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    • 2. 发明申请
    • 圧電薄膜共振子
    • 压电薄膜共振器
    • WO2007052370A1
    • 2007-05-10
    • PCT/JP2006/302264
    • 2006-02-09
    • 株式会社 村田製作所梅田 圭一河村 秀樹
    • 梅田 圭一河村 秀樹
    • H03H9/17H03H9/54H01L41/09H01L41/187H01L41/18
    • H03H9/02086H03H9/02157H03H9/173H03H9/175H03H9/584H03H9/587
    •  短い波長のスプリアスを抑制することができる圧電薄膜共振子を提供する。  薄膜部は、その一部が基板12に支持され、基板12から音響的に分離されている部分に、a)圧電膜16を挟んでいる一対の電極14,18が平面視で重なっている振動部24と、b)振動部24の外周の少なくとも一部分に沿って圧電膜16又は電極18上に設けられた付加膜20とを含む。x(MN・秒/m 3 )を密度とヤング率の積の平方根で定義される付加膜20の音響インピーダンス、付加膜20の密度と厚さの積をA、電極14,18の密度と厚さの積をB、y=A/Bとすると、 (i)9.0≦x<44.0のとき、0.0092・x+0.88≦y<0.067・x+0.60 ・・・(1a) (ii)44.0≦x<79.0のとき、-0.0035・x+1.45≦y<0.015・x+2.9 ・・・(1b) を満たす。
    • 可以抑制短波长的杂散的压电薄膜谐振器。 在部分地支撑在基底上的薄膜部分的一部分,同时隔离其上,a)由平面图叠加的一对电极组成的振荡部分(24),同时夹着压电薄膜 16),以及b)至少沿振荡部分(24)的外圆周的一部分设置在压电薄膜(16)或电极(18)上的额外的薄膜(20)。 假设由密度积和杨氏模量的根产生的额定膜(20)的声阻抗是x(MN sec / m 3),则额外膜的密度和厚度的乘积 20)是A,电极(14,18)的密度和厚度的乘积为B,y = A / B,满足关系; (i)对于9.0 = x <44.0,0.0092×x 0.88 = y <0.067×x0.60(1a),(ii)对于44.0 = x <79.0,-0.0035×x 1.45 = y <0.015× +2.9(1b)。
    • 3. 发明申请
    • 圧電薄膜フィルタ
    • 压电薄膜过滤器
    • WO2006112260A1
    • 2006-10-26
    • PCT/JP2006/307147
    • 2006-04-04
    • 株式会社 村田製作所河村 秀樹
    • 河村 秀樹
    • H03H9/17H03H9/56H03H9/58H01L41/09
    • H03H9/566H03H9/02228H03H9/564
    •  帯域を広くすることができる圧電薄膜フィルタを提供する。  第1電極対20は、圧電薄膜14の一方の主面14aに配置された2以上の第1電極指24と、圧電薄膜14の他方の主面14bに第1電極指24に対向して配置された第2電極指22とを有する。第2電極対30は、圧電薄膜14の一方の主面14aに第1電極指24と互いに間隔を設けて交互に配置された2以上の第3電極指34と、圧電薄膜14の他方の主面14bに圧電薄膜14を介してそれぞれ第3電極指34に対向して配置された第4電極指32とを有する。圧電薄膜14の一方の主面14aには、互いに間隔を設けて交互に配置された第1電極指24と第3電極指34との間に、絶縁膜16を備える。交互に配置された第1電極指24と第3電極指36との間の中心間距離Wa+Wm、Wf+Wmが、圧電薄膜14の厚さTの2倍よりも大きい。
    • 提供了能够扩大频带的压电薄膜滤波器。 第一电极对(20)具有布置在压电薄膜(14)的第一主表面(14a)上的至少两个第一电极指(24)和布置在第二主表面(14b)上的第二电极指 )与第一电极指(24)相对。 第二电极对(30)具有布置在压电薄膜(14)的第一主表面(14a)上的至少两个第三电极指(34),使得第一电极指(24)和第三电极 手指(34)以预定间隔交替布置,并且经由压电薄膜(14)布置在压电薄膜(14)的第二主表面(14b)上的第四电极指(32)以与第 第三电极指(34)。 在压电薄膜(14)的第一主表面(14a)上,在间隔交替布置的第一电极指(24)和第三电极指(34)之间布置有绝缘膜(16)。 交替布置的Wa + Wm,Wf + Wm的第一电极指(24)的中心与第三电极指(36)的中心之间的距离大于压电薄膜(14)的厚度T相乘 由2。
    • 4. 发明申请
    • 圧電薄膜フィルタ
    • 压电薄膜过滤器
    • WO2006137275A1
    • 2006-12-28
    • PCT/JP2006/311629
    • 2006-06-09
    • 株式会社 村田製作所梅田 圭一河村 秀樹
    • 梅田 圭一河村 秀樹
    • H03H9/54H03H9/17
    • H03H9/0095H03H9/009H03H9/6493
    •  特別な工程を追加することなく、通過帯域から離れた周波数における大きな減衰量を得るとともに、通過帯域近傍の両側で急峻性を改善することができる、共振子を格子型に接続した圧電薄膜フィルタを提供する。  第2の共振子C_2、又は並列に接続された第1及び第3の共振子C_1,Cx_1が、それぞれ、格子型に接続された直列腕共振子又は並列腕共振子C_1を構成する。第2の共振子C_2の容量は、第1の共振子C_1の容量より大きい。第3の共振子Cx_1の容量は、第2の共振子C_2の容量と第1の共振子C_1の容量との差に略等しい。第1の共振子C_1の共振周波数は、第2の共振子C_2の共振周波数より高い。第3の共振子Cx_1の反共振周波数は、第2の共振子C_2の共振周波数より大きく、第1の共振子C_1の共振周波数より小さい。
    • 一种压电薄膜滤波器,其中谐振器以格子图案连接,并且可以在远离通带的频率处获得大的衰减量,同时可以在通带的两侧和两侧提高陡度,而不需要增加任何特殊的工艺。 第一和第三谐振器(C_1,Cx_1)的第二谐振器(C_2)或并联构成分别构成以格子图案连接的串联臂谐振器或并联臂谐振器(C_1)。 第二谐振器(C_2)各自具有比第一谐振器(C_1)更大的电容。 第三谐振器(Cx_1)的电容近似等于第二谐振器(C_2)和第一谐振器(C_1)之间的电容差。 第一谐振器(C_1)各自具有比第二谐振器(C_2)更高的谐振频率。 第三谐振器(Cx_1)的反谐振频率高于第二谐振器(C_2)的谐振频率并且低于第一谐振器(C_1)的谐振频率。
    • 5. 发明申请
    • 圧電共振子及び圧電薄膜フィルタ
    • 压电谐振器和压电薄膜滤波器
    • WO2006129532A1
    • 2006-12-07
    • PCT/JP2006/310308
    • 2006-05-24
    • 株式会社 村田製作所斎藤 友香河村 秀樹
    • 斎藤 友香河村 秀樹
    • H03H9/17H03H9/58
    • H03H9/0211H03H9/13H03H9/132H03H9/173
    •  波長の長いスプリアスモードおよび波長の短いスプリアスモードを抑制することができる、圧電共振子および該圧電共振子を有する圧電薄膜フィルタを提供する。  圧電層15が一対の導電層14,16に挟まれる振動領域18は、厚さ方向から見たときの平面形状が矩形であり、振動領域18の外縁には波状の縁取り18aがある。振動領域18は、平面形状の外縁に沿って延在する相対的に厚さが小さい周縁部18tと、周縁部18tよりも内側に延在する相対的に厚さが大きい中心部18sとを含む。
    • 提供一种能够抑制具有长波长的寄生模式和具有短波长的寄生模式的压电谐振器,以及设置有这种压电谐振器的压电薄膜滤波器。 其中压电层(15)夹在一对导电层(14,16)之间的振动区域(18)在从厚度方向观察时具有矩形平面形状,并且波形边缘(18a)设置在 振动区域(18)的外端。 所述振动区域(18)具有沿所述平面形状的外端延伸并且具有相对小的厚度的周边部分(18t)和在所述周边部分(18t)内延伸的中心部分(18s) 厚度相对较大。
    • 6. 发明申请
    • 圧電薄膜共振子
    • 压电薄膜振动器
    • WO2005107066A1
    • 2005-11-10
    • PCT/JP2005/007834
    • 2005-04-25
    • 株式会社 村田製作所河村 秀樹小口 貴弘梅田 圭一山田 一
    • 河村 秀樹小口 貴弘梅田 圭一山田 一
    • H03H9/17
    • H03H9/02086H03H9/174
    •  非調和高次モードスプリアスを低減することができ、かつ小型化を図ることができる圧電薄膜共振子を提供する。  対向する一対の電極14,16の間に圧電薄膜15が配置された薄膜部17と、薄膜部17の一対の電極の一方14の側に形成された絶縁膜18と、薄膜部17の一対の電極の他方16の側の一部分を支持する基板12とを備える。薄膜部17および絶縁膜18が一体となって2以上の整数倍波の少なくとも一つの振動モードで振動し、その少なくとも一つの振動モードにおいて、2以上の整数倍波の腹が絶縁膜18内に位置するように構成する。
    • 提供了能够降低非谐波高阶杂散和器件尺寸的压电薄膜振动器。 压电薄膜振子包括:薄膜单元(17),其具有布置在两个电极(14,16)之间的压电薄膜(15),在薄膜的一个电极(14)处形成绝缘膜(18) 单元(17)和支撑薄膜单元(17)的另一个(16)的一部分的基板(12)。 薄膜单元(17)和绝缘膜(18)作为整体块振动,其中波的至少一个振幅模式乘以不小于2的整数,并且在至少一个幅度模式下,波的一侧 乘以不小于2的整数位于绝缘膜(18)中。
    • 7. 发明申请
    • 分波器および通信装置
    • 解复用器和通信设备
    • WO2004042921A1
    • 2004-05-21
    • PCT/JP2003/013037
    • 2003-10-10
    • 株式会社 村田製作所河村 秀樹
    • 河村 秀樹
    • H03H9/70
    • H03H9/02133H03H9/706
    • 送信側フィルタおよび受信側フィルタの構成を最適化した、良好な特性を有する分波器および通信装置を提供する。対向する電極で挟まれている圧電薄膜を有する圧電薄膜共振子11a、11b、12a、12b、21a~21c、22a~22dが、基板の開口部若しくは凹部上に、梯子型に配置されている送信側フィルタ5及び受信側フィルタ5を備え、該送信側フィルタ5と該受信側フィルタ6とをアンテナ端子3に並列接続している。前記送信側フィルタ5を構成する圧電薄膜共振子11a、11b、12a、12bと、前記受信側フィルタ6を構成する圧電薄膜共振子21a~21c、22a~22dとを互いに異ならせる。
    • 通过优化发送侧滤波器和接收侧滤波器的配置,提供了具有优选特性的解复用器和通信装置。 具有夹在相对电极之间的压电薄膜的压电薄膜谐振器(11a,11b,12a,12b,21a至21c,22a至22d)包括布置在梯子中的透射侧滤光器(5)和接收侧滤光片(6) 形成基板的开口部或凹部。 发送侧滤波器(5)和接收侧滤波器(6)与天线端子(3)并联连接。 构成发送侧滤波器(5)的压电薄膜谐振器(11a,11b,12a,12b)与构成接收侧滤波器(6)的压电薄膜谐振器(21a〜21c,22a〜22d)不同。