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    • 6. 发明申请
    • ANORDNUNG ZUM UNTERSUCHEN ODER/UND MANIPULIEREN VON PROBEN
    • 安排调查和/和样品失利
    • WO2008107162A1
    • 2008-09-12
    • PCT/EP2008/001717
    • 2008-03-04
    • LUDWIG-MAXIMILIANS-UNIVERSITÄT MÜNCHENGUMPP, HermannGAUB, HermannPUCHNER, Elias
    • GUMPP, HermannGAUB, HermannPUCHNER, Elias
    • G02B21/24G12B21/00
    • G01Q30/025G01Q30/14G02B21/08G02B21/32
    • Eine Anordnung (10) zum Untersuchen oder/und Manipulieren einer auf einem Probenträger (14) angeordneten Probe (16), umfasst eine erste Vorrichtung (18) zum Untersuchen oder/und Manipulieren der Probe (16) mit Hilfe elektromagnetischer Strahlung, welche mit einem Objektiv (22) versehen ist, wobei zwischen dem Objektiv (22) und dem Probenträger (14) eine Flüssigkeit (26) vorgesehen ist, eine zweite Vorrichtung (20) zum Untersuchen oder/und Manipulieren der Probe (16), welche eine wesentlich größere Ortsauflösung aufweist als die erste Vorrichtung (18), und einen Rahmen (12), an dem der Probenträger (14) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist das Objektiv (22) mit dem Rahmen (12) in einer zur Oberfläche des Probenträgers (14) im Wesentlichen orthogonal verlaufenden Richtung (Z) im Wesentlichen unbeweglich verbunden, und ist eine von dem Objektiv (22) mechanisch entkoppelte Fokussierungsoptik (24) vorgesehen, mit deren Hilfe die Probe (16) mittels der von ihr ausgehenden elektromagnetischen Strahlung, beispielsweise auf einer Bilderfassungssensorik (48), scharf abbildbar ist.
    • 用于检查和/或样品支座上操纵的装置(10),(14),其布置样品(16),包括:第一装置(18),用于检查和/或操纵使用具有电磁辐射的样品(16)一 透镜(22)提供,其中所述透镜(22)和样品支座(14)的液体(26)之间提供的第二装置(20),用于检查和/或操纵的样品(16),其具有显着更大的 空间分辨率大于所述第一装置(18),和在其上的样品载体(14)附接框架(12)。 根据本发明的透镜(22)到所述框架(12)是在所述样品载体的表面(14)基本垂直的方向(Z)基本上是固定不动地连接,并且是透镜中的一个(22)被机械地去耦聚焦光学器件(24) 提供,通过该通过从它发出的电磁辐射,例如手段的样品(16),图像捕获传感器(48)清晰地成像。