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热词
    • 1. 发明申请
    • THERMAL SENSING APPARATUS
    • 热传感器
    • WO02008706A1
    • 2002-01-31
    • PCT/GB2001/003207
    • 2001-07-17
    • G01J5/06
    • G01J5/02G01J5/0245G01J5/34
    • A thermal sensing apparatus (29) comprises one or more detector elements, which may be a matrix of, for example, pyroelectric elements, a thermal sink (2) and means for intermittently providing a thermal path between the detector element and thermal sink to provide a reset function for the detector element(s) which may be electrostatic, electromagnetic or piezoelectric. The detector element(s) may be formed on microbidge structures (3) on a silicon substrate (2). This results in an array of detector elements that are able to operate without the requirement of a modulating mechanical chopper, able to be reset independently of one another with an efficient usage of field time and able to give an output with a high signal-to-noise ratio.
    • 热感测装置(29)包括一个或多个检测器元件,其可以是例如热电元件的矩阵,散热器(2)和用于间歇地在检测器元件和散热器之间提供热路径的装置,以提供 用于可以是静电的,电磁的或压电的检测器元件的复位功能。 检测器元件可以形成在硅衬底(2)上的微孔结构(3)上。 这导致检测器元件的阵列,其能够在不需要调制机械斩波器的情况下操作,能够以有效使用场时间而彼此独立地复位,并能够给出具有高信噪比的输出。 噪音比。
    • 3. 发明申请
    • MICROBOLOMETRES ET SON PROCEDE DE FABRICATION
    • MICROBOLOMETER及其制造方法
    • WO2003002963A1
    • 2003-01-09
    • PCT/FR2002/002096
    • 2002-06-18
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUEVILAIN, Michel
    • VILAIN, Michel
    • G01J5/40
    • G01J5/02G01J5/023G01J5/024G01J5/0245G01J5/04G01J5/046G01J5/20
    • La présente invention concerne un microbolomètre comportant une partie suspendue (2) contenant un élément sensible aux rayonnements et constituée d'un ensemble de premières zones (2A) et d'un ensemble de secondes zones (2B), les deux ensembles étant superposés; de plus, les matériaux constituant lesdites zones (2A) et (2B) possèdent des coefficients de dilatation thermique suffisamment différents pour que ladite partie suspendue (2) se déforme sous l'effet d'une élévation de température au point de venir au contact du substrat (1) lorsque la zone de contact atteint une température T c inférieure à la température de destruction T d du microbolomètre. Application à des détecteurs de rayonnement comprenant un ensemble de tels microbolomètres, et à divers appareils comprenant au moins un tel détecteur de rayonnement.
    • 本发明涉及一种包括含有辐射敏感元件并由一组第一区域(2A)和一组第二区域(2B)组成的悬浮部分(2)的微电热计,两组叠加; 此外,构成所述区域(2A)和(2B)的材料具有与所述悬置部分(2)充分不同的热膨胀系数,以在温度升高的作用下变形以被迫与基板(1)接触, 接触区域达到小于微热计的破坏温度Td的温度Tc。 本发明可应用于包括这种微电热计的组件的辐射探测器以及包括至少这种辐射探测器的各种器具。
    • 4. 发明申请
    • PYROELEKTRISCHER SENSOR ZUR ERFASSUNG VON ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG
    • 用于检测电磁辐射的热电传感器
    • WO2018024419A1
    • 2018-02-08
    • PCT/EP2017/066448
    • 2017-07-03
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • HERRMANN, IngoHENRICI, Fabian
    • G01J5/34G01J5/02
    • G01J5/34G01J5/0225G01J5/023G01J5/024G01J5/0245
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung elektromagnetischer Strahlung, insbesondere Wärmestrahlung, mit einem pyroelektrischen Sensor (1), und die Erfindung betrifft einen pyroelektrischen Sensor (1) zur Ausführung des Verfahrens, wobei der pyroelektrische Sensor (1) ein Pixelarray mit einer Vielzahl von Pixeln (10) aufweist, die über einem Substratmaterial (11) beweglich aufgenommen sind, und wobei die Pixel (10) eine pyroelektrische Schicht (12) aufweisen, die wenigstens abschnittsweise zwischen einer Bodenelektrode (13) und einer Dachelektrode (14) des pyroelektrischen Sensors (1) ausgebildet ist, wobei das Verfahren wenigstens die folgenden Schritte aufweist: Bestrahlen der pyroelektrischen Schicht (12) mit einer elektromagnetischen Strahlung, Herstellen eines wenigstens indirekten Kontaktes zwischen dem Pixel (10) und dem Substratmaterial (11) durch Heranbewegen des Pixels (10) an das Substratmaterial (11) aus einer Ausgangslage heraus, sodass ein thermischer Kurzschluss zwischen dem Pixel (10) und dem Substratmaterial (11) hergestellt wird, Auslesen einer Ladungsverschiebung in der pyroelektrischen Schicht (12) über die Bodenelektrode (13) und die Dachelektrode (14) und Rückführen des Pixels (10) in die zum Substratmaterial (11) beabstandete Ausgangslage.
    • 本发明涉及一种用于测量电磁辐射,特别是WÄ rmestrahlung,具有热电传感器(1),并且本发明涉及一种热电传感器(1)的示例性导航使用该方法,其中,所述 热释电传感器(1)是具有多个像素(10),所述在衬底材料(11)被可移动地接收一个像素阵列,并且其中,在一个之间的部分具有至少一个热电层(12)的像素(10) 形成底部电极(13)和热电传感器(1)的一个顶部电极(14),所述方法包括至少如下步骤:用电磁辐射照射所述热电层(12),产生所述像素之间的至少间接接触(10 )通过将像素(10)从起始位置移动抵靠基板材料(11)而与基板材料(11)接触 像素(10)和基片材料(11)之间的热短路产生时,读出的像素的中在底部电极(13)的热释电层(12)的电荷转移和接地电极(14)和R导航用途CKF导航使用铅 (10)在衬底材料(11)中间隔开始的位置。

    • 6. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR DETEKTION VON WÄRMESTRAHLUNG MIT HOHER AUFLÖSUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
    • 设备技术的热辐射具有产生高的分辨率和检测方法
    • WO2009043571A1
    • 2009-04-09
    • PCT/EP2008/008280
    • 2008-09-29
    • PYREOS LTD.GIEBELER, CarstenRETTIG, UweSCHREITER, Matthias
    • GIEBELER, CarstenRETTIG, UweSCHREITER, Matthias
    • G01J5/10G01J5/12G01J5/34H01L27/16H01L31/101H01L37/00
    • H01L31/101G01J5/02G01J5/024G01J5/0245G01J5/04G01J5/046G01J5/06G01J5/34H01L37/02Y10T29/49007
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen zugewandten Seite der Membran und/oder auf der den Detektorelementen abgewandten Seite der Membran mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und mit den Detektorelementen via die Membran wärmeleitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen mit der Wärmeableitbahn abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente hoch ist, und wobei in der Membran integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und zwischen den Detektorelementen sich erstreckt, so dass von der Wärmebarriere eine Wärmeleitung in der Membran von dem einen Detektorelement zu dem anderen Detektorelement behindert ist, wodurch das Übersprechen der Detektorelemente gering ist.
    • 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置(1),与膜(101)和至少两个检测器组件(11),每个适于热辐射转换成电信号,并且安装成邻近彼此在膜上,在 面向膜的侧面和/或上设置有至少一个Wärmeableitbahn(104)的膜,其具有比所述薄膜高的热导率和热传导地连接到通过所述膜的探测器元件的探测器元件侧的相反侧的检测器元件,使得来自该热 与Wärmeableitbahn检测器元件被排出,由此,检测器元件的响应是高的,并且其中,在所述膜的至少集成的热障(105)被提供,其具有比所述薄膜的热导率和检测器元件之间延伸,使得热阻挡 热传导率 UNG从一个检测器元件是在膜中的其他检测器元件,由此所述检测器元件之间的串扰很小访问。
    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR KONTAKTFREIEN ERMITTLUNG EINER TEMPERATUR SOWIE INFRAROT-MESSSYSTEM
    • 用于非接触测定温度和红外测量系统的方法
    • WO2018001739A1
    • 2018-01-04
    • PCT/EP2017/064551
    • 2017-06-14
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • FRANK, MichaelSENZ, VolkmarBADEJA, MichaelRUMBERG, AxelKRUEGER, MichaelDITTMER, Helge
    • G01J5/02G01J5/06G01J5/10
    • G01J5/0265G01J5/023G01J5/024G01J5/0245G01J5/06G01J5/10G01J5/20G01J2005/0077G01J2005/066G01J2005/202H04N5/33
    • Das vorgeschlagene Verfahren zur kontaktfreien Ermittlung einer Temperatur einer Oberfläche (22), insbesondere zur kontaktfreien Ermittlung einer Temperaturverteilung einer Oberfläche (22), geht aus von einem Infrarot-Messsystem (10), das zumindest aufweist: ein Infrarot-Detektorarray (36) mit einem Detektorarray-Substrat (72) und mit einer Mehrzahl von Messpixeln (62), die jeweils mit einer ersten thermischen Wärmeleitfähigkeit λ MP (120) an das Detektorarray-Substrat (72) angebunden sind, wobei die Messpixel (62) für Infrarotstrahlung empfindlich sind und jeweils ein Messsignal zur Ermittlung eines von einer Intensität der einfallenden Infrarotstrahlung abhängigen Temperaturmesswerts T MP (66) bereitstellen, und mit einer Mehrzahl von Referenzpixeln (64), die jeweils mit einer zweiten thermischen Wärmeleitfähigkeit λ BP (122) an das Detektorarray-Substrat (72) angebunden sind, und die jeweils ein Messsignal zur Ermittlung eines Temperaturmesswerts T BP (68) bereitstellen, und wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte umfasst: Bestimmen der Temperaturmesswerte T BP (68) einer Mehrzahl von Referenzpixeln (64); Bestimmen der Temperaturmesswerte T MP (66) einer Mehrzahl von Messpixeln (62); Korrigieren von Temperaturmesswerten T MP (66) um jeweils eine Pixelzugehörige Temperatur-Driftkomponente Tdrift (46). Erfindungsgemäß sind die Referenzpixel (64) als für Infrarotstrahlung im Wesentlichen unempfindliche Blindpixel realisiert, wobei die zweite thermische Wärmeleitfähigkeit λ BP (122) größer ist als die erste thermische Wärmeleitfähigkeit λ MP (120) und die Temperatur-Driftkomponenten Tdrift (46) unter Verwendung von Temperaturmesswerten T BP (68) bestimmt werden. Ferner wird ein mit dem Verfahren betriebenes Infrarot-Messsystem (10) vorgeschlagen.
    • 用于表面BEAR表面(22)的温度的非接触确定所提出的方法,特别是用于表面BEAR表面(22)的温度分布的非接触测定是基于红外线的测量系统(10)上, 至少包括:红外探测器阵列(36),其具有探测器阵列基板(72)并且具有多个测量像素(62),每个测量像素具有第一热导率λin, MP (120)连接到所述检测器阵列基板(72),其中所述测量像素(62),用于导航使用ř红外辐射是敏感的,并在每一种情况下的测量信号 确定强度&AUML中的一个;所述入射的红外辐射BEAR依赖性温度值的DEP吨的Ť的<子>的 MP 提供(66),和(与多个参考像素64 ),每个具有第二热导率λBP(122) 被连接到检测器阵列基板(72),并且其中的每一个用于确定温度值的测量信号的Ť的<子>的 BP 的 提供(68),并且其中所述方法至少包括以下步骤:确定温度读数的Ť的<子>的 BP (68)的多个参考像素(64) ; 确定多个测量像素(62)的温度读数T MAX(66)。 通过一个像素相关的温度漂移分量Tdrift(46)校正温度读数T MAX(66)。 发明&AUML;大街 参考像素(64)为f导航用途实现ř红外辐射基本上不敏感伪像素,其中,所述第二热W&AUML; rmeleitf&AUML;能力的λ的<子>的 BP < (122)大于第一热导率λMP(120) 和使用温度测量值的温度漂移分量Tdrift(46)Ť的<子>的 BP <子> (68)被确定。 进一步提出的是由该方法操作的红外测量系统(10)。