专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009077208A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERKENNEN EINES ERZEUGNISSES 审中-公开
标题翻译：方法和设备识别产品
公开(公告)号：WO2009077208A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008/011101
申请日：2008-12-18
申请人： BAM BUNDESANSTALT FÜR MATERIALFORSCHUNG UND-PRÜFUNG , BECK, Uwe , HERTWIG, Andreas , HÖNIG, Dirk , DOMNICK, Ralph
发明人： BECK, Uwe , HERTWIG, Andreas , HÖNIG, Dirk , DOMNICK, Ralph
IPC分类号： G06K19/14
CPC分类号： G06K19/14 , B42D2035/00 , B42D2035/24 , G07D7/005 , G07D7/12 , G07D7/121
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung zum Erkennen eines Erzeugnisses (1) oder von das Erzeugnis (1) betreffenden Informationen. Bei dem Verfahren wird eine von dem Erzeugnis (1) getragene versteckte Kodierung identifiziert, wobei die Kodierung durch einen Satz ellipsometrischer Parameter gegeben ist und das Verfahren folgende Schritte umfasst: Messen ellipsometrischer Größen für mindestens eine definierte Stelle (8) auf einer Oberfläche (9) des Erzeugnisses (1), Vergleichen der gemessenen ellipsometrischen Größen mit mindestens einer Referenzkodierung und Feststellen einer Übereinstimmung der gemessenen ellipsometrischen Größen mit der Referenzkodierung oder einer der Referenzkodierungen oder Feststellen einer Nicht-Übereinstimmung mit jeder Referenzkodierung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测一个产品（1）的方法和装置或有关的产品（1）的信息。在该方法的产物（1）的被识别佩戴隐藏编码，其中所述编码是通过一组椭偏参数，并且所述方法包括以下步骤给出：测量椭偏尺寸的至少一个限定的位置的表面（8）（9）上产品（1），与至少一个参考码比较测得的椭偏大小，并检测匹配所测量的椭圆量的与所述参考码或所述参考码之一，或检测与每个参考编码不匹配。

2. 发明申请

WO2005088271A1 ABBILDENDES ELLIPSOMETER MIT SYNCHRONISIERTEM PROBENVORSCHUB UND ELLIPSOMETRISCHES MESSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：图像结束椭圆偏振同步送样及测量方法椭偏
公开(公告)号：WO2005088271A1
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：PCT/EP2005/002380
申请日：2005-03-07
申请人： NANOFILM TECHNOLOGIE GMBH , HÖNIG, Dirk
发明人： HÖNIG, Dirk
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur bildgebenden, ellipsometrischen Erfassung einer hauptsächlich flächig ausgedehnten Probenanordnung (10), bei dem die Probenanordnung wenigstens bereichsweise mittels einer Beleuchtungsanordnung mit Beleuchtungslicht einstellbarer Polarisationseigenschaften unter einem zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (φ) beleuchtet wird, von beleuchteten Bereichen der Probe (10) reflektiertes Detektionslicht in einer unter einem geeigneten, zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (φ) angeordneten, polarisationssensitiven Detektionsanordnung auf einen gesteuert auslesbaren Detektor (12) mit einer Mehrzahl geordneter, photosensitiver Detektorelemente abgebildet wird, Parameter des Abbildens von Probenbereichen auf den Detektor (12) variiert werden und wenigstens ein Auslesebereich (12a; 12b) des Detektors (12) in synchroner Weise zu der Variation der Abbildungsparameter zur Erzeugung von Probenbereiche repräsentierenden Bildern ausgelesen wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于成像的方法和设备，主要是二维延伸的探针组件（10）的椭圆检测，其特征在于，至少部分通过利用照明光可调偏振特性的照明装置（PHI）的装置以倾斜于样品正常照明角度探针组件被照亮布置在所述样品（10）的点亮区域反射在检测光以适当的倾斜于样品正常照明角度（PHI），以控制的可读探测器偏振敏感检测装置（12）被映射的多个有序光敏检测器元件，上映射样本区域的参数的所述检测器（12）可以被改变和至少一个读出区（12A; 12B）以同步的方式，检测器（12）到成像参数的变化对样品区域再版的产生的 äsentierenden图像被读取。

3. 发明申请

WO2005088272A1 ELLIPSOMETER MIT BLENDENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：椭偏仪孔结构
公开(公告)号：WO2005088272A1
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：PCT/EP2005/002381
申请日：2005-03-07
申请人： NANOFILM TECHNOLOGIE GMBH , HÖNIG, Dirk , EING, Andreas , VAUPEL, Matthias
发明人： HÖNIG, Dirk , EING, Andreas , VAUPEL, Matthias
IPC分类号： G01N21/21
CPC分类号： G01N21/211
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Ellipsometer, geeignet zur ellipsometrischen Erfassung einer Probenanordnung (40, 43) mit wenigstens einer auf einer Probenseite eines transparenten, flächigen Trägersubstrates (40) aufgebrachten, dünnen Probe (43) und umfassend eine Beleuchtungsanordnung zur wenigstens bereichsweisen Beleuchtung der Probe (43) mit Beleuchtungslicht (30) wählbarer Polarisationseigenschaften unter einem zur Probennormalen geneigten Beleuchtungswinkel (φ), eine unter einem geeigneten, zu der Probennormalen geneigten Detektionswinkel (φ) angeordnete, einen photosensitiven Detektor (D) mit einer Mehrzahl geordneter Detektorelemente in einer Detektionsebene umfassende Detektionsanordnung zur polarisationssensitiven Detektion von Detektionslicht (31'-35'; 31'-35'''), welches von beleuchteten Bereichen der Probe (43) reflektiert wird, und Blendenmittel (20), die auf der der Beleuchtungsanordnung und der Detektionsanordnung zugewandten Seite der Probe (43) und des Trägersubstrates angeordnet sind und Anteile des Beleuchtungslichtes (31) und des Detektionslichtes (32''', 33', 33''') wegblenden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Blendenmittel (20) für jeden an der Probenseite der Probenanordnung (40, 43) reflektierten und nicht weggeblendeten Detektionslichtanteil (32') einen zugeordneten Beleuchtungslichtanteil (33''') wegblenden, der sich dadurch auszeichnet, dass er in Abwesenheit der Blendenmittel (20) an einer der Probenseite gegenüberliegenden Gegenfläche (41; 42) des Trägersubstrates (40) derart reflektiert würde, dass er sich in der Detektionsebene dem nicht weggeblendeten Detektionslichtanteil (32') überlagern würde.
摘要翻译：本发明涉及一种适合于一个探针组件的椭偏检测与在透明，平载体基板的样品侧上的至少一个椭圆偏振计（40，43）（40）被施加，薄样品（43）和包括用于将所述样本的至少区域方式照明的照明装置（43）可选择与在一个倾斜的照明光（30）的偏振特性的样品通常的照明角度（PHI），一个下一个合适的倾斜相对于样品法线检测角度（PHI）被布置，其具有在检测器平面中的多个有序的检测器元件的光敏检测器（D），其包括上侧面向照明装置和所述检测组件侧，其从所述样品（43）的被照射区域反射，和光圈机构（20）;用于检测光的偏振敏感检测的检测装置（'31'〜35“31'-35”）样品（43）和Tr的是布置gersubstrates和照明光（31）和所述检测光的比例（32 '' '33' ，33 '''）wegblenden。本发明的特征在于，对于每个探针组件（40，43）的样本侧的光圈装置（20）反射，并且不weggeblendeten检测光部件（32“）wegblenden相关联的照明光成分（33”“”），其特征在于它在样品侧中的一个不存在的孔装置（20）的相对的相对面（41; 42）将所述载体衬底（40）被反射，使得它会在检测平面干扰非weggeblendeten检测光成分（32“）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式