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    • 2. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT HOHER AUFLÖSUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
    • 设备技术的热辐射具有产生高的分辨率和检测方法
    • WO2009043571A1
    • 2009-04-09
    • PCT/EP2008/008280
    • 2008-09-29
    • PYREOS LTD.GIEBELER, CarstenRETTIG, UweSCHREITER, Matthias
    • GIEBELER, CarstenRETTIG, UweSCHREITER, Matthias
    • G01J5/10G01J5/12G01J5/34H01L27/16H01L31/101H01L37/00
    • H01L31/101G01J5/02G01J5/024G01J5/0245G01J5/04G01J5/046G01J5/06G01J5/34H01L37/02Y10T29/49007
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen zugewandten Seite der Membran und/oder auf der den Detektorelementen abgewandten Seite der Membran mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und mit den Detektorelementen via die Membran wärmeleitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen mit der Wärmeableitbahn abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente hoch ist, und wobei in der Membran integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und zwischen den Detektorelementen sich erstreckt, so dass von der Wärmebarriere eine Wärmeleitung in der Membran von dem einen Detektorelement zu dem anderen Detektorelement behindert ist, wodurch das Übersprechen der Detektorelemente gering ist.
    • 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置(1),与膜(101)和至少两个检测器组件(11),每个适于热辐射转换成电信号,并且安装成邻近彼此在膜上,在 面向膜的侧面和/或上设置有至少一个Wärmeableitbahn(104)的膜,其具有比所述薄膜高的热导率和热传导地连接到通过所述膜的探测器元件的探测器元件侧的相反侧的检测器元件,使得来自该热 与Wärmeableitbahn检测器元件被排出,由此,检测器元件的响应是高的,并且其中,在所述膜的至少集成的热障(105)被提供,其具有比所述薄膜的热导率和检测器元件之间延伸,使得热阻挡 热传导率 UNG从一个检测器元件是在膜中的其他检测器元件,由此所述检测器元件之间的串扰很小访问。
    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG MIT SANDWICHTSTRUKTUR ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN UND VERWENDUNG DER VORRICHTUNG
    • 用沙土结构重量探测设备热辐射,方法用于生产和使用的设备
    • WO2008145354A1
    • 2008-12-04
    • PCT/EP2008/004247
    • 2008-05-28
    • PYREOS LTD.GIEBELER, CarstenSCHREITER, MatthiasZAPF, Jörg
    • GIEBELER, CarstenSCHREITER, MatthiasZAPF, Jörg
    • G01J5/34G01J5/10H01L27/16H01L31/0203
    • H01L27/16G01J5/04G01J5/045G01J5/10G01J5/34H01L27/14618H01L2924/0002H01L2924/00
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, aufweisend einen Stapel (10) mit mindestens einem Detektorträger (11) mit mindestens einem thermischen Detektorelement (111) zur Umwandlung der Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal, mindestens einem Schaltungsträger (12) mit mindestens einer Ausleseschaltung (121, 122) zum Auslesen des elektrischen Signals, und mindestens einer Abdeckung (13) zum Abdecken des Detektorelements, wobei der Detektorträger und die Abdeckung derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorelement des Detektorträgers und der Abdeckung mindestens ein, vom Detektorträger und von der Abdeckung begrenzter, erster Stapelhohlraum (14) des Stapels vorhanden ist, der Schaltungsträger und der Detektorträger derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorträger und dem Schaltungsträger mindestens ein, vom Schaltungsträger und vom Detektorträger begrenzter, zweiter Stapelhohlraum (15) des Stapels vorhanden ist und der erste Stapelhohlraum und/oder der zweite Stapelhohlraum evakuiert oder evakuierbar sind. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung angegeben. Detektorträger, Schaltungsträger und Abdeckung sind vorzugsweise aus Silizium. Das Herstellen erfolgt auf Wafer-Ebene: Es werden funktionalisierte Silizium-Substrate übereinander gestapelt, fest miteinander verbunden und anschließend vereinzelt. Vorzugsweise sind die Detektorelemente pyroelektrische Detektorelemente. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.
    • 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置(1),其包括一个堆(10)与至少一个检测器支撑件(11)与至少一种热式光检测元件(111),用于热辐射转换成电信号,所述至少一个电路载体(12)与 用于覆盖所述检测器部件的至少一个读出电路(121,122),用于读出对应的电信号,和至少一个盖(13),所述检测器支撑件和盖被布置成彼此,使得检测器基板的检测器元件和盖,至少一个从间 所述堆叠的检测器支撑件和盖限定的,第一堆叠腔(14)存在时,在电路载体和检测器支撑件被布置成彼此,使得所述检测器基板和电路基板中,至少一个,从所述电路载体和检测器支撑件限定,第二堆叠腔室(15)之间 堆栈VO 是可用的翻译和所述第一堆叠腔体和/或第二堆叠腔抽空或可被排空。 此外,提供了一种用于制造该装置的方法。 检测器支撑件,在电路载体和盖优选地由硅制成。 制造发生在晶片级:有叠置固定在一起官能硅衬底和随后分离。 优选地,所述检测器元件是热电检测器元件。 使用发现于运动检测器,占用检测器和热成像装置。
    • 5. 发明申请
    • SENSORSYSTEM ZUM ERKENNEN EINER BEWEGUNG EINER INFRAROTLICHTQUELLE
    • 传感器系统识别红外光源的运动
    • WO2014029698A1
    • 2014-02-27
    • PCT/EP2013/067153
    • 2013-08-16
    • PYREOS LTD.WOJTCZUK, PiotrGIEBELER, CarstenBINNIE, David
    • WOJTCZUK, PiotrGIEBELER, CarstenBINNIE, David
    • G01J5/08G01J5/34G01J5/00G01J1/06G01J1/02
    • G06F3/0325G01J1/0266G01J1/06G01J5/0025G01J5/0831G01J5/0875G01J5/089G01J5/34G01S17/66
    • Ein Sensorsystem zum Erkennen einer Bewegung in eine vorherbestimmte Bewegungsrichtung (30) einer Infrarotlichtquelle (29) weist mindestens ein Infrarotlichtsensorpaar bestehend aus zwei Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) auf, die nebeneinanderliegend bezüglich der Bewegungsrichtung (30) angeordnet und dadurch eine Sensorüberdeckungsstrecke (17) definieren, die durch den Abstand der voneinander abgewandten Enden (16) der Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) bezüglich der Bewegungsrichtung (29) bestimmt ist, sowie derart eingerichtet sind, dass sie bei der Bestrahlung mit der Infrarotlichtquelle (29) für das Erkennen der Bewegung der Infrarotlichtquelle (29) elektrische Signale abgreifbar zur Verfügung stellen, deren Ladungsvorzeichen gegensätzlich sind, wobei das Sensorsystem (1) ein Fenster (7) zwischen den Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) und der Infrarotlichtquelle (29) aufweist, durch das das Infrarotlicht der Infrarotlichtquelle (29) auf die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) durchstrahlbar ist und hinter dem die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) angeordnet sind sowie deren Anordnung und deren Erstreckung in die Bewegungsrichtung (29) derart auf die Weite (41) des Fensters (7) abgestimmt sind, dass jenseits eines vorherbestimmten Grenzabstands (20) weg vom Fenster (7) die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) jeweils eine Vollbescheinungszone (22, 23) haben, die die Orte definiert, von denen aus die Infrarotlichtquelle (29) lediglich einen der Infrarotlichtsensoren (4, 36 oder 5, 37) voll bescheint, wobei die Vollbescheinungszonen (22, 23) jenseits des Grenzabstands (20) sich räumlich nicht überlappen und die Fensterweite (41) in die Bewegungsrichtung (29) kleiner als die Sensorüberdeckungsstrecke (17) ist.
    • 一种用于在红外光源的运动(30)(29)的预定方向上检测的运动的传感器系统具有至少一个红外光传感器对由两个红外传感器(4,5; 36,37),其通过侧相对于运动(30)的方向上并排布置,从而一个传感器重叠距离 相对于移动的方向(29)被确定,并且被设置为使得它们(当用红外光源照射;定义(17)远离(红外光传感器中的一个的另一(16)36由端部之间的距离限定,37 4,5) 29),用于检测所述红外光源的移动(29)提供抽头可用其电荷符号相反的电信号,其中,所述传感器系统(1)具有一个窗口(7)的红外光传感器(4,5之间; 36,37)和所述红外光源 (29),通过它从所述红外光源的红外光(29)(红外光传感器4,5 ;,37)是可穿透36和红外光传感器(4,5后面; 36,37)被布置,以及它们的布置以及它们在以这样的方式运动(29)的方向上的窗口(7)的宽度(41)扩展相匹配,使得超过预定阈值的距离(20)(从窗口7),红外光传感器远( 有36,37)分别具有一个Vollbescheinungszone(22,23)限定从所述红外光源(29)仅在红外光传感器(4之一,完全照36或5,37的位置),其中,所述Vollbescheinungszonen; 4,5 (22,23)超越极限距离(20)延伸空间非重叠的,并且在移动(29)的方向上的窗口宽度(41)小于重叠距离传感器(17)小。
    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES DÜNNFILMS AUS BLEI-ZIRKONAT-TITANAT
    • 一种用于生产薄膜分析锆钛酸铅
    • WO2012110458A1
    • 2012-08-23
    • PCT/EP2012/052419
    • 2012-02-13
    • PYREOS LTD.GIEBELER, CarstenCONWAY, Neil
    • GIEBELER, CarstenCONWAY, Neil
    • C23C14/08H01L21/02H01L37/02
    • H01L41/1876C23C14/0036C23C14/088C23C14/3464H01L21/02197H01L21/02266H01L37/025H01L41/316
    • Ein Verfahren zum Herstellen des Dünnfilms aus Blei-Zirkonat- Titanat in 111-orientierter Perovskit-Struktur weist die Schritte auf: Bereitstellen eines Substrats mit einer Substrattemperatur von über 450°C und eines Blei-Targets, eines Zirkon-Targets und eines Titan-Targets; Aufbringen des Dünnfilms durch Sputtern von Blei, Zirkon und Titan von den jeweiligen Targets auf das Substrat, wobei die gesamte Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan größer als 10 nm/min ist, die Abscheiderate von Zirkon derart gewählt wird, dass die atomare Konzentration von Zirkon bezogen auf die atomare Konzentration von Zirkon zusammen mit Titan im Dünnfilm zwischen 0,2 und 0,3 liegt, und die Abscheiderate von Blei in Abhängigkeit der Substrattemperatur und der gesamten Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan so niedrig gewählt wird, dass ein Röntgendiffraktometerdiagramm des 111- orientierten Blei-Zirkonat-Titanats im Bereich des Beugungswinkels von 33 bis 35,5° einen signifikanten Spitzenwert (19) hat; und Fertigstelle des Dünnfilms.
    • 一种用于在111导向钙钛矿结构的锆钛酸铅的薄膜的制造方法包括以下步骤:提供一基板具有约450℃的基板温度和引线靶,锆靶和钛靶 ; 通过在衬底上溅射铅,从各靶锆和钛沉积薄膜,其中铅,锆和钛的总沉积速率大于10nm /分钟时,选择锆的沉积,使得原子浓度的 基于锆的原子浓度锆是在0.2和0.3,和铅在基体温度和整个铅,锆和钛的沉积速率的依赖性的沉积之间的薄膜钛一起被选择如此低,以致一个Röntgendiffraktometerdiagramm 的111-面向锆钛酸铅中的33的衍射角的范围内,以35.5°具有显著峰值(19); 并在完成薄膜的点。
    • 9. 发明申请
    • INFRAROTLICHTSENSOR MIT HOHER SIGNALSPANNUNG UND HOHEM SIGNAL- RAUSCH-VERHÄLTNIS
    • 红外线传感器的高电压和高信号信噪比
    • WO2010119131A1
    • 2010-10-21
    • PCT/EP2010/055062
    • 2010-04-16
    • PYREOS LTD.GIEBELER, CarstenWRIGHT, JeffreyCHAMBERLAIN, Tim
    • GIEBELER, CarstenWRIGHT, JeffreyCHAMBERLAIN, Tim
    • G01J5/34G01J5/08
    • G01J5/34G01J5/08G01J5/0846
    • Ein Infrarotlichtsensor für einen Infrarotlichtdetektor (1) weist einen Trägermembranabschnitt (2) sowie mindestens zwei Sensorchips (7 bis 10), die nebeneinander liegend an dem Trägermembranabschnitt (2) befestigt sind und jeweils ein aus pyroelektrisch sensitivem Material hergestelltes Schichtelement (11) aufweisen, das von einer Basiselektrode (12) und einer Kopfelektrode (13) elektrisch kontaktiert und derart eingerichtet ist, dass zwischen der Kopfelektrode (13) und der Basiselektrode (12) eines jeden Schichtelements (11) jeweils eine Differenzspannung anliegt, wenn die Schichtelemente (11) mit Infrarotlicht bestrahlt sind, und jeweils für zwei benachbart angeordnete Sensorchips (7 bis 10) eine Kopplungsleitung (14 bis 16) auf, mit der die Kopfelektrode (13) des einen Sensorchips (7 bis 9) und die Basiselektrode (12) des anderen Sensorchips (8 bis 10) elektrisch leitend miteinander gekoppelt sind, so dass die Schichtelemente (11) der Sensorchips (7 bis 10) in einer Reihenschaltung geschaltet sind, die an ihrem einen Ende eine der Basiselektroden (17) und an ihrem anderen Ende eine der Kopfelektroden (18) aufweist, an denen eine Gesamtdifferenzspannung der Reihenschaltung als Summe der einzelnen Differenzspannungen der Schichtelemente (11) abgreifbar ist.
    • 用于红外光检测器的红外光传感器(1)具有支承膜部分(2)和其上的支撑膜部分(2)被固定,并且由热电敏感材料层元件的在每种情况下(11)一个构件并置的至少两个传感器芯片(7至10),所述 是从一个基极(12)和一个头电极(13)电接触,并布置成使得所述顶电极(13),并且每个层元件的基极(12)(11)之间各具有一个差分电压施加时的层元件(11)与 红外光照射,并且每个的两个相邻布置的传感器芯片(7至10)的耦合线(14至16),其上的传感器芯片的头部电极(13)(7至9)和其他传感器芯片的基极(12)( 耦合导电8〜10)在一起,使得连续的围巾的传感器芯片的薄片构件(11)(7至10) 基电极中的一个端部(17)和在它的另一端头电极中的一个(18)中的一个被连接桐油,具有在该串联电路的总电压差的层的元件(11)的单个差动电压之和可以挖掘。
    • 10. 发明申请
    • KONDENSATORANORDNUNG MIT VERÄNDERBARER KAPAZITÄT, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DER KONDENSATORANORDNUNG UND VERWENDUNG DER KONDENSATORANORDNUNG
    • 与可变容量,其制造方法电容器装置和使用电容器装置的电容器装置
    • WO2009095446A1
    • 2009-08-06
    • PCT/EP2009/051019
    • 2009-01-29
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTMATZ, RichardGIEBELER, CarstenZAPF, Jörg
    • MATZ, RichardGIEBELER, CarstenZAPF, Jörg
    • H01G5/16
    • H01G5/16
    • Die Erfindung betrifft eine Kondensatoranordnung mit mindestens einem Kondensator mit veränderbarer Kapazität (Varactor), aufweisend mindestens eine Kondensator-Elektrode, die auf einem Kondensator-Träger angeordnet ist, und mindestens eine Kondensator-Gegenelektrode, die gegenüber der Kondensator-Elektrode auf einem Stellglied in einem mit Hilfe des Stellgliedes veränderbaren Kondensator-Elektroden-Abstand zum Einstellen der Kapazität angeordnet ist. Das Verfahren zum Herstellen der Kondensatoranordnung beinhaltet folgende Verfahrensschritte: a) Bereitstellen des Kondensator-Trägers mit der Kondensator-Elektrode und Bereitstellen des Stellglieds mit der Kondensator-Gegenelektrode, b) Zusammenbringen des Kondensator-Trägers und des Stellglieds derart, dass die Kondensator-Elektrode und die Kondensator-Gegenelektrode einander gegenüberliegend angeordnet sind, und c) Anbringen des Verbindungsmittels derart, dass der Kondensator-Träger und das Stellglied mittels Druckkontakt miteinander verbunden sind. Das Stellglied ist insbesondere ein piezoelektrischer Biegewandler in Form eines Kreisscheibenbiegers. Der Biegewandler wird auf den Kondensator-Träger gelegt und mit dem Verbindungsmittel lediglich fixiert. Durch elektrische Ansteuerung des Biegewandlers kommt es zu einer konvexen Verbiegung. Der Abstand zwischen Kondensatorelektrode und Kondensator-Gegenelektrode ändert sich. Eingesetzt wird die Kondensatoranordnung beispielsweise in einem spannungsgesteuerten Oszillator (VCO). Insbesondere in der Nachrichten- bzw. Mobilfunktechnik wird die Kondensatoranordnung verwendet. Mit dem Kondensatoranordnung wird ein Grundbaustein des Konzepts 'Software Defined Radio' (SDR) bereitgestellt.
    • 本发明涉及一种具有具有可变电容(变容二极管)的至少一个电容器的电容器结构中,包括被相对于电容器电极上的致动器在一个被布置一个电容器载波上的至少一个电容器电极,以及至少一个电容对置电极 被布置成与所述致动器的可变电容器 - 电极距离的辅助用于调整电容。 形成电容器组件的方法包括以下步骤:a)提供与所述电容器电极的电容器支撑并提供所述致动器与所述电容器的反电极,b)将冷凝器支撑和致动器,使得所述电容器电极和接触 所述电容对置电极对置地布置以彼此,以及c)将所述连接装置,使得所述电容器的支持和致动器是由压接的方式连接在一起。 致动器处于在圆盘弯曲的形式特别是压电式换能器的弯曲。 的弯曲换能器被放置在电容器和支持仅固定到所述连接装置。 由弯曲换能器的电控制是有凸弯曲。 电容器电极和电容对置电极之间的距离改变。 电容器布置在一个电压控制振荡器(VCO)用于实施例。 具体而言,该消息或移动通信技术中,使用电容器布置。 与电容器布置,“定义无线电软件”的概念的基本构建块被提供(SDR)。