专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2010031566A1 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING STRUCTURES ON PHOTOLITHOGRAPHY MASKS 审中-公开
标题翻译：用于测量光刻胶掩模结构的方法和装置
公开(公告)号：WO2010031566A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：PCT/EP2009/006752
申请日：2009-09-18
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , STROESSNER, Ulrich , KLOSE, Gerd , TOTZECK, Michael
发明人： STROESSNER, Ulrich , KLOSE, Gerd , TOTZECK, Michael
IPC分类号： G03F1/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F1/84 , G03F7/70141
摘要： The invention relates to a method for measuring structures on masks (1) for photolithography, wherein firstly the mask (1) is mounted on a spatially movable platform (2). The position of the platform (2) is controlled in this case. The structure on the mask (1) is illuminated with illumination light from an illumination light source which emits coherent light. The light coming from the mask (1) is imaged onto a detection device (6) by an imaging optical unit (4) and detected. The detected signals are evaluated in an evaluation device (7) and the positions and dimensions of the structures are determined. The invention also relates to an apparatus by which these method steps, in particular, can be carried out. In this case, the accuracy of the position and dimension determination is increased by the properties of the illumination light being coordinated with the structure to be measured. For this purpose, the illumination device (3, 3') has setting means for coordinating the properties of the illumination light with the structure to be measured.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量用于光刻的掩模（1）上的结构的方法，其中首先将掩模（1）安装在空间上可移动的平台（2）上。在这种情况下，控制平台（2）的位置。掩模（1）上的结构被发出相干光的照明光源的照明光照射。来自掩模（1）的光通过成像光学单元（4）成像到检测装置（6）上并进行检测。在评估装置（7）中评估检测到的信号，并确定结构的位置和尺寸。本发明还涉及一种可以进行这些方法步骤的装置。在这种情况下，通过与要测量的结构协调的照明光的特性来增加位置和尺寸确定的精度。为此，照明装置（3,3'）具有用于使照明光的特性与被测量结构协调的设定装置。

2. 发明申请

WO2009092555A1 AUTOFOKUSVORRICHTUNG UND AUTOFOKUSSIERVERFAHREN FÜR EINE ABBILDUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：支持自动对焦和设备对图片的自动对焦装置
公开(公告)号：WO2009092555A1
公开(公告)日：2009-07-30
申请号：PCT/EP2009/000313
申请日：2009-01-20
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , ARNZ, Michael , BETZ, Volkmar , KLOSE, Gerd , LEVTONOV, Mikhail
发明人： ARNZ, Michael , BETZ, Volkmar , KLOSE, Gerd , LEVTONOV, Mikhail
IPC分类号： G02B21/24
CPC分类号： G02B21/244 , G02B21/245
摘要： Es wird bereitgestellt eine Autofokusvorrichtung für eine Abbildungsvorrichtung, die eine Abbildungsoptik (9) mit einer ersten Fokusebene (20) und einen Objekttisch (11) zum Bewegen eines abzubildenden Objektes (3) relativ zur ersten Fokusebene (20) aufweist, wobei die Autofokusvorrichtung (1) a) ein Bildaufnahmemodul (9) mit einer zweiten Fokusebene, deren Lage relativ zur ersten Fokusebene (20) bekannt ist, b) ein Beleuchtungsmodul (BM) zum Abbilden eines Fokussierbildes entlang eines Beleuchtungsstrahlenganges in eine Fokussierbildebene derart, daß, wenn das Objekt in einer Sollposition mit einem vorbestimmten Abstand zur zweiten Fokusebene positioniert ist, der Beleuchtungsstrahlengang aufgrund Reflexion am Objekt gefaltet ist und das in der Fokussierbildebene liegende Fokussierbild die zweite Fokusebene schneidet oder in dieser liegt, und c) ein Steuermodul umfaßt, das zum Fokussieren der Abbildungsvorrichtung (9) den Objekttisch (11) so ansteuert, daß das Objekt (3) in der Sollposition positioniert ist, aus einem Signal des Bildaufnahmemoduls, das das Bildaufnahmemodul anhand seiner Aufnahme des Fokussierbildes, wenn das Objekt in der Sollposition positioniert ist, erzeugt, die Abweichung der Objektposition von der Sollposition ableitet und basierend auf der abgeleiteten Abweichung, dem vorbestimmten Abstand und der relativen Lage der ersten und zweiten Fokusebene den Objekttisch so ansteuert, daß das Objekt in der ersten Fokusebene positioniert ist.
摘要翻译：提供了一种用于成像装置具有用于移动物体的成像光学系统（9），具有第一焦平面（20）和载物台（11）的自动聚焦装置（3）相对于所述第一焦平面（20），其中，所述自动聚焦装置将被成像（1 ）a）具有第二焦平面，其位置（相对于所述第一焦平面20）的图像采集模块（9）是已知的，b）一种照明模块（BM），用于在聚焦图像，使得沿着照明光束路径成像的聚焦图像时，对象在目标位置被定位在从所述照明光束路径的第二焦点平面的预定距离被折叠由于在物体的聚焦躺在聚焦图像中的相交的第二焦平面反射和或位于其中，以及c）包括控制模块（9用于聚焦在成像装置），以便控制所述物体台（11），在这样的物品（3） llposition被定位时，从图像拾取模块的信号与参照其列入当对象被定位在期望的位置聚焦的生成图像拾取模块，导出从目标位置的对象位置的偏差，并基于所导出的偏差，预定距离和在第一和第二焦平面的相对位置以驱动对象表，使该对象被定位在所述第一焦平面。

3. 发明申请

WO2006136396B1 METHOD AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF INSULATION ELEMENTS FROM MINERAL FIBRES 审中-公开
标题翻译：方法和装置绝热材料的矿物纤维生产
公开(公告)号：WO2006136396B1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：PCT/EP2006005967
申请日：2006-06-21
申请人： ROCKWOOL MINERALWOLLE , KLOSE GERD-RUEDIGER
发明人： KLOSE GERD-RUEDIGER
IPC分类号： E04B1/80
CPC分类号： E04B1/80 , E04B1/7662 , E04B2001/7695
摘要： The invention relates to a method for production of insulating boards from mineral fibres, comprising at least one elasticised lateral surface and/or at least one elasticised lateral surface region. According to the invention, a method for a simple and economical production of insulation elements, in particular insulation boards which are elasticised in a region of at least one lateral surface may be achieved, whereby the elastication is achieved by local compression and/or local separation of at least on lateral surface and/or at least one lateral surface region of the insulation element, in particular, the insulation board.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造具有至少一个弹性化侧表面和/或至少一个弹性化侧平坦区域的矿物纤维的坝板的制备。为了提供一种制造方法，其在弹性化障碍材料元件中的至少一个侧表面，特别是坝板是durchfËhrbar以简单和kostengunstiger适合于在磁场产生时，弹性化发生由本地压缩和/或通过至少局部分离的至少一个侧表面和/或堤坝材料元件的平坦侧部，特别是障碍材料板。

4. 发明申请

WO2006042755A2 MOULDING FOR GENERATING A MINERAL MELTED MASS TO BE DEFIBRATED IN ORDER TO PRODUCE INSULATING MATERIALS MADE OF MINERAL FIBRES 审中-公开
标题翻译： FORM BODY FOR GENERATING A TO绽线矿物熔体FOR PRODUCING矿物纤维绝缘的材料制成的
公开(公告)号：WO2006042755A2
公开(公告)日：2006-04-27
申请号：PCT/EP2005011293
申请日：2005-10-20
申请人： ROCKWOOL MINERALWOOL GMBH & CO , KLOSE GERD-RUEDIGER
发明人： KLOSE GERD-RUEDIGER
CPC分类号： C03C13/06 , C03C1/002 , C03C1/026
摘要： A moulding is disclosed for generating a mineral melted mass to be defibrated in order to produce insulating materials made of mineral fibres, in particular rock wool. The moulding comprises a primary or secondary energy carrier, such as coke, and/or primary and/or secondary raw materials to be melted and defibrated so as to form mineral fibres, such as diabase or basalt, as well as limestone and/or dolomite or slags, in particular slags from the steel industry, such as blast furnace slags as correcting substances, and/or a recycling material obtained from mineral fibre insulating materials, in particular disaggregated mineral fibre insulating materials and/or production waste in the form of mineral fibre insulating materials which are disaggregated and moulded so as to produce moulded bricks. In order to produce a generic moulding with a shape which is particularly advantageous for melting in a melting aggregate, and which can be easily and economically produced, the cross-section of the moulded brick, in at least one of its large axes, is circular or elliptic, or has the shape of a circular arc, or the cross-section of the moulded brick, in at least one of its large axes, is polygonal, and the moulded brick has surfaces that intersect at obtuse angles, or the moulded brick is designed as a cube with edges of more than 200 mm length, in particular no more than 300 mm, and preferably from 200 to 250 mm.
摘要翻译：本发明涉及一种模制，以产生要被纤维化的矿物熔体用于生产从矿物纤维绝缘材料，特别是石绒，包括一个初级或次级能量源的，如将被熔化，例如，焦炭和/或矿物纤维，和纤维化伯和/ 或辅助原料，比如辉绿岩或玄武岩和石灰石和/或白云石和炉渣，特别是炉渣从钢铁工业如高炉矿渣作为从矿物纤维纠正物质和/或回收材料的绝缘材料，特别是背面内置矿物纤维绝缘材料和/或矿物纤维的形式生产相关的废物的绝缘材料中，压碎和形成一个成型的石头。为了提供一个通用的形状主体，其具有特别是具有用于在其可以以简单的和经济的方式制造的熔化单元有利的形状的熔化过程中，并且提供模塑块是圆形，椭圆形或规则的圆弧至少在主体的横截面的长轴或者是，在横截面中具有大的身体轴线，其中，所述模制的块包括表面，其锥度或以钝角彼此成形砖至少形成多边形，所述形状的砖为具有超过200mm的边长的立方体，特别是至多至300mm之间，优选在形成200和250毫米。

5. 发明申请

WO2006027115B1 DEVICE FOR SECURING INSULATING ELEMENTS TO THE SUBSTRUCTURE OF A ROOF AND TO THE BUILDING ROOF 审中-公开
标题翻译：在屋顶建筑和建筑屋顶上固定绝缘元件的装置
公开(公告)号：WO2006027115B1
公开(公告)日：2006-04-13
申请号：PCT/EP2005009219
申请日：2005-08-26
申请人： ROCKWOOL MINERALWOLLE , KLOSE GERD-RUEDIGER
发明人： KLOSE GERD-RUEDIGER
IPC分类号： E04D13/16 , E04D3/36
CPC分类号： E04D3/3602 , E04B2/7414 , E04D13/1643
摘要： The invention relates to a device for securing insulating elements to the substructure of a roof, in particular, profile sheets, made of at least one profiled rail which comprises two limbs which extend essentially at a right-angle in relation to the web, and which is embodied as a U-shape, essentially, in the cross-section and also a web. In order to produce a device which secures insulating elements to the substructure of a roof which can be joined in a simple manner to an insulating layer, in particular to insulating material plates made of mineral fibres, without requiring prior work and/or without fundamentally damaging the device during construction, the profiled rail (2) comprises tongues (20) which can bend in the region of the web (3), said tongues being regionally separated from the profile rail (2) by punched-out sections (21).
摘要翻译：本发明涉及一种用于由金属片型材绝缘元件固定到屋顶下部结构，特别是由至少一个大致U形的横截面，因此网络和两个基本上以直角延伸到具有卷材腿部轨的。为了提供用于在屋顶下部结构，其可以与热绝缘层以简单的方式连接固定绝缘元件，特别是与没有以前的工作由矿物纤维的隔热板提供一种装置，这里并没有根本的损坏的安装过程中的风险，该设备需要的是，它提供了在幅材的区域中的轮廓导轨（2）（3）可偏转舌片（20），所述型材轨道（2）的部分贯通切口（21）是分开的。

6. 发明申请

WO2006032440A1 DÄMMSTOFFELEMENT AUS MINERALFASERN UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：矿物纤维绝缘元件及其制造方法
公开(公告)号：WO2006032440A1
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：PCT/EP2005/010092
申请日：2005-09-20
申请人： DEUTSCHE ROCKWOOL MINERALWOLL GMBH & CO. OHG , KLOSE, Gerd-Rüdiger , NOWACK, Peter
发明人： KLOSE, Gerd-Rüdiger , NOWACK, Peter
IPC分类号： E04B1/80 , F16B5/00
CPC分类号： F16L59/02 , E04B1/6125 , E04B1/80 , E04B2001/7683
摘要： Die Erfindung betrifft ein Dämmstoffelement aus Mineralfasern (2), vorzugsweise aus Steinwolle, in Form einer Platte oder einer Bahn, mit zwei grossen Oberflächen (3), die im Abstand und parallel zueinander verlaufend angeordnet und über Seitenflächen (4) miteinander verbunden sind, wobei die Seitenflächen (4) rechtwinklig zueinander ausgerichtet sind und zumindest eine Seitenfläche (4) eine Profilierung (5), insbesondere in Form einer Feder (6) oder einer Nut (7) aufweist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Dämmstoffelementes. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, dass die Seitenflächen (4) im Bereich der Profilierung (5) eine die Profilierung (5) stabilisierende Beschichtung (10) aufweist, die zumindest teilflächig auf der Oberfläche (11, 12) der Profilierung (5) angeordnet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种从矿物纤维（2），优选岩棉，在片材或网的形式，其具有两个大表面（3），其被间隔开并布置在平行延伸面和侧面（4）彼此连接，其中一个绝缘元件侧表面（4）的垂直定向成相互并在弹簧（6）的形式，或者一个槽的至少一个侧表面（4）具有轮廓（5），特别是（7）。本发明还涉及一种用于制造这样的绝缘元件的方法。根据本发明，它提供了在分析的区域中的侧表面（4）（5）分析（5）稳定化，其在轮廓（5）的表面（11，12）上的区域的至少一部分被布置的涂层（10）。

7. 发明申请

WO2005072951A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DÄMMSTOFFBAHN AUS MINERALFASERN SOWIE DÄMMSTOFFBAHN 审中-公开
标题翻译：方法用于在矿物纤维与绝缘TRAIN绝缘TRAIN
公开(公告)号：WO2005072951A1
公开(公告)日：2005-08-11
申请号：PCT/EP2004/014449
申请日：2004-12-18
申请人： DEUTSCHE ROCKWOOL MINERALWOLL GmbH & Co. OHG , KLOSE, Gerd-Rüdiger
发明人： KLOSE, Gerd-Rüdiger
IPC分类号： B32B17/02
CPC分类号： D04H1/4218 , D04H1/4209 , D04H1/4226 , D04H1/645 , D04H1/74 , D04H13/00 , E04B1/7662 , E04B9/045 , E04B2001/7683 , Y10T428/237
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Dämmstoffbahn aus Mineralfasern, bei dem die Mineralfasern aus einer Schmelze hergestellt und auf einer Fördereinrichtung als Primärvlies abgelegt werden, das Primärvlies rechtwinklig zu seiner Längserstreckung aufgependelt und als Sekundärvlies auf einer zweiten Fördereinrichtung abgelegt wird, das Sekundärvlies anschließend derart bewegt wird, dass die Mineralfasern im Wesentlichen einen Verlauf rechtwinklig zu den großen Oberflächen des Sekundärvlieses einnehmen und das Sekundärvlies anschließend durch einen Trennschnitt parallel zu den großen Oberflächen des Sekundärvlieses in zumindest zwei Dämmstoffbahnen unterteilt wird, die jeweils eine große Oberfläche und eine im Wesentlichen flächengleiche, der großen Oberfläche gegenüberliegend angeordnete Trennfläche aufweisen. Um ein gattungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer Dämmstoffbahn aus Mineralfasern dahingehend zu verbessern, dass die herzustellende Dämmstoffbahn hinsichtlich ihrer Festigkeitseigenschaften und ihrer Verarbeitbarkeit, insbesondere im Bereich von Gebäudeaußenflächen und Rohrleitungsmantelflächen verbessert bzw. vereinfacht ist, ist vorgesehen, dass auf zumindest eine der Trennflächen (36) der beiden Dämmstoffbahnen (2) eine Kaschierung (39) aufgebracht wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造矿物纤维构成的绝缘材料带，其中产生从熔融的矿物纤维和沉积在输送器作为主要羊毛，初级羊毛垂直平整于其纵向延伸并沉积作为第二网络上的第二输送机，二次羊毛所以然后移动，使得所述的矿物纤维基本上占据成直角取向到次级网络和副网络的大表面，然后通过平行的分离切割划分到次级网络的大表面分成至少两个绝缘材料腹板，每个面积相等的，大的表面面积和基本上，具有大的表面相对设置的分型面。为了改进用于以这样的方式使得产生的绝缘片在强度性能和加工性能的改善，特别是在建筑物的外表面和管套的表面或简化的磁场产生矿物纤维构成的绝缘材料带的一般方法，它提供的是，分离面中的至少一个（36）两个绝缘材料腹板（2）的层叠（39）被应用。

8. 发明申请

WO2005015313A1 ILLUMINATION MASK FOR RANGE-RESOLVED DETECTION OF SCATTERED LIGHT 审中-公开
标题翻译：用于散射光的范围检测的照明面具
公开(公告)号：WO2005015313A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/EP2003/010604
申请日：2003-09-24
申请人： CARL ZEISS SMT AG , ARNZ, Michael , GROMER, Oswald , KLOSE, Gerd , STÜHLER, Joachim
发明人： ARNZ, Michael , GROMER, Oswald , KLOSE, Gerd , STÜHLER, Joachim
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70591 , G03F7/70941
摘要： The invention relates to an illumination mask (10) for a device for range-resolved determination of scattered light, having one or more scattered-light measuring structures (11) which respectively include an inner dark-field zone (22) which defines a minimum scattering range, to a corresponding device, to an associated method for determining scattered light, and to a microlithographic projection exposure apparatus having such a device. According to the invention, in the case of the illumination mask the scattered-light measuring structure has a scattered-light marker zone (20) in the form of a bright-field zone which on the one hand borders the inner dark-field zone and on the other hand borders an outer dark-field zone (21) which defines a maximum scattering range.
摘要翻译：本发明涉及一种用于范围分辨确定散射光的装置的照明掩模（10），其具有一个或多个散射光测量结构（11），其分别包括限定最小值的内部暗场区域（22）散射范围，到相应的装置，到用于确定散射光的相关方法，以及具有这种装置的微光刻投影曝光装置。根据本发明，在照明掩模的情况下，散射光测量结构具有明亮区域形式的散射光标记区域（20），该区域一方面与内部暗场区域接合，并且另一方面边界限定了最大散射范围的外部暗场区域（21）。

9. 发明申请

WO2004018299A3 DEVICE FOR VERTICALLY CONVEYING PALLETLESS PACKAGING UNITS FOR PLATE-SHAPED CONSTRUCTION MATERIALS 审中-公开
标题翻译：设备为范围地段的包装规格板状建材运输高度
公开(公告)号：WO2004018299A3
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/EP0307845
申请日：2003-07-18
申请人： ROCKWOOL MINERALWOLLE , KLOSE GERD-RUEDIGER
发明人： KLOSE GERD-RUEDIGER
IPC分类号： B65D71/00 , B66C1/16 , B66C1/30
CPC分类号： B66C1/16 , B65D71/0092 , B65D2571/00098
摘要： The invention relates to a device for vertically conveying palletless packaging units, comprising at least two crossbars (2) and at least one load-receiving element (3) which can be fixed to both crossbars and can be attached to a hook (4) of a crane or similar. Each crossbar is provided with at least one support area (7) and a stop area (8) that runs essentially at a right angle therefrom. Said support areas can be brought into contact with a large surface (15) at a distance from each other while the stops can be brought into contact with opposite sides, preferably the sides running at a right angle from the direction of the longitudinal axis of the packaging unit (1).
摘要翻译：设备用于在具有至少两个横向（2）和至少一个，anschlagbaren两个横梁载荷接收元件高度输送托盘包装单元（3）安装在钩（4）的起重机或类似物是可追加，其中，所述横向构件各自具有至少一个轴承表面（7）和与其成直角基本上梯度设置的止挡面（8），它支持在具有大表面（15），并且停止在与相对的接触接触彼此隔开的表面，优选地延伸到垂直于所述包装单元（1）的侧面可以带来的纵向轴线的方向。

10. 发明申请

WO2003018933A1 VERFAHREN ZUR BEREITSTELLUNG EINES ABSORBER-ELEMENTES AUS MINERALWOLLE 审中-公开
标题翻译：方法提供了一个吸收元件在玻璃棉
公开(公告)号：WO2003018933A1
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：PCT/EP2002/009155
申请日：2002-08-16
申请人： DEUTSCHE ROCKWOOL MINERALWOLL GMBH & CO. OHG , KLOSE, Gerd-Rüdiger
发明人： KLOSE, Gerd-Rüdiger
IPC分类号： E04D13/16
CPC分类号： D04H13/00 , E04B1/82 , E04B1/84 , E04B2001/8245 , E04D13/1631 , E04D13/1643
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bereitstellung eines Absorber-Elementes, vorzugsweise für das Ausfüllen einer Sicke mit einem in etwa trapezförmigen Querschnitt, wobei das Absorber-Element aus einem Dämmstoffstreifen aus Mineralwolle, vorzugsweise Steinwolle, geformt wird, und wobei der Dämmstoffstreifen um wenigstens eine parallel zur seiner Längsachse verlaufenden Knickachse vor Einlage in die Sicke aufgefaltet wird. Um die Bereitstellung und Handhabung des Absorber-Elementes zu vereinfachen, wird vorgeschlagen den Dämmstoffstreifen vor dem Auffalten zumindest im Bereich der Knickachse durch Komprimieren und Dekomprimieren vorzugsweise in Richtung der Flächennormalen einer grossen Oberflächen des Dämmstoffstreifens zu elastifizieren.
摘要翻译：本发明涉及提供一种吸收元件，优选地，绝缘带平行用于填充槽具有大致梯形的横截面，其中，所述吸收元件由矿棉，优选岩棉的绝缘材料条带的方法，在形成，并且其中至少一个于其纵向轴线延伸的弯曲轴是沉积到胎圈之前展开。为了简化的提供与吸收元件的处理，提出了通过压缩和在表面法线绝缘条的主表面的方向优选地解压缩的折叠之前，弹性化绝缘带，在弯曲轴线的区域至少。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式