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    • 3. 发明申请
    • ELLIPSOMETRIEVORRICHTUNG MIT EINER RESONANZPLATTFORM
    • 作用的共振平台ELLIPSOMETRIEVORRICHTUNG
    • WO2006008112A1
    • 2006-01-26
    • PCT/EP2005/007795
    • 2005-07-18
    • UNAXIS BALZERS AGWIKI, MaxEDLINGER, JohannesVAUPEL, MatthiasEING, Andreas
    • WIKI, MaxEDLINGER, JohannesVAUPEL, MatthiasEING, Andreas
    • G01N21/21
    • G01N21/211
    • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die vorteilhafte Fortbildung einer unter der Gattung der Ellipsometer einzuordnenden Vorrichtung. Dabei wird das herkömmliche Ellipsometer um eine so genannte Resonanzplattform ergänzt, auf deren Oberfläche Moden angeregt werden können. Im Gegensatz zu den im Stand der Technik bekannten Oberflächenplasmonen sind die erfindungsgemäßen Moden lateral lokalisiert. Ausserdem umfasst die Resonanzplattform nicht notwendigerweise eine metallische Schicht. Die Vorrichtung kann auch als abbildende Vorrichtung ausgestaltet sein. Im erfinderischen Verfahren wird die zu messende Probe auf die Oberfläche der Resonanzplattform aufgebracht und anschliessend mit Licht beaufschlagt und dadurch Moden angeregt. Die Resonanzlage der Moden wird durch das Adsortionsverhalten des zu messenden Stoffes bestimmt.
    • 本发明涉及一种有利的改进方案的椭偏仪装置的下属进行分类。 与传统的椭偏仪是由所谓的共振平台再补上,其表面模式可以被激发。 在本发明的现有技术的表面等离子体激元模式与已知的位于横向。 此外,共振平台不必包括一个金属层。 该装置还可以被配置为成像装置。 在本发明方法中,待测量的样品被施加到谐振平台的表面,然后暴露于光,从而刺激模式。 谐振模式的位置由物质的Adsortionsverhalten确定要被测量。