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    • 1. 发明申请
    • MIKROMECHANISCHER BEWEGUNGSSENSOR
    • 微机械运动
    • WO2004102116A1
    • 2004-11-25
    • PCT/DE2004/000604
    • 2004-03-24
    • ROBERT BOSCH GMBHKRIEG, DietmarGOMEZ, Udo-MartinNEUL, Reinhard
    • KRIEG, DietmarGOMEZ, Udo-MartinNEUL, Reinhard
    • G01C19/56
    • G01C19/5712G01C19/5726G01C19/5776
    • Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Bewegungssensor, der eine auf ein schwingungsfähig gelagertes und durch einen elektrostatischen und mit einer periodischen Antriebsspannung beaufschlagten Schwingantrieb (KA1, KI2, KA2, KI2) zu permanenter periodischer Schwingung (γ(t)) angeregtes Balkenfederglied (1, 2) ausgeübte Auslenkung erfassen kann. Zur Kompensation auftretender Nichtlinearitäten des Resonanzfrequenzgangs des Balkenfederglieds (1, 2) kann ein vorhandener Kammantrieb (KA1, KI1, KA2, KI2) mit einer Summe (U PKA, Ges , U PKI, Ges ) aus einem normalen Antriebsspannungssignal und einem Kompensationsantriebssignal beauschlagt werden. Bei einer alternativen Ausführung können separate Kompensations-Kammantriebseinheiten zusätzlich zu den für den Schwingantrieb eingesetzten Kammantriebseinheiten (KA1, KA2, KI1, KI2) vorgesehen sein, die mit einem die Nichtlinearität kompensierenden Kompensationsspannungssignal beauftschlagt werden (Figur 3).
    • 本发明涉及一种微机械运动传感器,一个到一个可摆动地安装,并通过静电和通过周期性的驱动电压的振荡驱动器(KA1,KI2,KA2,KI2)到永久周期振荡(γ-(t))的作用在兴奋棒状弹簧元件(1,2) 可以检测施加的偏转。 存在用于补偿光束弹簧部件的共振频率响应的非线性(1,2)可以是现有的梳状驱动器(KA1,KI1,KA2,KI2)的beauschlagt与来自正常驱动电压信号的总和(UPKA,格斯,UPKI,GES)以及补偿驱动信号。 在除了用于振荡驱动梳状驱动器单元(KA1,KA2,KI1,KI2)可以被提供,其被beauftschlagt与非线性补偿补偿电压信号(图3)替代实施例中单独的补偿梳状驱动器的单元。
    • 2. 发明申请
    • CEILING SYSTEM FOR CLEANROOMS
    • 吊顶系统洁净室
    • WO1999023323A1
    • 1999-05-14
    • PCT/DE1998003087
    • 1998-10-15
    • MANNESMANN AGKRIEG, Dietmar
    • MANNESMANN AG
    • E04B09/02
    • E04B9/02
    • The invention relates to a ceiling system for cleanrooms (15) constructed of a plurality of joined grid-like profile bars (1) and module systems containing joint pieces (2), whereby the profile bars (1) and the joint pieces (2) each have two interspaced, stacked impermeable plane surfaces (18, 19). A connected cavity (23) is located between said plane surfaces. The cavity (23) is provided with at least one supply opening (3) for supplying particle-free intake air and is provided with at least one discharge opening (4) for the supplied intake air. The discharge opening (4) is connected to a suction blower (5) and the suction blower (5) is designed and operable in such a way that a low pressure can be constantly maintained in the cavity opposite the cleanroom.
    • 本发明涉及一种用于清洁房间的顶棚系统(15),一个有多个装配的轮廓条带(1)和节点元素的组增量中的(2)形成含有模块系统,其特征在于,所述成型条带(1)和节点元件(2)在每两个相互隔开的气密性水平(18 ,19),在它们之间有一个连续的腔室(23)。 在此,所述空腔(23)带有至少一个进料口(3)为无颗粒的空气供给的供给,并与至少一个排放开口(4)被设置用于供给新鲜空气,在去除开口(4)被连接到抽吸风扇(5)和吸引风扇 (5)被构造和操作在洁净室相对腔总是部分真空是维护。