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1. 发明申请

WO2006008112A1 ELLIPSOMETRIEVORRICHTUNG MIT EINER RESONANZPLATTFORM 审中-公开
标题翻译：作用的共振平台ELLIPSOMETRIEVORRICHTUNG
公开(公告)号：WO2006008112A1
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：PCT/EP2005/007795
申请日：2005-07-18
申请人： UNAXIS BALZERS AG , WIKI, Max , EDLINGER, Johannes , VAUPEL, Matthias , EING, Andreas
发明人： WIKI, Max , EDLINGER, Johannes , VAUPEL, Matthias , EING, Andreas
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die vorteilhafte Fortbildung einer unter der Gattung der Ellipsometer einzuordnenden Vorrichtung. Dabei wird das herkömmliche Ellipsometer um eine so genannte Resonanzplattform ergänzt, auf deren Oberfläche Moden angeregt werden können. Im Gegensatz zu den im Stand der Technik bekannten Oberflächenplasmonen sind die erfindungsgemäßen Moden lateral lokalisiert. Ausserdem umfasst die Resonanzplattform nicht notwendigerweise eine metallische Schicht. Die Vorrichtung kann auch als abbildende Vorrichtung ausgestaltet sein. Im erfinderischen Verfahren wird die zu messende Probe auf die Oberfläche der Resonanzplattform aufgebracht und anschliessend mit Licht beaufschlagt und dadurch Moden angeregt. Die Resonanzlage der Moden wird durch das Adsortionsverhalten des zu messenden Stoffes bestimmt.
摘要翻译：本发明涉及一种有利的改进方案的椭偏仪装置的下属进行分类。与传统的椭偏仪是由所谓的共振平台再补上，其表面模式可以被激发。在本发明的现有技术的表面等离子体激元模式与已知的位于横向。此外，共振平台不必包括一个金属层。该装置还可以被配置为成像装置。在本发明方法中，待测量的样品被施加到谐振平台的表面，然后暴露于光，从而刺激模式。谐振模式的位置由物质的Adsortionsverhalten确定要被测量。

2. 发明申请

WO2005088272A1 ELLIPSOMETER MIT BLENDENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：椭偏仪孔结构
公开(公告)号：WO2005088272A1
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：PCT/EP2005/002381
申请日：2005-03-07
申请人： NANOFILM TECHNOLOGIE GMBH , HÖNIG, Dirk , EING, Andreas , VAUPEL, Matthias
发明人： HÖNIG, Dirk , EING, Andreas , VAUPEL, Matthias
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Ellipsometer, geeignet zur ellipsometrischen Erfassung einer Probenanordnung (40, 43) mit wenigstens einer auf einer Probenseite eines transparenten, flächigen Trägersubstrates (40) aufgebrachten, dünnen Probe (43) und umfassend eine Beleuchtungsanordnung zur wenigstens bereichsweisen Beleuchtung der Probe (43) mit Beleuchtungslicht (30) wählbarer Polarisationseigenschaften unter einem zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (φ), eine unter einem geeigneten, zu der Probennormalen geneigten Detektionswinkel (φ) angeordnete, einen photosensitiven Detektor (D) mit einer Mehrzahl geordneter Detektorelemente in einer Detektionsebene umfassende Detektionsanordnung zur polarisationssensitiven Detektion von Detektionslicht (31'-35'; 31'-35'''), welches von beleuchteten Bereichen der Probe (43) reflektiert wird, und Blendenmittel (20), die auf der der Beleuchtungsanordnung und der Detektionsanordnung zugewandten Seite der Probe (43) und des Trägersubstrates angeordnet sind und Anteile des Beleuchtungslichtes (31) und des Detektionslichtes (32''', 33', 33''') wegblenden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Blendenmittel (20) für jeden an der Probenseite der Probenanordnung (40, 43) reflektierten und nicht weggeblendeten Detektionslichtanteil (32') einen zugeordneten Beleuchtungslichtanteil (33''') wegblenden, der sich dadurch auszeichnet, dass er in Abwesenheit der Blendenmittel (20) an einer der Probenseite gegenüberliegenden Gegenfläche (41; 42) des Trägersubstrates (40) derart reflektiert würde, dass er sich in der Detektionsebene dem nicht weggeblendeten Detektionslichtanteil (32') überlagern würde.
摘要翻译：本发明涉及一种适合于一个探针组件的椭偏检测与在透明，平载体基板的样品侧上的至少一个椭圆偏振计（40，43）（40）被施加，薄样品（43）和包括用于将所述样本的至少区域方式照明的照明装置（43）可选择与在一个倾斜的照明光（30）的偏振特性的样品通常的照明角度（PHI），一个下一个合适的倾斜相对于样品法线检测角度（PHI）被布置，其具有在检测器平面中的多个有序的检测器元件的光敏检测器（D），其包括上侧面向照明装置和所述检测组件侧，其从所述样品（43）的被照射区域反射，和光圈机构（20）;用于检测光的偏振敏感检测的检测装置（'31'〜35“31'-35”）样品（43）和Tr的是布置gersubstrates和照明光（31）和所述检测光的比例（32 '' '33' ，33 '''）wegblenden。本发明的特征在于，对于每个探针组件（40，43）的样本侧的光圈装置（20）反射，并且不weggeblendeten检测光部件（32“）wegblenden相关联的照明光成分（33”“”），其特征在于它在样品侧中的一个不存在的孔装置（20）的相对的相对面（41; 42）将所述载体衬底（40）被反射，使得它会在检测平面干扰非weggeblendeten检测光成分（32“）。

3. 发明申请

WO2005085807A1 ELLIPSOMETRIC BIOSENSOR COMPRISING AN AMPLIFICATION LAYER 审中-公开
标题翻译：包含放大层的ELLIPSOMETRIC生物传感器
公开(公告)号：WO2005085807A1
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：PCT/CH2005/000136
申请日：2005-03-07
申请人： UNAXIS BALZERS AG , EING, Andreas , WIKI, Max , EDLINGER, Johannes , HOENIG, Dirk
发明人： EING, Andreas , WIKI, Max , EDLINGER, Johannes , HOENIG, Dirk
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211 , G01N21/75 , G01N2021/7773
摘要： A method for analyzing organic adsorbent layers (7) on a substrate (4) comprises the steps of providing a substrate (4) whose surface has an index of refraction equal or close to the index of refraction of the organic adsorbent to be analyzed. On the surface of the substrate (4) there is applied a layer system (5, 6) with at least one layer (5) with index of refraction of the biological material and an organic adsorbent layer (7) on top of the layer system. When acting polarized light upon the substrate a change of polarization characteristics in reflection and/or transmission is detected.
摘要翻译：用于分析衬底（4）上的有机吸附剂层（7）的方法包括提供其表面的折射率等于或接近待分析的有机吸附剂的折射率的衬底（4）的步骤。在衬底（4）的表面上，施加具有至少一层具有生物材料折射率的层（5）的层系统（5,6）和在层系统顶部的有机吸附剂层（7）。当在基板上作用偏振光时，检测反射和/或透射中的偏振特性的变化。

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