Robert , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/583 , H03H9/0095 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/176 , H03H9/178 , H03H9/581 , Y10T29/42
摘要： Ein BAW-Resonator umfasst eine erste piezoelektrische Schicht (106) aus einem Material,das in eine erste Richtung orientiert ist, und eine zweite piezoelektrische Schicht (108) aus einem Material, das in einer zweiten Richtung, die der ersten Richtung entgegengesetzt ist, orientiert ist. Die erste piezoelektrische Schicht (106) und die zweite piezoelektrische Schicht (108) sind akustisch miteinander gekoppelt.
摘要翻译： BAW谐振器包括由其在第二方向上取向的材料，该材料是相反于第一方向的提出，在第一方向和第二压电体层（108）取向的材料制成的第一压电体层（106）是。第一压电体层（106）和所述第二压电体层（108）声学耦合到彼此。

4. 发明申请

WO2003058811A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TOPOLOGIEOPTIMIERTEN ELEKTRODE FÜR EINEN RESONATOR IN DÜNNFILMTECHNOLOGIE 审中-公开
标题翻译：一种用于生产拓扑优化电极作为谐振器薄膜技术
公开(公告)号：WO2003058811A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/EP2002/014190
申请日：2002-12-12
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
发明人： AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
IPC分类号： H03H3/02
CPC分类号： H03H3/02 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49128 , Y10T29/49155
摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Elektrode (106) für einen Resonator in Dünnfilmtechnologie, wird die Elektrode (106) des Resonators in einer isolierenden Schicht (126) derart eingebettet, dass eine Oberfläche (110) der Elektrode (106) freiliegt, und dass eine durch die Elektrode (106) und die isolierende Schicht (126) festgelegte Oberfläche im wesentlichen planar ist.
摘要翻译：在用于在薄膜技术的谐振器制造电极（106）中的绝缘层的谐振器中，电极（106）的方法（126）被嵌入，使得表面（110）被暴露于电极（106），和一个通过电极（106）和绝缘层（126）限定的表面基本上是平坦的。

5. 发明申请

WO2002095085A1 FREQUENZABGLEICH FÜR BULK-ACOUSTIC-WAVE RESONATOREN DURCH LOKALES IONENSTRAHLÄTZEN 审中-公开
标题翻译：通过局部离子束集合体声波谐振器的频率平衡
公开(公告)号：WO2002095085A1
公开(公告)日：2002-11-28
申请号：PCT/EP2001/005889
申请日：2001-05-22
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , ELBRECHT, Lüder , TIMME, Hans-Jörg
发明人： AIGNER, Robert , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , ELBRECHT, Lüder , TIMME, Hans-Jörg
IPC分类号： C23C14/58
CPC分类号： C23C14/5833 , C23C14/58 , C23C14/5873 , C23C16/56 , C23F4/00 , H01C17/2404 , H03H3/04 , H03H2003/0414
摘要： Erfindungsgemäss wird ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit einem lokal angepasstem bzw. vorgegebenen Schichtdickenprofil bereitgestellt, das die folgenden Schritte umfasst: a) zumindest eine Schicht wird auf ein Substrat aufgebracht, b) ein Abtragsprofil wird für die aufgebrachten Schicht (7) bestimmt, und c) zumindest ein Ionenstrahl (9) wird zumindest einmal über die Schicht geführt, so dass am Ort des Ionenstrahls eine lokale Ätzung der Schicht (7) entsprechend dem Abtragsprofil erfolgt und eine Schicht mit einem lokal angepasstem bzw. vorgegebenen Schichtdickenprofil erzeugt wird.
摘要翻译：
根据本发明＆AUML; SS提供了一种方法用于制造具有局部适配或预定义的层厚度分布的层，其包括以下步骤：a）至少一个层被施加到基底上，b）一种去除轮廓用于沉积层（7），和c）至少一个离子束（9）至少一次通过该层，从而实现层（7）在离子束位置处的定位 Abtragsprofil发生，并生成一层具有局部适应或预定的层厚度轮廓。

6. 发明申请

WO0209131A2 SEMICONDUCTOR ELEMENT COMPRISING A SEQUENCE OF LAYERS FOR CONVERTING ACOUSTIC OR THERMAL SIGNALS AND ELECTRICAL VOLTAGE CHANGES INTO EACH OTHER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
标题翻译： WITH A层序列半导体组件MESH纸品加工声波或热信号和电压的变化和方法及其
公开(公告)号：WO0209131A2
公开(公告)日：2002-01-31
申请号：PCT/EP0107604
申请日：2001-07-03
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER ROBERT , ELBRECHT LUEDER , HERZOG THOMAS RAINER , MARKSTEINER STEPHAN , NESSLER WINFRIED
发明人： AIGNER ROBERT , ELBRECHT LUEDER , HERZOG THOMAS RAINER , MARKSTEINER STEPHAN , NESSLER WINFRIED
IPC分类号： H01L21/28 , H01L37/02 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/22 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/17 , H01G
CPC分类号： H03H9/175 , H01L37/02 , H01L41/319
摘要： The sequence of layers has a lower electrode (U), an upper electrode (O) and a piezoelectric or pyroelectric layer (S) which is located between them. An auxiliary layer (H) is located between the lower electrode (U) and said layer (S), said auxiliary layer ensuring that the orientation of the layer (S) is homogenous as it grows during the production process. The auxiliary layer (H) preferably consists essentially of amorphous silicon, amorphous silicon oxide or amorphous silicon nitride.
摘要翻译：所述层序列具有下部电极（U），上电极（O）和一个插入层（S），其是压电或热电。下部电极（U）和所述层（S）之间是一个辅助层（H）被布置，其用于在制造过程中的层（S）的均匀定向性的增长。辅助层（H）优选地基本上无定形的硅，非晶硅或非晶氮化硅组成。

7. 发明申请

WO2003052928A1 PIEZOELEKTRISCHER SCHWINGKREIS, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND FILTERANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：压电谐振电路，方法的排列和过滤器
公开(公告)号：WO2003052928A1
公开(公告)日：2003-06-26
申请号：PCT/EP2002/013137
申请日：2002-11-22
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Joerg
发明人： AIGNER, Robert , ELBRECHT, Lueder , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Joerg
IPC分类号： H03H3/04
CPC分类号： H03H3/04 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schwingkreises in Dünnfilmtechnologie, bei dem der Schwingkreis eine vorbestimmte Eigenfrequenz und eine Mehrzahl von Schichten (112a, 112b, 114, 116a, 116b) umfasst, wird zunächst zumindest eine erste Schicht (116a) des piezoelektrischen Schwingkreises erzeugt. Anschließend wird durch Bearbeiten der ersten Schicht (116a) eine Frequenzkorrektur durchgeführt. Anschließend wird zumindest eine zweite Schicht (116b) des piezoelektrischen Schwingkreises erzeugt, und zum Durchführen einer zweiten Frequenzkorrektur bearbeitet.
摘要翻译：在用于制造薄膜技术的压电振荡电路，其中，所述振荡电路包括一个预定的自然频率和多个层（112A，112B，114，116A，116B）的方法包括，首先，生成至少压电振荡电路的一个第一层（116A）。然后（116A）通过处理所述第一层的频率校正进行。随后，至少在压电振荡电路的一个第二层（116B）被产生以及用于执行第二频率校正处理。

8. 发明申请

WO2003052839A1 BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： COMPONENT与方法研究
公开(公告)号：WO2003052839A1
公开(公告)日：2003-06-26
申请号：PCT/EP2002/014191
申请日：2002-12-12
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , ELBRECHT, Lueder , FRANOSCH, Martin , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Jörg
发明人： ELBRECHT, Lueder , FRANOSCH, Martin , HANDTMANN, Martin , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried , TIMME, Hans-Jörg
IPC分类号： H01L41/02
CPC分类号： H01G4/255 , H01C17/24 , H01L41/316 , H03H3/02
摘要： Bauelement und Verfahren zu dessen HerstellungBei einem Verfahren zum Herstellen eines Bauelements (100) mit einem vorbestimmten physikalischen Parameter wird zunächst das Bauelement (100), das eine Zusatzschicht (118) zur Einstellung des Parameters aufweist, bereitgestellt. Anschließend wird die Zusatzschicht (118) gedünnt, um den vorbestimmten physikalischen Parameter des Bauelements (100) auf einen erwünschten Ziel-Wert einzustellen. Das Bauelement ist ein piezoelektrischer Schwingkreis (100), ein Widerstand, ein Kondensator oder ein induktives Bauelement.
摘要翻译：设备和HerstellungBei的方法，用于具有预定物理参数的制造装置（100）的方法，是首先包括用于设置所述参数设置的辅助层（118）的部件（100）。随后，辅助层（118），以将装置（100）的预定的物理参数调整到期望的目标值变薄。该装置是一个压电振荡电路（100），电阻器，电容器或电感器。

9. 发明申请

WO2003043188A1 PASSIVIERTER BAW-RESONATOR UND BAW-FILTER 审中-公开
标题翻译：钝化BAW谐振器和BAW滤波器
公开(公告)号：WO2003043188A1
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：PCT/EP2002/011425
申请日：2002-10-11
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , EHRLER, Guenter , ELBRECHT, Lueder , MECKES, Andreas , NESSLER, Winfried , NIKLAS, Alfred , TIMME, Hans-Joerg
发明人： AIGNER, Robert , EHRLER, Guenter , ELBRECHT, Lueder , MECKES, Andreas , NESSLER, Winfried , NIKLAS, Alfred , TIMME, Hans-Joerg
IPC分类号： H03H3/04
CPC分类号： H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/175
摘要： Ein BAW-Resonator umfasst ein Substrat (102), eine erste Elektrode (108), die auf einer Oberfläche (106) des Substrats (102) angeordnet ist, eine piezoelektrische Schicht (112), die zumindest teilweise auf der ersten Elektrode (108) angeordnet ist, und eine zweite Elektrode (114), die zumindest teilweise auf der piezoelektrischen Schicht (112) und zumindest teilweise überlappend mit der ersten Elektrode (108) angeordnet ist. Um die zweite Elektrode (114) zu schützen, ist ferner eine Passivierungsschicht (128) auf der zweiten Elektrode vorgesehen.
摘要翻译： BAW谐振器包括基板的基板（102），第一电极（108）（106）（102）被布置在一个表面上，压电体层（112）至少部分地在所述第一电极（108）设置，和一第二电极（114）至少部分地在压电体层（112）和至少部分地重叠所述第一电极（108）上布置。到所述第二电极（114）要被保护，还设置在所述第二电极上的钝化层（128）。

10. 发明申请

WO2003030358A1 PIEZOELEKTRISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：压电元件与方法研究
公开(公告)号：WO2003030358A1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/009406
申请日：2002-08-22
申请人： INFINEON TECHNOLOGIES AG , AIGNER, Robert , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
发明人： AIGNER, Robert , MARKSTEINER, Stephan , NESSLER, Winfried
IPC分类号： H03H9/58
CPC分类号： H03H9/585 , H03H3/04 , H03H9/0095 , H03H9/589 , H03H9/60 , Y10T29/42 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128
摘要： Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements,das zumindest zwei Stacked-Crystal-Filter umfasst. Durch das Abscheiden des Schichtstapelsüber der unteren Elektrode und der anschließenden Strukturierung der oberen elektrisch leitfähigenSchicht und ggf. zweiten piezoelektrischen Schicht kann auf einfache Weise, mit einem Minimuman Prozessschritten, ein piezoelektrisches Bauelement erzeugt werden, das zwei Stacked-Crystal-Filterumfasst, die über ihre untere und mittleren Elektrode direkt miteinander verbunden sind. Daserfindungsgemäße piezoelektrische Bauelement besitzt darüber hinaus den Vorteil, dassAnwendungen, bei denen es auf eine hohe Sperrbanddämpfung ankommt, mit einer relativgeringen Anzahl an Filterstufen realisiert werden können. Dabei kann durch den Einsatz vonzumindest zwei Stacked-Crystal-Filtern eine ausgezeichnete Fernabselektion auch für "single-ended Signale" erzielt werden.
摘要翻译：本发明描述了一种用于生产压电部件的方法，包括至少两个叠层的晶体滤波器。通过沉积在下部电极层堆叠和上部导电层的后续图案化和任选的第二压电体层，以简单的方式的压电器件可以与一个Minimuman工艺步骤中，产生的两个堆叠的晶体Filterumfasst，下对其和中心电极直接连接。 Daserfindungsgemässe压电装置具有应用程序，这需要高的阻带衰减可以用相对小数目的滤波器级来实现额外的优点。在这种情况下，优异的远程选择性也可用于“单端信号”通过使用vonzumindest两个堆叠的晶体滤波器来实现的。

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