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1. 发明申请

WO2011161760A1 アラインメント機能付き基板載置装置と、その基板載置装置を有する成膜装置审中-公开
标题翻译：具有对准功能的基板放置装置和具有基板放置装置的成膜装置
公开(公告)号：WO2011161760A1
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：PCT/JP2010/060515
申请日：2010-06-22
申请人：株式会社アルバック , 加藤裕子 , 菊池正志 , 亀崎厚治 , 岡山智彦 , 堀英介 , 清水美穂 , 阿部慶子 , 下田圭介 , 江藤謙次
发明人：加藤　裕子 , 菊池　正志 , 亀崎　厚治 , 岡山　智彦 , 堀　英介 , 清水　美穂 , 阿部　慶子 , 下田　圭介 , 江藤　謙次
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/682 , B65G49/061 , B65G2249/02 , H01J37/3447
摘要：　耐久力が高く、コストの低い位置合わせ機能付き基板載置装置を提供するために、載置台（１２）の四辺に貫通孔（９）を設け、貫通孔（９）内に筒部（３）と、筒部（３）に挿通した軸部（４）を配置する。軸部（３）の上端にフランジ部（８）を設けておき、筒部（３）と軸部（４）を上昇させて、載置台（１２）の上方に位置する基板（２０）をフランジ部（８）に乗せ、四辺のうちの二辺の軸部（４）を傾斜機構によって、他の二辺である位置決め辺の軸部（４）に向けて傾斜させ、基板（２０）を押圧して位置決め辺の軸部４の側面に接触させ、位置決めを行う。カメラやＸＹθステージが不要であり、精度よく位置合わせできる。
摘要翻译：公开了一种具有对准功能的基板放置装置，并且具有高耐久性和低成本。通孔（9）设置在放置台（12）的四侧，分别插入圆筒部（3）的圆筒部（3）和轴部（4）配置在通孔（9）中，分别。在相应的轴部分（3）的上端设有凸缘部（8），通过将圆柱形部分（3）抬起，将位于放置台（12）上方的基片（20）放置在凸缘部分（8）并且轴部（4）中，四边的两侧的轴部（4）朝向对准侧（即，另一侧）的轴部（4）倾斜，通过倾斜机构通过按压基板（20）使基板（20）与对准侧的轴部（4）的侧面接触来进行对准。相机和XY？阶段不需要，并且准确地进行对准。

2. 发明申请

WO2011132325A1 マスク审中-公开
标题翻译：面具
公开(公告)号：WO2011132325A1
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：PCT/JP2010/058644
申请日：2010-05-21
申请人：株式会社アルバック , 加藤裕子 , 菊池正志 , 亀崎厚治 , 岡山智彦 , 堀英介 , 清水美穂 , 阿部慶子 , 下田圭介 , 江藤謙次
发明人：加藤　裕子 , 菊池　正志 , 亀崎　厚治 , 岡山　智彦 , 堀　英介 , 清水　美穂 , 阿部　慶子 , 下田　圭介 , 江藤　謙次
IPC分类号： C23C14/04
CPC分类号： C23C16/042 , C23C14/042 , H01J37/32091 , H01J37/32623
摘要：　有機ＥＬ表示装置の製造工程で用いられる、従来より薄いシャドーマスク部を有するマスクを提供する。基板６が真空処理装置１０内に搬入され、マスク１と基板６との位置合わせが行われる。マスク１は、枠体８と、枠体８上に配置される金属からなるテープ状のシャドーマスク部２と、シャドーマスク部２の一端を固定する取付装置３と、シャドーマスク部２の他端部を水平方向から鉛直方向に変換する変換部材４と、他端に取り付けられた重り５とを有しており、重り５によってシャドーマスク部２に張力が印加される。シャドーマスク部２は、張力により弛まないので基板６との間に反応プラズマが入らない。従来より薄いシャドーマスク部２によって、マスク１の周辺部分にある基板６表面も、より均一に成膜する事が出来る。
摘要翻译：公开了一种掩模，其用于制造有机EL显示装置的步骤中，并且与常规荫罩部分相比具有较薄的荫罩部分。将基板（6）输送到真空处理装置（10）中，并且将掩模（1）和基板（6）彼此对准。掩模（1）具有：框架（8）; 所述带状荫罩部分（2）设置在所述框架（8）上并且由金属构成; 安装装置（3），其固定所述荫罩部分（2）的一端; 转换构件（4），其将荫罩部分（2）的另一端从水平方向转换成垂直方向; 以及附接到另一端的重物（5）。拉伸力通过重物（5）施加到荫罩部分（2）。由于荫罩部分（2）由于张力而不松动，所以反射等离子体不会进入到荫罩部分和基板（6）之间。利用比传统荫罩部分薄的荫罩部分（2），也可以在掩模（1）的周边的基板（6）表面上更均匀地形成膜。

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